Высокоточный выравниватель масок MDXN-25D4, Китай Высокоточный выравниватель масок MDXN-25D4 Производители, Поставщики, Фабрика

Описание товара:

Это оборудование в основном используется для разработки и производства малых и средних интегральных схем, полупроводниковых компонентов и устройств на поверхностных акустических волнах. Благодаря усовершенствованному механизму выравнивания и малому усилию выравнивания эта машина подходит не только для экспонирования различных типов подложек, но также для экспонирования легко фрагментируемых подложек, таких как арсенид калия и фосфатная сталь, а также экспонирования не круглые и небольшие подложки.

Производство высокоточного выравнивателя масок MDXN-25D4

Спецификация

Основные технические параметры

1. Тип воздействия: одностороннее воздействие.
2. Зона воздействия: 110X110 мм;
3. Равномерность воздействия: ≥ 97%;
4. Интенсивность воздействия: регулируемая 0-30 МВт/см2;
5. Угол УФ-луча: ≤ 3 °.
6. Центральная длина волны ультрафиолетового света: 365 нм;
7. Срок службы источника ультрафиолетового света: ≥ 20000 часов; (гарантия 2 года)
8. Принятие электронного затвора;
9. Разрешение экспозиции: 1 мкм.
10.Диапазон обзора камеры: ± 15 мм Y: ± 15 мм
11. Диапазон выравнивания: x: ± 4 мм Y: ± 4 мм Q: ± 3°.
12. Точность выравнивания: 1 мкм (при хороших условиях окружающей среды).
13. Диапазон расстояния разделения: регулируемый от 0 до 50 мкм.
14. Метод воздействия: контактное воздействие. (жесткое/мягкое/микрокасание)
15. Метод баланса: воздушная флотация.
16. Микроскопическая система: система CCD с двойным полем зрения, объектив 1.6X~10X, компьютерная система обработки изображений, 19-дюймовый ЖК-монитор; общее увеличение 91-570x. Расстояние до объектива: 50-120 мм.
17. Размер маски: 127*127 мм; 102*102 мм.
18. Размер подложки: Φ102 мм; Φ76 мм.
19. Толщина подложки: ≤1 мм.
20. Время экспозиции: регулируемое 0-999.9 секунды.
21. Мощность: 220 В, 50 Гц, 1.5 кВт.
22. источник воздуха? 0.4 МПа
23. Степень вакуума: -0.07 МПа~-0.09 МПа.

Упаковка и доставка

Подробности о высокоточном выравнивателе масок MDXN-25D4

Высокоточный выравниватель масок MDXN-25D4 завод

О компании

Имеем 16-летний опыт продаж оборудования. Мы можем предоставить вам универсальное профессиональное решение по производству полупроводникового оборудования для переднего и заднего плана из Китая.