структура |
иллюстрировать |
Поверхность экспонирования |
Область экспонирования: поверхность стола, зона размещения субстрата |
Оптическая система |
Область формирования лазерного излучения |
Система контроля окружающей среды |
Контроль внутренней температуры и положительного давления устройства |
Система платформы |
Контролирует движение стола для экспонирования, чтобы завершить операцию пути экспонирования |
Система управления |
Система управления всего оборудования |
Нет. |
Среда |
Требуют |
1 |
Источник света и окружающая среда |
Желтый свет |
2 |
Температура |
22℃±2℃ |
3 |
Влажность |
50%±10% |
4 |
Чистоту |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, сухой, чистый воздух |
6 |
Источник питания |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Заземляющий провод должен быть заземлен |
7 |
Охлаждающая вода |
Температура：10℃~ 20℃ Давление：0.3МПа ~ 0.5МПа Объем потока：20Л/мин Разница давления：0.3МПа и выше Калибр подключения：Rc3/8 |
8 |
Место проведения |
уровень：±3мм/3000мм колебание：VC-B Подшипник：750кг/м² |
10 |
Интернет |
Один сетевой порт |
11 |
Размер машины |
1300*1100*2100мм |
12 |
Вес устройства |
1500кг |
Нет. |
Проект |
Спецификация. |
Примечание |
1 |
Разрешение |
0.6мкм/или другое требование |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Толщина субстрата |
0.2мм～4мм |
|
4 |
Точность сетки датчиков |
60нм |
|
5 |
Наложение |
±500нм |
130ммx130мм |
6 |
Точность соединения |
±200нм |
AZ703 |
7 |
Максимальный размер экспозиции |
190X190мм |
|
8 |
Производительность |
≥300мм²/мин |
≤50мДж/см²; |
9 |
источник света |
LD 375нм |
|
10 |
световая мощность |
6W |
|
11 |
Энергетическая равномерность |
≥ 95% |
|
12 |
срок службы источника света |
10000ч |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
