Товар |
MD150S-ICP |
MD200S-ICP |
MD150CS-ICP |
MD200CS-ICP |
MD300C-ICP |
||||
Размер продукта |
≤6 дюймов |
≤8 дюймов |
≤6 дюймов |
≤8 дюймов |
На заказ ≥12дюймов |
||||
Источник питания SRF |
0~1000Вт/2000Вт/3000Вт/5000Вт Настройка, автоматическое сопоставление\, 13.56МГц/27МГц |
||||||||
Источник питания BRF |
0~300Вт/0~500Вт/0~1000Вт Настройка, автоматическое сопоставление, 2МГц/13.56МГц |
||||||||
Молекулярный насос |
Нестойкий к коррозии: 600/1300 (л/с)/На заказ |
Противокоррозийный: 600/1300 (л/с)/На заказ |
600/1300 (л/с)/На заказ |
||||||
Вакуумный насос |
Механический насос / сухой насос |
Противокоррозионный сухой насос |
Механический насос / сухой насос |
||||||
Насос предварительной эвакуации |
Механический насос / сухой насос |
Механический насос / сухой насос |
|||||||
Процессное давление |
Неконтролируемое давление/0-0.1/1/10Torr контролируемое давление |
||||||||
Тип газа |
H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/По запросу (До 12 каналов, без коррозийных и токсичных газов) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ По запросу (До 12 каналов) |
|||||||
газовая диапазона |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/По запросу |
||||||||
LoadLock |
Да\/Нет |
Да |
|||||||
Управление температурой образца |
10°C~Комнатнаятемпературa/-30°C~150°C/По запросу |
-30°C~200°C/По запросу |
|||||||
Обратное охлаждение гелием |
Да\/Нет |
Да |
|||||||
Облицовка процессуальной камеры |
Да\/Нет |
Да |
|||||||
Контроль температуры стенок камеры |
Нет/Комнатная температура-60/120°C |
Комнатная температура~60/120°C |
|||||||
Система управления |
Автоматический/По запросу |
||||||||
Этching материал |
На основе кремния: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Органические материалы: PR/Органика пленка...... |
На основе кремния: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Магнитный материал / сплавной материал Металлические материалы: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Органические материалы: PR/Органическая пленка...... Глубокая этching кремния |
|||||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
