MDXN-25D Масковыравниватель, Китай MDXN-25D Масковыравниватель Производители, Поставщики, Фабрика

Описание товара:

Это оборудование представляет собой прецизионную литографическую машину, разработанную нашей компанией специально для использования характеристик литографических машин в различных колледжах и исследовательских институтах. В основном оно используется для разработки и производства малых и средних интегральных схем, полупроводниковых компонентов, оптоэлектронных устройств, и устройства на поверхностных акустических волнах.
Исходя из сохранения первоначальных основных технических показателей оборудования, мы оптимизировали некоторые конструкции и компоненты оборудования, сократили количество ненужных механических действий, добились того, чтобы точки отказа оборудования были максимально сведены к минимуму, а эксплуатация оборудование также очень стабильно и надежно.

MDXN-25D Завод по производству масок-выравнивателей

Спецификация

Основные технические параметры

1. Тип экспозиции: односторонняя.
2. Зона воздействия: 110×110 мм.
3. Неравномерное освещение экспозиции: ≤±3%.
4. Интенсивность воздействия: регулируемая 0-30 МВт/см2.
5. Угол УФ-луча: ≤3°.
6. Центральная длина волны ультрафиолетового света: 365 нм.
7. Срок службы источника ультрафиолетового света: ≥500 часов.
8.Принятие электронного затвора.
9. Разрешение экспозиции: 1 мкм;
10. Диапазон микроскопического сканирования: X: ± 15 мм Y: ± 15 мм;
11. Диапазон выравнивания: регулировка X, Y ± 4 мм; регулировка направления Q ± 3 °;
12. Точность гравировки: 1 мкм. Точность «версии» и «чипа» пользователя должна соответствовать национальным нормам.
и окружающая среда, температура, влажность и пыль могут строго контролироваться. Используется импортный позитивный фоторезист, и толщина однородного фоторезиста может бытьСтрого контролируется. Кроме того, передние и задние процессы усовершенствованы;
13. Величина разделения; 0 ~ 50 мкм регулируется;
14. Метод воздействия: близкое воздействие, которое может обеспечить жесткий контакт, мягкий контакт и воздействие микросилового контакта; 15. Формула нахождения площади: воздух

Упаковка и доставка

О компании

Имеем 16-летний опыт продаж оборудования. Мы можем предоставить вам универсальное профессиональное решение по производству полупроводникового оборудования для переднего и заднего плана из Китая.