Высокоточный двухсторонний литографический станок MDXN-31D4, Китай Высокоточный двухсторонний литографический станок MDXN-31D4 Производители, Поставщики, Фабрика

Описание товара:

Это оборудование в основном используется для разработки и производства малых и средних интегральных схем, полупроводниковых компонентов и устройств на поверхностных акустических волнах. Благодаря усовершенствованному механизму выравнивания и малому усилию выравнивания эта машина подходит не только для экспонирования различных типов подложек, но также для экспонирования легко фрагментируемых подложек, таких как арсенид калия и фосфатная сталь, а также экспонирования не круглые и небольшие подложки.

Подробности о машине для двухсторонней литографии высокой точности MDXN-31D4

Спецификация

Основные технические параметры

1. Тип воздействия: тип контакта, выравнивание пластины, двустороннее однократное воздействие.
2. Зона воздействия: 110X110 мм;
3. Равномерность воздействия: ≥ 97%;
4. Интенсивность воздействия: регулируемая 0-30 МВт/см2;
5. Угол УФ-луча: ≤ 3 °.
6. Центральная длина волны ультрафиолетового света: 365 нм;
7. Срок службы источника ультрафиолетового света: ≥ 20000 часов;
8. Температура рабочей поверхности: ≤ 30 ℃.
9. Принятие электронного затвора;
10. Разрешение экспозиции: 1 мкм (глубина экспозиции примерно в 10 раз превышает ширину линии)
11. Режим экспозиции: двусторонняя одновременная экспозиция.
12. Диапазон выравнивания: x: ± 5 мм Y: ± 5 мм
13. Точность выравнивания пластины: 2 мкм.
14. Диапазон вращения: регулировка вращения в направлении Q ≤ ± 5 °.
15. Микроскопическая система: CCD-система с двойным полем зрения, объектив 1.6X~10X, компьютерная система обработки изображений, ЖК-монитор 19 дюймов; общее увеличение 91-570x.
16. Размер маски: Способен поглощать вакуум 5-дюймовых квадратных масок, без особых требований к толщине маски (от 1 до 3 мм).
17. Размер подложки: подходит для подложек размером 4 дюйма с толщиной подложки от 0.1 до 2 мм.
18. При заказе особых требований нет, полка 5"Х5 входит в стандартную комплектацию, можно настроить полки ниже 5"Х5:

Упаковка и доставка

Производство высокоточной двухсторонней литографической машины MDXN-31D4

MDXN-31D4 Высокоточная двухсторонняя литографическая машина завод

О компании

Имеем 16-летний опыт продаж оборудования. Мы можем предоставить вам универсальное профессиональное решение по производству полупроводникового оборудования для переднего и заднего плана из Китая.