Вакуумный плазменный хост-блок(150) |
||
Размер оборудования |
Д 1100×Ш 940×В 1755 мм |
|
вес |
600Kg |
|
Требуемый источник питания |
380 В переменного тока, 50/60 Гц, 5 линий, 25 А (полностью открытый тип выше C) |
|
Спецификация генератора плазмы |
||
мощностью |
радиочастота |
промежуточная частота |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
частота питания |
13.56MHz |
40 К Гц |
Вакуумная система |
||
вакуумный насос |
Монопольный насос Leap VSV 65 + насос Bowse Does BSJ 70 |
|
вакуумный трубопровод |
Полностью линия из нержавеющей стали, а также высокопрочные вакуумные сильфоны. |
|
качество материала |
алюфер |
|
толщина |
25 мм |
|
теснота |
Сварочное уплотнение военного класса |
|
Внутренние размеры полости |
500*500*600 мм (ширина* высота * глубина) |
|
Эффективный размер электрической пластины |
372 (Ш) х 451 (Д) мм |
|
Доступное пространство |
24 мм |
|
Устройство гальванического покрытия |
Горизонтальная электродная пластина |
|
лотки |
Стандартный комплект, материал по желанию (алюминий, стальная сетка) |
|
рабочая среда |
слой 8 |
|
Технологический газ |
||
Диапазон расхода |
0~300СККМ |
|
Маршрут технологического газа |
Стандарт с двумя способами, можно настроить. Трубопровод технологического газа выполнен из феррофлона. |
|
Система контроля |
||
SC |
Управление с помощью ПК |
|
интерактивный режим |
Интерфейс Windows |
Авторские права © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены.