Прецизионный шлифовально-полировальный станок MDAM-CMP100/150, основной блок и все запасные части изготовлены из материалов с высокой коррозионной стойкостью. Весь станок устойчив к коррозии, стабилен, износоустойчив и устойчив к ржавчине, подходит для химико-механической шлифовки и полировки различных полупроводниковых материалов. Рабочее пространство отделено от зоны управления дисплеем и управляется цифровым способом с помощью системы управления с сенсорным экраном. Он управляется ЧПУ, может храниться и извлекаться.
Система устройства имеет функцию таймера, которая может работать непрерывно в течение 10 часов и контролировать скорость полировального диска. Панель управления расположена за пределами рабочей зоны, чтобы предотвратить попадание абразивного раствора на панель управления. Все параметры хоста можно регулировать на сенсорном экране. Параметры процесса хоста имеют функции хранения и извлечения, чтобы обеспечить последовательность и повторяемость процесса. Образец пластины адсорбируется на нижней поверхности приспособления вакуумной откачкой, оснащенного безмасляным вакуумным насосом, и имеет независимую функцию антиобратного всасывания.
Система привода горизонтального вращения образца конфигурации приспособления имеет функцию качания с регулируемым диапазоном качания 0-100%. Амплитуду качания и частоту скорости можно точно установить с помощью панели управления. Приспособление оснащено независимой системой привода для вращения с регулируемым диапазоном скорости 0-120 об/мин. Эта функциональная конструкция обеспечивает полировку образца полным качанием во время процесса шлифования и полирования, значительно повышая производительность полировки и эффективность оборудования.
Приспособление оснащено цифровым столом контроля толщины с точностью контроля 1 мкм. Давление приспособления на образец пластины плавно регулируется, диапазон давления составляет 0-3.5 кг, точность составляет 2 г/см², а также оснащено устройством измерения давления.
Работа шлифовально-полировального диска контролируется главным приводом, а скорость вращения диска может регулироваться от 0 до 120 оборотов в минуту. Такой диапазон изменения скорости эффективно обеспечивает скорость шлифования и полирования образцов материалов различной твердости и размера, тем самым достигая более высоких показателей процесса. Замена шлифовальных дисков и полировальных дисков проста и быстра, с помощью встроенных дисков, которые позволяют оборудованию быстро переходить от шлифовальных к полировальным процессам, значительно сокращая время процесса. А шлифовальный диск оснащен блоком ремонта диска, чтобы гарантировать, что шлифовальный диск имеет хорошую плоскостность.