|
проект
|
Характеристики
|
примечания
|
||
|
1 |
Обзор оборудования |
Название оборудования: полностью автоматическая машина для создания клея
|
||
|
Модель оборудования: MD-2C2D6
|
||||
|
Спецификации для пластинок: совместимы с стандартными пластинами размером 4/6 дюймов
|
||||
|
Процесс сбора однородного клея: нарезание цветочной корзины → центрирование → однородный клей (капельное → однородное клеевое → удаление края, спинка)
стирка) → горячая тарелка → холодная тарелка → размещение корзины Процесс развития: резка цветочной корзины → центрирование → развитие (раствор развития → деионизированная вода, обратная стирка → сушка азота) → горячая тарелка → холодная тарелка → размещение корзины |
||||
|
Общий размер (приблизительно): 2100 мм (W) * 1800 мм (D) * 2100 мм (H)
|
||||
|
Размер химического шкафа (приблизительно): 1700 ((W) * 800 ((D) * 1600 мм (H)
|
||||
|
Общий вес (примерно): 1000 кг
|
||||
|
Высота рабочего стола: 1020 ± 50 мм
|
||||
|
2 |
Кассетный модуль
|
Количество: 2
|
||
|
Совместимый размер: 4/6 дюймов
|
||||
|
Обнаружение кассеты: обнаружение микропереключателем
|
||||
|
Обнаружение выдвижения: Да, отражательный сенсор
|
||||
|
3 |
робот |
Количество: 1
|
||
|
Тип: Робот с двумя руками вакуумной吸附orption
|
||||
|
Степень свободы: 4-осевой (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Материал пальцев: керамика
|
||||
|
Метод фиксации субстрата: метод вакуумной адсорбции
|
||||
|
Функция картографирования: Да
|
||||
|
Точность позиционирования: ± 0.1мм
|
||||
|
4 |
Единица центрирования
|
Количество: 1 комплект
|
Необязательное оптическое выравнивание
|
|
|
Метод выравнивания: механическое выравнивание
|
||||
|
Точность центрирования: ± 0.2мм
|
||||
|
5 |
Единица равномерного клея |
Количество: 2 комплекта (ниже приведены конфигурации для каждой единицы)
|
||
|
Скорость вращения шпинделя: -5000об/мин~5000об/мин
|
опорный ролик
|
|||
|
Точность вращения шпинделя: ± 1 об/мин (50 об/мин~5000 об/мин)
|
||||
|
Минимальная настройка скорости вращения шпинделя: 1 об/мин
|
||||
|
Максимальное ускорение вращения шпинделя: 20000 об/мин
|
опорный ролик
|
|||
|
Капающая рука: 1 комплект
|
||||
|
Маршрут трубы фотосопротивления: 2 маршрута
|
||||
|
Диаметр насадки фотосопротивления: 2,5 мм
|
||||
|
Изоляция фотосопротивления: 23 ± 0,5 ℃
|
дополнительно
|
|||
|
Увлажняющая насадка: Да
|
||||
|
Контроль RRC: Да
|
||||
|
Буфер: Да, 200 мл
|
||||
|
Метод нанесения клея: центральное нанесение и сканирующее нанесение опциональны
|
||||
|
Рука для удаления краев: 1 комплект
|
||||
|
Диаметр сопла для удаления краев: 0.2 мм
|
||||
|
Контроль потока жидкости для удаления краев: поплавковый расходомер
|
||||
|
Диапазон потока жидкости для удаления краев: 5-50 мл/мин
|
||||
|
Промывочная магистраль: 2 способа (по 4/6 дюймов, каждый с 1 каналом)
|
||||
|
Контроль потока промывочной жидкости: поплавковый расходомер
|
||||
|
Диапазон потока промывочной жидкости: 20-200 мл/мин
|
||||
|
Метод фиксации чипа: малая площадь вакуумной吸附 Chuck
|
||||
|
Сигнал вакуумного давления: цифровой датчик вакуумного давления
|
||||
|
Материал патрона: ППС
|
||||
|
Материал чашки: ПП
|
||||
|
Контроль оттока чашки: цифровой датчик давления
|
||||
|
6 |
Единица проявления |
Затвор: есть
|
||
|
Количество: 2 комплекта (ниже приведены конфигурации для каждой единицы)
|
||||
|
Скорость вращения шпинделя: -5000об/мин~5000об/мин
|
опорный ролик
|
|||
|
Точность вращения шпинделя: ± 1 об/мин (50 об/мин~5000 об/мин)
|
||||
|
Минимальная настройка скорости вращения шпинделя: 1 об/мин
|
||||
|
Максимальное ускорение вращения шпинделя: 20000 об/мин
|
опорный ролик
|
|||
|
Производственный рычаг: 1 комплект
|
||||
|
Производственная труба: 2-ходовая (вентиляционная/колонновидная форсунка)
|
||||
|
Фильтрация проявителя: 0.2 мкм
|
||||
|
Контроль температуры проявителя: 23 ± 0.5 ℃
|
дополнительно
|
|||
|
Диапазон потока раствора проявителя: 100~1000 мл/мин
|
||||
|
Режим движения руки проявления: фиксированная точка или сканирование
|
||||
|
Рука для спекания: 1 комплект
|
||||
|
Линия дистиллированной воды: 1 контур
|
||||
|
Диаметр насадки для дистиллированной воды: 4 мм (внутренний диаметр)
|
||||
|
Диапазон потока дистиллированной воды: 100~1000 мл/мин
