Основной блок вакуумного плазменного оборудования (150) |
||
Размер оборудования |
Д 1100×Ш 940×В 1755мм |
|
Вес |
600кг |
|
Требуемое питание |
AC380V, 50/60Hz, 5 проводов, 25A (общий открытый тип выше C) |
|
Спецификация генератора плазмы |
||
Мощность |
Радиочастота |
средняя частота |
0~1000W |
0-2000 Вт |
|
частота подачи |
13.56МГц |
40 К Гц |
вакуумная система |
||
Вакуумный насос |
Прыгающий монопольный насос VSV 65 + Насос Bowse Lots BSJ 70 |
|
вакуумная трубопроводная система |
Вся линия из нержавеющей стали, а также вакуумные гофры высокой прочности |
|
Качество материала |
алуфер |
|
Толщина |
25 мм |
|
герметичность |
Военный уровень сварного уплотнения |
|
Внутренние размеры полости |
500*500*600мм (ширина * высота * глубина) |
|
Эффективный размер электрода |
372(Ш) X 451(Г)мм |
|
Доступное пространство между элементами |
24 мм |
|
Размещение электрообкладок |
Горизонтальная электродная пластина |
|
Подносы |
Стандартный набор, материал по выбору (алюминий, стальная проволочная сетка) |
|
Рабочее пространство |
8 слоев |
|
Процессный газ |
||
Диапазон потока |
0~300SCCM |
|
Маршрут процессного газа |
Стандартно с двумя способами, можно настроить. Трубопровод для процессного газа изготовлен из феррофлона |
|
Система управления |
||
SC |
Управление ПК |
|
интерактивный режим |
Интерфейс Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved