Проект
|
Содержание
|
Тип продукта
|
6", 8", 12" кадровый wafer
|
элементы проверки 2D
|
Посторонние объекты, остаточный клей, частицы, царапины, трещины, загрязнение, отклонение CP, избыточная площадь и т.д.
Отклонение резкого канала и сколы |
Элементы проверки траектории резания
|
6", 8", 12" кассета рамы
|
Объектив и Разрешение
|
2x(2.75мкм) / 3.5x(1.57мкм) /
5x(1.1мкм) / 7.5x(0.73мкм) / 10x(0.55мкм) |
Прецизионный
|
0.55мкм/пиксель
|
Опционально и настраиваемо
|
Модуль INK, модуль IR
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved