Вакуумный плазменный хост(200) |
||
Размер оборудования |
1050×1700×1050 мм (ширина, высота и глубина) |
|
вес |
800Kg |
|
сила спроса |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Технические характеристики плазменного генератора |
||
питание от сети |
радиочастота |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Частота питания |
13.56MHz |
40 КГц |
Вакуумная система |
||
вакуумный насос |
Монополярный насос Feiyue VSV100 + насос обоих корней BSJ70 |
|
вакуумная линия |
Все трубы из нержавеющей стали и высокопрочные вакуумные сильфоны. |
|
материала |
Алюминиевый сплав |
|
толщина |
25 мм |
|
теснота |
Сварная пломба военного класса |
|
Внутренние размеры полости |
600×600×600 мм (Ш×В×Г) |
|
Эффективный размер электродной пластины |
472 х 451 мм (Ш × Г) |
|
доступное пространство |
35 мм |
|
Расположение электродной пластины |
Горизонтальная электродная пластина |
|
рабочий поднос |
Один комплект стандартный, материал по желанию (алюминий, стальная сетка) |
|
Рабочее пространство |
8 этажей |
|
Технологический газ |
||
Диапазон расхода |
0~300СККМ |
|
Контур технологического газа |
Оснащен трехходовым газом O2, Ar, N2. |
|
Система контроля |
||
системный контроль |
Управление с помощью ПК |
|
интерактивный режим |
Интерфейс Windows |
Авторские права © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены.