Вакуумный плазменный хост (200) | ||||
Размер оборудования | 1050×1700×1050 мм (ширина, высота и глубина) | |||
вес | 800Kg | |||
сила спроса | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Технические характеристики плазменного генератора | ||||
питание от сети | радиочастота | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Частота питания | 13.56MHz | 40 КГц | ||
Вакуумная система | ||||
вакуумный насос | Монополярный насос Feiyue VSV100 + насос обоих корней BSJ70 | |||
вакуумная линия | Все трубы из нержавеющей стали и высокопрочные вакуумные сильфоны. | |||
материала | Алюминиевый сплав | |||
толщина | 25 мм | |||
теснота | Сварная пломба военного класса | |||
Внутренние размеры полости | 600×600×600 мм (Ш×В×Г) | |||
Эффективный размер электродной пластины | 472 х 451 мм (Ш × Г) | |||
доступное пространство | 35 мм | |||
Расположение электродной пластины | Горизонтальная электродная пластина | |||
рабочий поднос | Один комплект стандартный, материал по желанию (алюминий, стальная сетка) | |||
Рабочее пространство | 8 этажей | |||
Технологический газ | ||||
Диапазон расхода | 0~300СККМ | |||
Контур технологического газа | Оснащен трехходовым газом O2, Ar, N2. | |||
Система контроля | ||||
системный контроль | Управление с помощью ПК | |||
интерактивный режим | Интерфейс Windows |
Авторские права © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены.