ТИП |
MDPS-560 II |
||
Главная камера напыления |
грушевидная вакуумная камера, размер: Φ560×350мм |
||
Камера ввода образцов |
цилиндрическая горизонтального типа, размер: Φ250мм×420мм |
||
Насосная система |
независимый комплект составных молекулярных насосов и механических насосов для главной камеры напыления и камеры ввода образцов. |
||
Предел вакуума |
Главная камера напыления |
≤6,67×10-6 Па (после прокаливания и дегазации) |
|
Камера ввода образцов |
≤6,67×10-4 Па (после прокаливания и дегазации) |
||
Восстановление вакуума |
Главная камера напыления |
6.6×10-4Па после 40 мин. (нагнетание после кратковременного контакта с воздухом и заполнения сухим азотом) |
|
Камера ввода образцов |
6.6×10-3Па после 40 мин. (нагнетание после кратковременного контакта с воздухом и заполнения сухим азотом) |
||
Модуль магнетронной цели |
5 постоянных магнитных целей; размер Φ60мм (одна из целей может испарять ферромагнитный материал). Все цели могут работать с РЧ-испарением и совместимы с ИС-испарением; расстояние между целью и образцом регулируется от 40мм до 80мм. |
||
Водяное охлаждение, подогрев вращающегося стола |
Структура субстрата |
Шесть станций, одна оснащена нагревательной печью, остальные являются станциями водяного охлаждения субстрата. |
|
Размер |
Φ30мм, шесть позиций. |
||
Способ движения |
0-360°, рекипrocирoвать. |
||
Подогрев |
Макс. температура 600℃±1℃ |
||
Отрицательная подложка |
-200V |
||
Газовая система |
Двухканальный массовый потоковый контроллер (MFC) |
||
Камера ввода образцов |
камера для отбора проб |
Шесть простых за раз |
|
Аннилятор |
Макс. температура нагрева 800℃±1℃ |
||
Модуль цели для повторного наложения |
Очистка повторным наложением |
||
Система отправки магнитных образцов |
Используется для транспортировки образцов между камерой наложения и камерой ввода образцов. |
||
Система компьютерного управления |
Вращение образца, открытие и закрытие заслонки, управление положением цели |
||
Занимаемая площадь |
Основной комплект |
2600×900mm2 |
|
электрический шкаф |
700×700mm2 (два комплекта) |
||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
