Это оборудование является точной литографической машиной, разработанной нашей компанией специально для особенностей использования литографических машин в различных университетах и научно-исследовательских институтах. Оно主要用于 разработки и производства малых и средних интегральных схем, полупроводниковых компонентов, оптоэлектронных устройств и поверхностных акустических волн. При сохранении основных технических характеристик оборудования мы оптимизировали некоторые его конструкции и компоненты, устранили ненужные механические действия, обеспечив минимальное количество возможных неисправностей оборудования и очень стабильную, надежную работу.
Характеристики
Основные технические параметры
1. Тип экспонирования: односторонний. 2. Площадь экспонирования: 110×110 мм. 3. Неравномерность освещения при экспонировании: ≤±3%. 4. Интенсивность экспонирования: 0-30 мВт/см² регулируемая. 5. Угол пучка УФ: ≤3°. 6. Центральная длина волны ультрафиолета: 365 нм. 7. Срок службы источника УФ-излучения: ≥500 часов. 8. Использование электронного затвора. 9. Разрешение экспонирования: 1 мкм; 10. Диапазон микроскопического сканирования: X: ±15 мм Y: ±15 мм; 11. Диапазон выравнивания: корректировка X, Y ±4 мм; корректировка направления Q ±3°; 12. Точность гравировки: 1 мкм. Точность версии и чипа пользователя должна соответствовать государственным нормативам, а также окружающая среда, температура, влажность и пыль могут быть строго контролируемыми. Используется импортный положительный фоторезист, толщина которого может быть строго контролируемой. Кроме того, передовые процессы на предварительных и последующих этапах; 13. Количество разделения: регулируется от 0 до 50 мкм; 14. Метод экспонирования: близкий контакт, который может обеспечить жесткий контакт, мягкий контакт и контакт с минимальным усилием; 15. Формула поиска квадрата: воздух
Упаковка и доставка
Профиль компании
У нас есть 16-летний опыт продаж оборудования. Мы можем предложить вам комплексное профессиональное решение для линий упаковки переднего и заднего края полупроводников из Китая.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
