Модель |
MDTS-WT2200 |
Количество осей прореживания |
2 |
Количество рабочих столов |
3. Индексный метод |
Шпиндель шлифовального круга |
Количество воздушных шпинделей: 2 Двигатель шпинделя: двигатель переменной частоты мощностью 7.5 кВт Скорость: 0~6000 об/мин, плавная регулировка Характеристики шлифовального круга: Φ203 мм Тип шлифовального круга: алмазный шлифовальный круг |
Система подачи шлифовального круга |
Количество: комплекты 2 Метод управления системой подачи: направляющая LM и шариковый винт сочетание Приводной двигатель: серводвигатель Минимальная скорость подачи: 0.1 мкм/сек Максимальная скорость подачи: 50 мм/сек |
Верстак |
Количество: 3, режим индекса Двигатель шпинделя: Серводвигатель Скорость: 0~300 об/мин, плавная регулировка Метод адсорбции: Вакуумная адсорбция |
Поворотный стол верстака |
Режим привода: серводвигатель Диапазон вращения: 0~240° Форма позиционирования: позиционирование с помощью датчика |
Автоматическая толщина система измерения |
Метод измерения: контактное измерение IPG в режиме реального времени Количество измерительных головок: 2 Измерительный датчик: датчик уровня 0.1 мкм |
Автоматическая загрузка/ система разгрузки |
Тип коробки: кассета 6-8 дюймов, 25 слоев Автоматический метод загрузки/выгрузки: манипулятор пластин используется для обеспечения транспортировки тонких пластин без повреждений. Толщина пластины: 150мкм-1000мкм |
Функция очистки рабочего стола |
Метод очистки: полировка масляным камнем и двухжидкостная промывка деионизированной водой + воздухом |
Автоматическая очистка/ система сушки |
Очистка: очистка форсунок DIW Метод сушки: Обдув + сушка Скорость: макс. 1000 об/мин, плавная регулировка |
Система устранения статического электричества |
Ионный стержень вентилятора Orion |
Шпиндельный охладитель |
Температура: 18-22 ° С Скорость потока: 4~8 л/мин |
Система контроля |
Система управления: система управления ПК, сенсорный экран, 3-цветная сигнальная лампа человеко-машинный интерфейс на китайском/английском |
Максимальный размер пластины |
Максимальная совместимость с 8 дюймами |
диапазон скоростей |
0 ~ 6000 RPM |
Перемещение по оси Z |
160 мм |
Скорость подачи по оси Z |
0.1~100мкм/сек |
Быстрая скорость отвода по оси Z |
50 мм / сек |
Разрешение по оси Z |
0.1um |
Диапазон измерения толщины в режиме онлайн |
0 ~ 1800um |
Разрешение измерения толщины в режиме онлайн |
0.1um |
Авторские права © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены.