|
Проект
|
Характеристики
|
замечания
|
||
|
1 |
Обзор оборудования |
Название оборудования: Полностью автоматическая машина для проявки клея
|
||
|
Модель оборудования: MD-2C2D6
|
||||
|
Характеристики обработки пластин: совместимость со стандартными пластинами диаметром 4/6 дюйма.
|
||||
|
Технологическая схема нанесения однородного клея: нарезка цветочной корзины → центрирование → однородный клей (капание → однородный клей → удаление края, задняя часть).
стирка) → горячая плита → холодная плита → размещение корзины. Последовательность процесса проявки: нарезка цветочной корзины → центрирование → проявка (проявочный раствор → деионизированная вода, обратная промывка → сушка азотом) → горячая плита → холодная плита → размещение корзины |
||||
|
Общий размер (приблизительно): 2100 мм (Ш) * 1800 мм (Г) * 2100 мм (В)
|
||||
|
Размер химического шкафа (приблизительно): 1700 (Ш) * 800 (Г) * 1600 мм (В)
|
||||
|
Общий вес (приблизительно): 1000 кг.
|
||||
|
Высота рабочего стола: 1020 ± 50 мм.
|
||||
|
2 |
Кассетный блок
|
Количество: 2
|
||
|
Совместимый размер: 4/6 дюйма
|
||||
|
Обнаружение кассеты: обнаружение микропереключателя
|
||||
|
Обнаружение выдвижения: Да, отражающий датчик
|
||||
|
3 |
робот |
Количество: 1
|
||
|
Тип: вакуумно-адсорбционный робот с двойной рукой
|
||||
|
Степень свободы: 4 оси (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Материал пальца: керамика.
|
||||
|
Метод фиксации подложки: метод вакуумной адсорбции.
|
||||
|
Функция картирования: Да
|
||||
|
Точность позиционирования: ± 0.1 мм
|
||||
|
4 |
Центрирующий блок
|
Количество: набор 1
|
Опциональное оптическое выравнивание
|
|
|
Метод выравнивания: механическое выравнивание
|
||||
|
Точность центрирования: ± 0.2 мм.
|
||||
|
5 |
Единый клеевой блок |
Количество: 2 комплекта (ниже приведены конфигурации для каждого устройства)
|
||
|
Скорость вращения шпинделя: -5000 об/мин~5000 об/мин.
|
несущий натяжной ролик
|
|||
|
Точность вращения шпинделя: ± 1 об/мин (50–5000 об/мин)
|
||||
|
Минимальная регулировка скорости вращения шпинделя: 1 об/мин.
|
||||
|
Максимальное ускорение вращения шпинделя: 20000 об/мин/с.
|
несущий натяжной ролик
|
|||
|
Капающий рычаг: 1 комплект
|
||||
|
Маршрут трубки фоторезиста: 2 маршрута
|
||||
|
Диаметр сопла фоторезиста: 2.5 мм.
|
||||
|
Изоляция фоторезиста: 23 ± 0.5 ℃
|
необязательный
|
|||
|
Увлажняющая насадка: Да
|
||||
|
РРК: Да
|
||||
|
Буфер: Да, 200 мл
|
||||
|
Метод нанесения клея: опускание по центру и опускание при сканировании не являются обязательными.
|
||||
|
Рычаг для удаления кромок: 1 комплект
|
||||
|
Диаметр сопла для удаления кромок: 0.2 мм.
|
||||
|
Контроль расхода жидкости с удалением кромок: поплавковый расходомер
|
||||
|
Диапазон расхода жидкости для удаления кромок: 5-50 мл/мин.
|
||||
|
Трубопровод обратной промывки: 2 пути (4/6 дюйма каждый по 1 каналу)
|
||||
|
Мониторинг потока обратной промывки: поплавковый расходомер
|
||||
|
Диапазон расхода жидкости обратной промывки: 20-200 мл/мин.
|
||||
|
Метод фиксации чипа: вакуумно-адсорбционный патрон небольшой площади.
|
||||
|
Сигнализация давления вакуума: цифровой датчик давления вакуума
|
||||
|
Материал патрона: ППС.
|
||||
|
Материал чашки: ПП.
|
||||
|
Мониторинг выхлопа стакана: цифровой датчик давления
|
||||
|
6 |
Проявочный блок |
Затвор: да
|
||
|
Количество: 2 комплекта (ниже приведены конфигурации для каждого устройства)
|
||||
|
Скорость вращения шпинделя: -5000 об/мин~5000 об/мин.
|
несущий натяжной ролик
|
|||
|
Точность вращения шпинделя: ± 1 об/мин (50–5000 об/мин)
|
||||
|
Минимальная регулировка скорости вращения шпинделя: 1 об/мин.
|
||||
|
Максимальное ускорение вращения шпинделя: 20000 об/мин/с.
|
несущий натяжной ролик
|
|||
|
Развивающая рука: 1 комплект
|
||||
|
Проявочный трубопровод: 2-ходовой (веерообразное/столбчатое сопло)
|
||||
|
Фильтрация разработчика: 0.2 мкм
|
||||
|
Контроль температуры проявителя: 23 ± 0.5 ℃
|
необязательный
|
|||
|
Диапазон расхода развивающего раствора: 100~1000 мл/мин.
|
||||
|
Режим движения развивающей руки: фиксированная точка или сканирование.
|
||||
|
Рычаг плавления: 1 комплект
|
||||
|
Трубопровод деионизированной воды: 1 контур
|
||||
|
Диаметр сопла деионизированной воды: 4 мм (внутренний диаметр)
|
||||
|
Диапазон расхода деионизированной воды: 100 ~ 1000 мл/мин.
