1. Рабочий режим: загрузочный робот автоматически загружает пластины из коробки для вафель AB (подлежащей вторичной переработке) в место предварительного позиционирования.
верстак, а за счет регулировки камеры позиционирования пластины и системы автоматического вращения достигается предварительное позиционирование пластины; Затем загрузочный робот загружает предварительно установленные пластины на верстак для выравнивания. Благодаря компьютерному распознаванию изображений и настройке системы автоматического выравнивания можно добиться автоматического выравнивания графики на маске и пластинах. Также возможно выполнить одну экспозицию без выравнивания графики. После автоматического экспонирования системой переэкспонирования робот-разгрузчик автоматически помещает пластины в коробку для вафель компакт-дисков (подлежащую вторичной переработке).
2. Зона воздействия: 160 × 160 мм;
3. Неравномерная освещенность экспозиции: ≤ 3%;
4. Интенсивность воздействия: регулируемая 0~≥ 40 МВт/см2 (угол луча 2°);
5. Угол УФ-луча: ≤ 3°;
6. Центральная длина волны ультрафиолетового света: 365 нм;
7. Срок службы источника ультрафиолетового света: ≥ 20000 часов;
8. Емкость разделения: 0 ~ ≥ 1000 мкм, регулируемая;
9. Точность юстировки: ≤ ± 1.5 мкм;
10. Точность воздействия: Контактное воздействие ± 1 мкм. Разделение луча вблизи экспозиции 20 мкм, угол луча 2 ° ≤ ± 2 мкм
11. Методы воздействия: жесткий контакт, мягкий контакт и близкое воздействие;
12. Режим экспозиции: вы можете выбирать между однократной экспозицией или смещенной экспозицией.
13. Система распознавания изображений предварительного позиционирования и система автоматического поворота (включая верстак предварительного позиционирования): угол поворота Q ≥ ± 180 °, точность вращения Q ≤ 0.01 °;
14. Система распознавания изображений и автоматического выравнивания (включая стол для выравнивания UVW): диапазон выравнивания XY ≥ ± 5 мм, угол поворота Q ≥ ± 3 °, а две линзы микроскопа управляются двумя электрическими платформами XYZ.
15. Размер маски: 5"×5" и 7"×7";
16. Размер пластины: 4" и 6";
17. Верхние и нижние рабочие станции ящиков для пленки: двойные рабочие станции;
18. Подушка безопасности для ног.
19. Погрузка и разгрузка роботизированной руки с двумя руками: Z ≥ 350 мм, R135 мм;
20. Количество пластин в вафельной коробке: определяется исходя из количества пластин в вафельной коробке заказчика;
21. Подъем позиционирующего стола: Z ≥ ± 25 мм;
22. Время экспозиции: регулируется от 0 до 999.9 секунды;
23. Ритм производства:>120 штук в час;
24. Источник питания: однофазный переменный ток 220 В, 50 Гц, потребляемая мощность ≤ 3 кВт;
25. Давление чистого воздуха: ≥ 0.4 МПа;
26. Степень вакуума: -0.07 МПа~-0.09 МПа;
27. Размер: 1400*1000*2100 мм;
28. Вес: около 400 кг.