Интегрированное решение для упаковки полупроводников Машина для удаления фотосопротивления микроволновой плазмой , China Интегрированное решение для упаковки полупроводников Машина для удаления фотосопротивления микроволновой плазмой Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание продукта

Микроволновый плазменный аппарат для удаления фоторезиста

Плазменное интегрированное решение для упаковки полупроводников

Интегрированное решение для упаковки полупроводников

Машина для удаления фотосопротивов методом микроволновой плазмы представляет собой систему низковольтного удаления фотосопротивов методом микроволновой плазмы, специально разработанную для полупроводников. Применение микроволн частотой 2,45 ГГц к окну на стенке вакуумной камеры приводит к образованию большого и непрерывного потока плазмы, которая поступает в камеру для процесса очистки чипа. Подходит для контейнеров разных размеров, может удовлетворить различные потребности и предоставить индивидуальные решения.

Integrated Solution for Semiconductor Packaging Microwave Plasma Photoresist Removal Machine supplier

Integrated Solution for Semiconductor Packaging Microwave Plasma Photoresist Removal Machine manufacture

Integrated Solution for Semiconductor Packaging Microwave Plasma Photoresist Removal Machine factory

Integrated Solution for Semiconductor Packaging Microwave Plasma Photoresist Removal Machine details

Характеристики

Источник плазмы	микроволновая печь
мощность	0-1250Вт
рабочее пространство	6 диапазонов магазинов (диапазон размеров магазина: Д260ммxШ95ммxВ190мм)
объем обработки	шаг 35мкм/Выступ 40мкм Размер кристалла 15x15мм максимум
Габаритные размеры	480ммx470ммx500мм
Управление системой	Промышленная система управления
Уровень автоматизации	Руководство