Основной блок вакуумной плазмы (100) |
||||
Размер оборудования |
Д 1000×Ш 900×В 1750мм |
|||
вес |
500 кг |
|||
Требуемое питание |
AC380V, 50/60Hz, 5 проводов, 25A (общий открытый тип выше C) |
|||
Спецификация генератора плазмы |
||||
мощность |
радиочастота |
средняя частота |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
частота подачи |
13.56МГц |
40 К Гц |
||
Вакуумная система |
||||
вакуумный насос |
Вакуумный ротационный насос (масляной насос): 60 м³/ч |
|||
вакуумная трубопроводная система |
Вся линия из нержавеющей стали, а также вакуумные гофры высокой прочности |
|||
качество материала |
алуфер |
|||
толщина |
25 мм |
|||
герметичность |
Военный уровень сварного уплотнения |
|||
Внутренние размеры полости |
450*450*500мм (ширина * высота * глубина) |
|||
Эффективный размер электрода |
322*351мм (ширина * глубина) |
|||
Доступное пространство между элементами |
20 мм |
|||
Размещение электрообкладок |
Горизонтальная электродная пластина |
|||
подносы |
Стандартный набор, материал по выбору (алюминий, стальная проволочная сетка) |
|||
рабочее пространство |
8 слоев |
|||
процессный газ |
||||
Диапазон потока |
0~300SCCM |
|||
Маршрут процессного газа |
Стандартно с двумя способами, можно настроить. Трубопровод для процессного газа изготовлен из феррофлона |
|||
navar |
||||
SC |
ПЛК |
|||
интерактивный режим |
7-дюймовый сенсорный экран |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved