Вакуумный плазменный узел-хост (150) |
||||
Размер оборудования |
Д 1100×Ш 940×В 1755мм |
|||
вес |
600кг |
|||
Требуемое питание |
AC380V, 50/60Hz, 5 проводов, 25A (общий открытый тип выше C) |
|||
Спецификация генератора плазмы |
||||
мощность |
радиочастота |
средняя частота |
||
0~1000W |
0-2000 Вт |
|||
частота подачи |
13.56МГц |
40 К Гц |
||
Вакуумная система |
||||
вакуумный насос |
Прыгающий монопольный насос VSV 65 + Насос Bowse Lots BSJ 70 |
|||
вакуумная трубопроводная система |
Вся линия из нержавеющей стали, а также вакуумные гофры высокой прочности |
|||
качество материала |
алуфер |
|||
толщина |
25 мм |
|||
герметичность |
Военный уровень сварного уплотнения |
|||
Внутренние размеры полости |
500*500*600мм (ширина * высота * глубина) |
|||
Эффективный размер электрода |
372(Ш) X 451(Г)мм |
|||
Доступное пространство между элементами |
24 мм |
|||
Размещение электрообкладок |
Горизонтальная электродная пластина |
|||
подносы |
Стандартный набор, материал по выбору (алюминий, стальная проволочная сетка) |
|||
рабочее пространство |
8 слоев |
|||
Процессный газ |
||||
Диапазон потока |
0~300SCCM |
|||
Маршрут процессного газа |
Стандартно с двумя способами, можно настроить. Трубопровод для процессного газа изготовлен из феррофлона |
|||
Система управления |
||||
SC |
Управление ПК |
|||
интерактивный режим |
Интерфейс Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved