Система безмасочной литографии MCXJ-MLS8, Китай Система безмасочной литографии MCXJ-MLS8 Производители, Поставщики, Фабрика

Описание товара:

Пример:

Производство системы безмасочной литографии MCXJ-MLS8

Структурная схема оборудования

Поставщик системы безмасочной литографии MCXJ-MLS8

Спецификация

Схема структуры хоста воздействия

Структура	иллюстрировать
Обнажаем столешницу	Зона воздействия: столешница, зона размещения подложки.
Оптическая система	Участок формования лазерным излучением
Система экологического контроля	Контролируйте внутреннюю температуру и положительное давление устройства.
Платформенная система	Управляет движением стола экспонирования для завершения работы пути экспонирования.
Система контроля	Система управления всем оборудованием

Примечание. Поскольку обновление машины может изменить фактический внешний вид, это зависит от фактического продукта.

Нет.	Окружающая среда	Требовать
1	Среда источника света	Желтый свет
2	Температура	22 ℃ & plusmn; 2 ℃
3	Влажность	50% ± 10%
4	Чистота	1000
5	CDA	0.6±0.1 МПа, 200 л/мин, сухой, чистый воздух
6	Источник питания	220~240 В, 50/60 Гц, 2.5 кВт; Заземляющий провод должен быть заземлен.
7	Охлаждающая вода	Температура: 10℃~ 20℃ Давление: 0.3 МПа ~ 0.5 МПа. Скорость потока: 20 л/мин. Перепад давления: 0.3 МПа. Возьмите на себя калибр: Rc3/8
8	место встречи	Уровень: ±3 мм/3000 мм. Встряхивание: VC-B. Подшипник: 750 кг/м².
10	Интернет	Один сетевой порт
11	размер машины	1300 * 1100 * 2100мм
12	Вес устройства	1500кг

Нет.	Проект	Спекуляция	замечание
1	Постановления	0.6 мкм/или другое требование	АЗ703, АЗ1350
2	ХДС	±10% при 1 мкм
3	Толщина подложки	0.2 мм ～ 4 мм
4	Точность сетки дат	60nm
5	Наложение	± 500nm	130mmx130mm
6	Точность шитья	± 200nm	AZ703
7	МАКС. размер экспозиции	190X190mm
8	Увеличить пропускную способность	≥300 мм2/мин	≤50 мДж/см2;
9	Источник света	ЛД 375 нм
10	сила света	6W
11	Энергетическая однородность	≥ 95%
12	легкая жизнь	10000hr

Упаковка и доставка

О компании

Имеем 16-летний опыт продаж оборудования. Мы можем предоставить вам универсальное профессиональное решение по производству полупроводникового оборудования для переднего и заднего плана из Китая.