MDXN-25D4 Высокоточный масочный выравниватель , China MDXN-25D4 Высокоточный масочный выравниватель Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание продукта

Это оборудование主要用于 разработку и производство малых и средних интегральных схем, полупроводниковых компонентов и устройств поверхностных акустических волн. Из-за продвинутого механизма выравнивания и низкого усилия выравнивания, этот станок подходит не только для экспонирования различных типов субстратов, но также для экспонирования легко ломающихся субстратов, таких как мышьяк калия и фосфат стали, а также для экспонирования не круглых и маленьких субстратов.

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture

Характеристики

Основные технические параметры

1. Тип экспонирования: одностороннее экспонирование
2. Зона экспонирования: 110X110 мм;
3. Равномерность экспонирования: ≥ 97%;
4. Интенсивность экспонирования: 0-30мВт/см² регулируемая;
5. Угол ультрафиолетового пучка: ≤ 3 °
6. Центральная длина волны ультрафиолетового излучения: 365 нм;
7. Срок службы источника ультрафиолетового излучения: ≥ 20000 часов;(гарантия 2 года)
8. Использование электронного затвора;
9. Разрешение экспонирования: 1 мкм
10. Диапазон обзора камеры: ± 15мм Y: ± 15мм
11. Диапазон выравнивания: x: ± 4мм Y: ± 4мм Q: ±3°.
12. Точность выравнивания: 1 мкм (при хороших условиях окружающей среды).
13. Диапазон расстояния разделения: 0-50 мкм регулируемый.
14. Метод экспонирования: контактная экспозиция (жесткий/мягкий/микро-контакт).
15. Метод балансировки: воздушная плавучесть.
16. Микроскопическая система: система CCD с двойным полем зрения, объектив 1,6X~10X, компьютерная система обработки изображений, монитор LCD 19"; Общее увеличение 91-570x. Расстояние до объектива: 50-120 мм.
17. Размер маски: 127*127мм; 102*102мм
18. Размер субстрата: Φ102мм; Φ76мм
19. Толщина субстрата: ≤1мм
20. Время экспонирования: 0-999,9 секунд регулируемое.
21.Мощность: 220В 50Гц 1.5кВт.
22.источник воздуха? 0.4Мпа
23.Степень вакуума: -0.07МПа~-0.09МПа

Упаковка и доставка

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner details

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner factory

Профиль компании

У нас есть 16-летний опыт продаж оборудования. Мы можем предложить вам комплексное профессиональное решение для линий упаковки переднего и заднего края полупроводников из Китая.