|
||||
|
Трубопровод осушки азота: 1 контур
|
||||
|
Диаметр азотного сопла: 4 мм (внутренний диаметр)
|
||||
|
Диапазон расхода азота: 5-50 л/мин.
|
||||
|
Проявитель, деионизированная вода, контроль потока азота: поплавковый расходомер.
|
||||
|
Трубопровод обратной промывки: 2 пути (4/6 дюйма каждый по 1 каналу)
|
||||
|
Мониторинг потока обратной промывки: поплавковый расходомер
|
||||
|
Диапазон расхода жидкости обратной промывки: 20-200 мл/мин.
|
||||
|
Метод фиксации чипа: вакуумно-адсорбционный патрон небольшой площади.
|
||||
|
Сигнализация давления вакуума: цифровой датчик давления вакуума
|
||||
|
Материал патрона: ППС.
|
||||
|
Материал патрона: ППС.
|
||||
|
Материал чашки: ПП.
|
||||
|
Мониторинг выхлопа стакана: цифровой датчик давления
|
||||
|
7 |
Блок придания клейкости |
Количество: 2
|
необязательный
|
|
|
Диапазон температур: комнатная температура ~ 180 ℃.
|
||||
|
Однородность температуры: Комнатная температура ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃.
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Удалите 10 мм от края, за исключением отверстия для штифта выталкивателя) |
||||
|
Минимальная величина регулировки: 0.1 °C.
|
||||
|
Метод контроля температуры: ПИД-регулировка.
|
||||
|
Диапазон высоты PIN-кода: 0-20 мм
|
||||
|
Материал PIN-кода: корпус SUS304, колпачок PIN-кода PI.
|
||||
|
Зазор для выпечки: 0.2 мм
|
||||
|
Сигнализация перегрева: сигнализация положительного и отрицательного отклонения
|
||||
|
Метод подачи: барботаж, 10 ± 2 мл/мин.
|
||||
|
Рабочий вакуум камеры: -5-20 кПа
|
||||
|
8 |
Блок горячей плиты |
Количество: 10
|
||
|
Диапазон температур: комнатная температура ~ 250 ℃.
|
||||
|
Однородность температуры: Комнатная температура ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃.
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Удалите 10 мм от края, за исключением отверстия для штифта выталкивателя) |
||||
|
Минимальная величина регулировки: 0.1 ℃
|
||||
|
Метод контроля температуры: ПИД-регулировка.
|
||||
|
Диапазон высоты PIN-кода: 0-20 мм
|
||||
|
Материал PIN-кода: корпус SUS304, колпачок PIN-кода PI.
|
||||
|
Зазор для выпечки: 0.2 мм
|
||||
|
Сигнализация перегрева: сигнализация положительного и отрицательного отклонения
|
||||
|
9 |
Блок холодной плиты
|
Количество: 2
|
||
|
Диапазон температур: 15-25 ℃
|
||||
|
Метод охлаждения: охлаждение циркуляционного насоса с постоянной температурой.
|
||||
|
10 |
Химическая поставка |
Хранение фоторезиста: пневматический клеевой насос * 4 комплекта (дополнительный бак или электрический клеевой насос)
|
||
|
Объем дозирования клея: максимум 12 мл за сеанс, точность ± 0.2 мл.
|
||||
|
Удаление кромок/обратная промывка/подача RRC: бак под давлением 18 л * 2 (автоматическое пополнение)
|
||||
|
Удаление кромок/обратная промывка/контроль уровня жидкости RRC: фотоэлектрический датчик
|
||||
|
Контроль уровня жидкости из фоторезиста: фотоэлектрический датчик
|
||||
|
Слив однородной клейкой отработанной жидкости: бак для отработанной жидкости емкостью 10 л.
|
||||
|
Запас проявителя: бак под давлением 18 л * 4 (хранятся в шкафу для химикатов снаружи машины)
|
||||
|
Подача деионизированной воды: прямая поставка с завода.
|
||||
|
Разработка мониторинга уровня жидкости: фотоэлектрический датчик
|
||||
|
Сброс отходов застройщика: сброс заводских отходов
|
||||
|
Поставка средства для повышения клейкости: резервуар под давлением 10 л * 1, резервуар под давлением 2 л * 1.
|
||||
|
Контроль уровня вещества для повышения клейкости: фотоэлектрический датчик
|
||||
|
11 |
система управления |
Метод управления: ПЛК
|
||
|
Интерфейс управления человеком-машиной: 17-дюймовый сенсорный экран
|
||||
|
Источник бесперебойного питания (ИБП): Да
|
||||
|
Установите разрешения на шифрование для операторов устройств, технических специалистов и администраторов.
|
||||
|
Тип сигнальной башни: красный, желтый, зеленый 3 цвета.
|
||||
|
12 |
Показатели надежности системы
|
Время безотказной работы: ≥95%
|
||
|
Среднее время безотказной работы: ≥ 500 часов
|
||||
|
Среднее время восстановления: ≤ 4 часа
|
||||
|
МТБА: ≥24 часа
|
||||
|
Скорость фрагментации: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Другие функции
|
Желтый свет: 4 комплекта (расположение: над блоком смешивания и проявки клея)
|
||
|
ТГК: Да, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
необязательный
|
|||
|
FFU: Класс 100, 5 комплектов (технологический блок и зона РОБОТА)
|
||||
Гуанчжоу Миндер-Хайтэк Ко., Лтд.
Авторские права © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
НЕТ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
