Вакуумный плазменный блок (200) |
||
Размер оборудования |
1050×1700×1050мм (ширина, высота и глубина) |
|
Вес |
800КГ |
|
требуемая мощность |
AC380V,50/60Hz,5проводов, 30A |
|
Характеристики плазменного генератора |
||
сеть питания |
Радиочастота |
IF |
0~1000W |
0-2000 Вт |
|
Частота питания |
13.56МГц |
40 КГц |
вакуумная система |
||
Вакуумный насос |
Насос Фейюэ однополюсный VSV100+Два насоса корневого типа BSJ70 |
|
вакуумная линия |
Все нержавеющие стальные трубы и высокопрочные вакуумные гофры |
|
Материал |
Алюминиевый сплав |
|
Толщина |
25 мм |
|
герметичность |
Военный стандарт сварного уплотнения |
|
Габаритные размеры внутренней полости |
600×600×600мм (Ш×В×Г) |
|
Эффективный размер электродной пластины |
472 X 451мм (Ш×Г) |
|
доступное пространство |
35 мм |
|
Расположение электродной пластины |
Горизонтальная электродная пластина |
|
рабочий лоток |
Один комплект является стандартным, а материал выбирается по желанию (алюминий, стальная сетка) |
|
рабочее место |
8 этажей |
|
Процессный газ |
||
Диапазон потока |
0~300SCCM |
|
Цепь процессного газа |
Комплектуется O2, Ar, N2 тройной газовой системой |
|
Система управления |
||
управление системой |
Управление ПК |
|
интерактивный режим |
Интерфейс Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved