Очиститель плазмы нового поколения микроволновый Машина для очистки плазмой Установка для упаковки полупроводников , China Очиститель плазмы нового поколения микроволновый Машина для очистки плазмой Установка для упаковки полупроводников Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание продукта

Microwave Plasma Cleaner

SPV-100MWR является системой низковольтной микроволновой плазменной очистки для полупроводников. Применяя микроволны с частотой 2,45 ГГц к окну на стенке вакуумной камеры, создается большое количество непрерывной плазмы, и чип очищается при входе в камеру.

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment supplier

Применения

New Generation Microwave plasma cleaner plasma cleaning machine Semiconductor Packaging solution equipment factory

Характеристики

Вакуумный плазменный блок
Размер оборудования	1230X1800X1100мм (ширина x высота x глубина)
Вес	450Кг
Спрос на электроэнергию	AC380V, 50/60Hz, 5-провод, 30A
Характеристики плазменного генератора
Источник питания микроволн	Мощность	0~1250Вт
		Частота	2.45ГГц
Вакуумная система
Материал	Алюминиевый сплав (настраиваемая камера из нержавеющей стали)
Толщина	25 мм
Внутренние размеры полости	480ммX470ммX480мм
Рабочие пространства	6 секций журнала
ECR	Журнал с прорезями обеспечивает улучшенный эффект обработки ECR
Способность к плазме
Обрабатывающая способность	шаг 35 мкм выступ 40 мкм максимальный размер кристалла 15x15 мм