|
||||
|
Линия сушки азотом: 1 контур
|
||||
|
Диаметр азотной насадки: 4 мм (внутренний диаметр)
|
||||
|
Диапазон потока азота: 5-50 л/мин
|
||||
|
Контроль потока проявителя, дистиллированной воды, азота: поплавковый расходомер
|
||||
|
Промывочная магистраль: 2 способа (по 4/6 дюймов, каждый с 1 каналом)
|
||||
|
Контроль потока промывочной жидкости: поплавковый расходомер
|
||||
|
Диапазон потока промывочной жидкости: 20-200 мл/мин
|
||||
|
Метод фиксации чипа: малая площадь вакуумной吸附 Chuck
|
||||
|
Сигнал вакуумного давления: цифровой датчик вакуумного давления
|
||||
|
Материал патрона: ППС
|
||||
|
Материал патрона: ППС
|
||||
|
Материал чашки: ПП
|
||||
|
Контроль оттока чашки: цифровой датчик давления
|
||||
|
7 |
Такифицирующий узел |
Количество: 2
|
дополнительно
|
|
|
Диапазон температур: комнатная температура~180 ℃
|
||||
|
Равномерность температуры: Комнатная температура~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Удалить 10 мм от края, за исключением отверстия для выбросного пинка) |
||||
|
Минимальный шаг регулировки: 0.1 ° C
|
||||
|
Метод контроля температуры: настройка PID
|
||||
|
Диапазон высоты PIN: 0-20мм
|
||||
|
Материал PIN: корпус SUS304, наконечник PIN из PI
|
||||
|
Зазор для прокаливания: 0.2мм
|
||||
|
Сигнал тревоги при перегреве: сигнал отклонения в положительную и отрицательную стороны
|
||||
|
Метод подачи: Пузырение, 10 ± 2мл/мин
|
||||
|
Вакуум в камере: -5-20КПа
|
||||
|
8 |
Единица нагревательной панели |
Количество: 10
|
||
|
Диапазон температур: комнатная температура~250 ℃
|
||||
|
Равномерность температуры: Комнатная температура~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Удалить 10 мм от края, за исключением отверстия для выбросного пинка) |
||||
|
Наименьший шаг регулировки: 0.1 ℃
|
||||
|
Метод контроля температуры: настройка PID
|
||||
|
Диапазон высоты PIN: 0-20мм
|
||||
|
Материал PIN: корпус SUS304, наконечник PIN из PI
|
||||
|
Зазор для прокаливания: 0.2мм
|
||||
|
Сигнал тревоги при перегреве: сигнал отклонения в положительную и отрицательную стороны
|
||||
|
9 |
Единица охлаждающей панели
|
Количество: 2
|
||
|
Диапазон температур: 15-25 ℃
|
||||
|
Метод охлаждения: охлаждение с помощью циркуляционного насоса постоянной температуры
|
||||
|
10 |
Подача химикатов |
Хранилище фоторезиста: пневматический клеевой насос * 4 комплекта (Опциональный бак или электрический клеевой насос)
|
||
|
Объем подачи клея: максимум 12 мл за сеанс, точность ± 0.2 мл
|
||||
|
Удаление краев/обратная промывка/подача RRC: давлениый бак на 18 л * 2 (автоматическая дозаправка)
|
||||
|
Контроль уровня жидкости для удаления краев/обратной промывки/RRC: фотоэлектрический датчик
|
||||
|
Контроль уровня фоторезиста: фотоэлектрический датчик
|
||||
|
Сбор отходов равномерной смолы: бак для отходов на 10 л
|
||||
|
Подача проявителя: давлениый бак на 18 л * 4 (хранится в химическом шкафу вне машины)
|
||||
|
Подача деионизированной воды: прямая подача с завода
|
||||
|
Разработка мониторинга уровня жидкости: фотоэлектрический датчик
|
||||
|
Отвод отходов разработки: отвод промышленных отходов
|
||||
|
Подача таксификатора: бак под давлением 10Л * 1, бак под давлением 2Л * 1
|
||||
|
Контроль уровня таксификатора: фотоэлектрический датчик
|
||||
|
11 |
система управления |
Метод управления: ПЛК
|
||
|
Интерфейс человеко-машинного взаимодействия: сенсорный экран 17 дюймов
|
||||
|
Источник бесперебойного питания (ИБП): Да
|
||||
|
Установка прав доступа для операторов оборудования, техников, администраторов
|
||||
|
Тип сигнальной башни: красный, желтый, зеленый 3 цвета
|
||||
|
12 |
Показатели надежности системы
|
Время безотказной работы: ≥95%
|
||
|
Среднее время между отказами: ≥ 500ч
|
||||
|
Среднее время восстановления: ≤ 4ч
|
||||
|
MTBA： ≥24ч
|
||||
|
Коэффициент фрагментации: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Другие функции
|
Желтый свет: 4 комплекта (расположение: над блоком смешивания клея и развития)
|
||
|
THC: Да, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
дополнительно
|
|||
|
FFU: Класс 100, 5 комплектов (процессная единица и область ROBOT)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
