Автоматический химико-механический полировщик пластин с одной плитой CMP, Китай Автоматический химико-механический полировщик пластин с одной плитой CMP Производители, Поставщики, Фабрика

Описание товара:

ATOM Одноплитный CMP

Возможности машины

Устройство является гибким и может поддерживать несколько головок.
Технологические возможности оборудования близки к уровню основных моделей изделий того же размера.
Хорошая согласованность межустройственного процесса.

Области применения

Полировка STI, ILD/IMD, TSV, TGV размером 4–8 дюймов и полировка поверхностей таких соединений, как SiC, LT, LN, GaAs и т. д.

Технические характеристики

4-дюймовые, 6-дюймовые, 8-дюймовые головки, многозонное управление
Тип Φ20 дюймов 508MM плиты
Точность регулирования давления напора <0.05PSI
Точность регулирования скорости вращения головки и плиты <2 об/мин

продукт автоматический однопластинчатый химико-механический полировальный станок cmp-53

1. Блок LoadPort

Порт можно перевернуть, чтобы погрузить кассету в Qtank, избегая образования кристаллов суспензии на
Полированная поверхность пластины. Оснащена функцией Cassette Mapping.

продукт автоматический однопластинчатый химико-механический полировальный станок cmp-54

2. Роботизированный блок извлечения материалов.

Оснащенный 4-осевым роботом, он может автоматически переносить пластины из кассеты в полировальный блок.

продукт автоматический однопластинчатый химико-механический полировальный станок cmp-55

3. Полировальный блок

Этот блок оснащен Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 и конечная точка EPD
Обнаружение. Он может обеспечить автоматическую загрузку и выгрузку пластин, многозонный контроль головки, суспензию
изменение точки посадки с помощью настроек рецепта, обнаружения конечной точки и других функций.

продукт автоматический однопластинчатый химико-механический полировальный станок cmp-56

Головка полировальной машины CMP

Все полировальные головки, установленные на этом устройстве, самостоятельно разработаны, спроектированы и произведены нашей компанией.
Среди них 4-дюймовая 3-полостная головка — уникальный продукт, созданный нашей компанией, заполняющий пробел не многополостной 4-дюймовой головки в Китае. Наша компания может быстро модифицировать или настраивать головку в соответствии с характеристиками продукта заказчика. При разработке тонкопленочных продуктов TGV (200 мкм) внутренняя структура головки была изменена для соответствия требованиям полировки тонкой пленки. В процессе разработки технологии полировки поверхности LN OX наша компания глубоко модернизировала 6-дюймовую головку и успешно выполнила требования заказчика к продукту.

продукт автоматический однопластинчатый химико-механический полировальный станок cmp-57

Приложения

Традиционный процесс полировки и планаризации ИС;

Процесс TGV/TSV；

Умная резка и предварительное склеивание CMP;

Полировка подложки SIC/полировка арсенида галлия.

продукт автоматический однопластинчатый химико-механический полировальный станок cmp-58

Спецификация

порт	Количество * 1, с Q-tank
Роботик	Количество * 1, для переноса пластин
HCLU	Количество * 1, для автоматической загрузки и выгрузки пластин
Полировальная головка	Количество * 13 полостей управления, точность управления 0.1 фунт/кв. дюйм, может поддерживать операции с пластинами 400-1200 мкм.
Скорость полировальной головки	5-150RPM
Полировочный диск	Количество * 1 Размер полировального диска 508 мм, скорость вращения полировальной тарелки 10-150 об/мин.
Обрезной рычаг	Количество * 1 полировальный круг. Полировальный круг можно полировать онлайн (одновременно) или офлайн (после полировки). Обрезка Рука оснащена режущим валом, который может вращаться и двигаться вверх и вниз, а скорость и прижимную силу можно контролировать. Инструмент для обрезки устанавливается на валу обрезки и может быть быстро удалено. В соответствии с различными типами полировальных кругов, настраиваются различные типы инструментов для правки, включая правку щетки, алмазные кольца и алмазные диски.
Блок управления давлением воздуха полировальной головки UPA	Количество * 13Регулируемая зона для лучшего эффекта выравнивания поверхности
Насос подачи полирующей жидкости	Количество * 2. Перистальтические насосы используются для подачи жидкости, при этом 2 перистальтических насоса настроены на обеспечение различной полировки. жидкости к полировальному диску. Каждый насос может использоваться на любом этапе процесса.
Рукав для шлама	Количество * 1 может контролировать точку приземления суспензии и может очищать полировальный круг.
Система управления работой может обеспечить управление на уровне пользователя, например, в режиме оператора, режиме обслуживания и техническом режиме, а также в различных режимах. ious режимы контролируются паролями. Системное программное обеспечение может редактировать параметры процесса каждого шага процесса и выравнивать и Полировать тонкую пленку на поверхности чипа по программе. Может контролировать состояние работы оборудования, контролировать параметры процесса в режиме реального времени, а программное обеспечение может автоматически сохранять различные данные процесса. Оснащен аварийной остановкой кнопка, используемая для немедленной остановки работы оборудования и отключения питания управления.

Упаковка и доставка

продукт автоматический однопластинчатый химико-механический полировальный станок cmp-59

продукт автоматический однопластинчатый химико-механический полировальный станок cmp-60

О компании

FAQ

1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и договорные. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности настройки вашего устройства.

2. О образце:
Мы можем предоставить вам услуги по изготовлению образцов, но с вас может взиматься определенная плата.

3. Об оплате：
После того, как план будет утвержден, вам необходимо сначала заплатить нам депозит, и фабрика начнет подготовку товара. После
Оборудование готово, вы оплачиваете остаток, мы его отправляем.

4. О доставке:
После завершения изготовления оборудования мы вышлем Вам видеоприемки, также Вы можете приехать на объект для осмотра оборудования.

5. Установка и отладка:
После того, как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем отправить инженеров для установки и отладки оборудования. Мы предоставим вам отдельную смету на эту услугу.

6. О гарантии:
Наше оборудование имеет 12-месячную гарантию. По истечении гарантийного срока, если какие-либо детали будут повреждены и потребуют замены, мы взимаем только себестоимость.