Основной блок вакуумного плазменного оборудования (100) |
||
Размер оборудования |
Д 1000×Ш 900×В 1750мм |
|
Вес |
500 кг |
|
Требуемое питание |
AC380V, 50/60Hz, 5 проводов, 25A (общий открытый тип выше C) |
|
Спецификация генератора плазмы |
||
Мощность |
Радиочастота |
средняя частота |
0~600W |
0-1000W |
|
частота подачи |
13.56МГц |
40 К Гц |
вакуумная система |
||
Вакуумный насос |
Вакуумный ротационный насос (масляной насос): 60 м³/ч |
|
вакуумная трубопроводная система |
Вся линия из нержавеющей стали, а также вакуумные гофры высокой прочности |
|
Качество материала |
алуфер |
|
Толщина |
25 мм |
|
герметичность |
Военный уровень сварного уплотнения |
|
Внутренние размеры полости |
450*450*500мм (ширина * высота * глубина) |
|
Эффективный размер электрода |
322*351мм (ширина * глубина) |
|
Доступное пространство между элементами |
20 мм |
|
Размещение электрообкладок |
Горизонтальная электродная пластина |
|
Подносы |
Стандартный набор, материал по выбору (алюминий, стальная проволочная сетка) |
|
Рабочее пространство |
8 слоев |
|
Процессный газ |
||
Диапазон потока |
0~300SCCM |
|
Маршрут процессного газа |
Стандартно с двумя способами, можно настроить. Трубопровод для процессного газа изготовлен из феррофлона |
|
navar |
||
SC |
ПЛК |
|
интерактивный режим |
7-дюймовый сенсорный экран |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved