MDHS-AL8 8" Полностью автоматический односторонний литографический станок , China MDHS-AL8 8" Полностью автоматический односторонний литографический станок Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание продукта

MDHS-AL8 8" Полностью автоматический односторонний литографический станок

1. Режим работы: Загрузочный робот автоматически загружает пластинки из A-B (переиспользуемого) контейнера для пластин в предварительный рабочий стол

рабочий стол, и через настройку позиционирования пластин камеры и системы автоматического вращения достигается предварительное позиционирование пластины; Затем робот загрузки загружает предварительно позиционированные пластины на рабочий стол для выравнивания. Через компьютерное распознавание изображений и автоматическую настройку системы выравнивания можно достичь автоматического выравнивания графики на маске и пластинах. Также возможно выполнить одну экспозицию без выравнивания графики. После автоматической экспозиции системой пересвета робот разгрузки автоматически помещает пластины в коробку для пластин C-D (перерабатываемую).
2. Область экспонирования: 160 × 160 мм;
3. Неравномерность освещенности экспонирования: ≤ 3%;
4. Интенсивность экспонирования: 0~≥ 40мВт/см² регулируемая (угол луча 2 °);
5. Угол ультрафиолетового луча: ≤ 3 °;
6. Центральная длина волны ультрафиолетового света: 365нм;
7. Срок службы источника ультрафиолетового света: ≥ 20000 часов;
8. Вместимость разделения: 0~≥ 1000мкм регулируемая;
9. Точность выравнивания: ≤ ± 1.5 мкм;
10. Точность экспонирования: контактное экспонирование ± 1 μm. Приближенное экспонирование с разделением 20 μm, угол пучка 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Методы экспонирования: жесткий контакт, мягкий контакт и приближенное экспонирование;
12. Режим экспонирования: можно выбрать между однократным экспонированием или компенсационным экспонированием
13. Предварительная система распознавания изображений и автоматического вращения (включая предварительный рабочий стол): угол вращения Q ≥ ± 180 °, точность вращения Q ≤ 0.01 °;
14. Система распознавания изображений и автоматической настройки (включая рабочий стол для выравнивания UVW): диапазон выравнивания X Y ≥ ± 5 мм, угол вращения Q ≥ ± 3 °, и две линзы микроскопа управляются двумя электрическими платформами XYZ.
15. Размер маски: 5 "× 5" и 7" × 7 ";
16. Размер пластины: 4 "и 6";
17. Верхние и нижние камеры для пленок: двойные рабочие станции;
18. Противовибрационные воздушные амортизаторы
19. Двойной роботизированный манипулятор для загрузки и разгрузки: Z ≥ 350 мм, R135 мм;
20. Количество пластин в контейнере: определяется на основе количества пластин в контейнере клиента;
21. Подъем стола позиционирования: Z ≥ ± 25мм;
22. Время экспонирования: регулируемое от 0 до 999,9 секунд;
23. Производственный ритм: >120 штук в час;
24. Питание: однофазное AC220V 50Гц, потребление ≤ 3КВт;
25. Давление чистого воздуха: ≥ 0,4МПа;
26. Уровень вакуума: -0,07МПа~-0,09МПа;
27. Размеры: 1400 * 1000 * 2100мм;
28. Вес: Приблизительно 400кг

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Эта машина состоит из ультрафиолетовой головки с LED-освещением, системы распознавания изображений и автоматического вращения, предварительно позиционированного рабочего стола, а также систем распознавания изображений и автоматической центровки, центровочных столов, загрузочных роботов, разгрузочных роботов, стоек и электрического оборудования, запасных частей и т.д.

Характеристики

1. Головка экспонирования: одна LED ультрафиолетовая головка экспонирования (365нм);
2. Станок для распознавания изображений и предварительной центровки:
1) 1 камера (1,3 миллиона пикселей)
2) Фixture центрального позиционирования
3) 1 вращающаяся платформа (с использованием сервомотора)
4) 1 система позиционирования
3. Система распознавания изображений и автоматической центровки:
1) 2 камеры (5-мегапиксельные с высокой частотой кадров)
2) 2 объектива (4x высокое разрешение)
3) Один промышленный компьютер
4) Один контроллер (управляемый ПЛК)
5) Один комплект платформы выравнивания (использующий пятифазный шаговый двигатель)
6) Комплект спортивной системы
7) Устройство верхней панели использует двигатель для подъема и опускания
7) Программное обеспечение использует последнюю версию LabVIEW Professional Edition
4. Механическая рука для загрузки и разгрузки:
1) X Y. Комплект Z автоматического передвижного механизма
2) Двухрукий роботизированный манипулятор (руки для загрузки и разгрузки)
5. Механизм фиксации кассеты wafer:
1) AB является фиксированной точкой позиционирования кассеты подачи пленки
2) CD - это фиксированное положение коробки резной пленки
3) G - это фиксированное положение коробки пленки в позиции NG
6. Фиксированная платформа камеры:
7. Два комплекта механизмов электрической регулировки Y.Z (управляемых сервомоторами)
8. Стойка и пульт электрического управления:
1) 1 промышленный компьютер
2) Один комплект ПЛК;
3) Один комплект электромагнитных клапанов и системы управления
4) Комплект цифровых пневматических приборов
5) Один комплект пульта управления
8. Запасные принадлежности:
1) Трахеальный: 15 метров
2) 2 соленоидных клапана
3) Вакуумный насос: 1 штука
9. Технические данные:
1) Одна инструкция пользователя
2) Один сертификат соответствия
10. Дополнительное
Программное обеспечение оборудования должно быть оснащено протоколом общения SECS, а покупатель предоставляет динамическую библиотеку с функцией интеграции с системой MES покупателя, автоматически записывающую номер партии продукта, номер задания и состояние операции, а также загружающую их. При этом она имеет функцию распознавания QR-кода маски, сравнения его с QR-кодом маски в системе MES и предотвращения выбора неправильной маски.

Упаковка и доставка