Это оборудование主要用于 разработку и производство малых и средних интегральных схем, полупроводниковых компонентов и устройств поверхностных акустических волн. Из-за продвинутого механизма выравнивания и низкого усилия выравнивания, этот станок подходит не только для экспонирования различных типов субстратов, но также для экспонирования легко ломающихся субстратов, таких как мышьяк калия и фосфат стали, а также для экспонирования не круглых и маленьких субстратов.
Характеристики
Основные технические параметры
1. Тип экспонирования: контактный, с выравниванием пластины, одностороннее двойное экспонирование 2. Зона экспонирования: 110X110 мм; 3. Равномерность экспонирования: ≥ 97%; 4. Интенсивность экспонирования: 0-30мВт/см² регулируемая; 5. Угол ультрафиолетового пучка: ≤ 3 ° 6. Центральная длина волны ультрафиолетового излучения: 365 нм; 7. Срок службы источника ультрафиолетового излучения: ≥ 20000 часов; 8. Температура рабочей поверхности: ≤ 30 ℃ 9. Использование электронного затвора; 10. Разрешение экспонирования: 1 μM (глубина экспонирования примерно в 10 раз больше ширины линии) 11. Режим экспонирования: двустороннее одновременное экспонирование 12. Диапазон выравнивания: x: ± 5мм Y: ± 5мм 13. Точность выравнивания пластины: 2 μm 14. Диапазон вращения: корректировка вращения в направлении Q ≤ ± 5 ° 15. Микроскопическая система: система CCD с двойным полем зрения, объектив 1.6X~10X, компьютерная система обработки изображений, монитор LCD 19"; Общее увеличение 91-570x 16. Размер маски: способна к вакуумному захвату квадратных масок размером 5", без специальных требований к толщине маски (от 1 до 3 мм). 17. Размер субстрата: подходит для субстратов размером 4", с толщиной субстрата от 0.1 до 2 мм. 18. При заказе особых требований нет, стандартная полка 5" X5; можно настроить полки ниже 5" X5:
Упаковка и доставка
Профиль компании
У нас есть 16-летний опыт продаж оборудования. Мы можем предложить вам комплексное профессиональное решение для линий упаковки переднего и заднего края полупроводников из Китая.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
