Модель |
MDTS-WT2200 |
Количество осей прореживания |
2 |
Количество рабочих столов |
3, Индексный метод |
Вал шлифовального круга |
Количество воздушных шпинделей: 2 Шпиндельный двигатель: частотный двигатель мощностью 7,5 кВт Скорость: 0~6000 об/мин, бесступенчатая регулировка Спецификация шлифовального круга: Φ203мм Тип шлифовального круга: алмазный шлифовальный круг |
Система подачи шлифовального круга |
Количество: 2 комплекта Метод управления подачей: направляющая LM и шариковый винт сочетание Приводной двигатель: сервомотор Минимальная скорость подачи: 0.1мкм/сек Максимальная скорость подачи: 50мм/сек |
Верстак |
Количество: 3, индексный режим Двигатель шпинделя: Сервомотор Скорость: 0~300об/мин, бесступенчатая регулировка Метод крепления: Вакуумная фиксация |
Поворотный стол рабочей площадки |
Режим привода: сервомотор Диапазон вращения: 0~240° Форма позиционирования: позиционирование с помощью датчика |
Автоматическая толщина Система измерений |
Метод измерения: контактное онлайн-измерение в реальном времени IPG Количество измерительных головок: 2 Измерительный датчик: датчик уровня 0.1мкм |
Автоматическая загрузка/ система разгрузки |
Тип коробки: кассета размером 6-8 дюймов, 25 слоев Метод автоматической загрузки/разгрузки: используется манипулятор для подложек, чтобы обеспечить транспортировку тонких подложек без повреждений Толщина вафли: 150мкм-1000мкм |
Функция очистки рабочего стола |
Метод очистки: полирование масляным камнем и промывка двумя потоками DI-воды + воздуха |
Автоматическая очистка/ Система сушки |
Очистка: очистка соплом DIW Метод сушки: продувка + сушка Скорость: максимум 1000 об/мин, бесступенчатая регулировка |
Система устранения статического электричества |
Ионная планка или ионный вентилятор |
Охладитель шпинделя |
Температура: 18-22°C Поток: 4~8Л/мин |
Система управления |
Система управления: система управления ПК, сенсорный экран, трёхцветная сигнальная лампа Интерфейс человека и машины на китайском/английском языках |
Максимальный размер пластины |
Максимальная совместимость с 8 дюймами |
Диапазон скорости |
0~6000 об/мин |
Ход по оси Z |
160мм |
Скорость подачи по оси Z |
0.1~100мкм/сек |
Скорость быстрого возврата по оси Z |
50мм/сек |
Разрешение по оси Z |
0.1мкм |
Диапазон измерения толщины онлайн |
0~1800мкм |
Разрешение измерения толщины в режиме онлайн |
0.1мкм |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
