Товар |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Размер продукта |
≤6 дюймов |
≤8 дюймов |
≤8 дюймов |
||
Источник РЧ мощности |
0-300Вт/500Вт/1000Вт Настройка, автоматическое согласование |
||||
Молекулярный насос |
-\/620(Л\/с)\/1300(Л\/с)\/На заказ |
Антисептик620(Л\/с)\/1300(Л\/с)\/На заказ |
|||
Вакуумный насос |
Механический насос\/сухой насос |
Сухой насос |
|||
Процессное давление |
Неконтролируемое давление\/0-1Torr контролируемое давление |
||||
Тип газа |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/На заказ (До 9 каналов, без коррозионных и токсичных газов) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(До 9 каналов) |
|||
газовая диапазона |
0~5ccm\/50ccm\/100ccm\/200ccm\/300ccm\/500ccm\/на заказ |
||||
LoadLock |
Да\/Нет |
Да |
|||
Управление температурой образца |
10°C~Температура помещения/-30°C~100°C/По запросу |
-30°C~100°C/По запросу |
|||
Обратное охлаждение гелием |
Да\/Нет |
Да |
|||
Облицовка процессуальной камеры |
Да\/Нет |
Да |
|||
Контроль температуры стенок камеры |
Нет/Температура помещения~60/120°C |
Температура помещения-60/120°C |
|||
Система управления |
Автоматический/По запросу |
||||
Этching материал |
На основе кремния: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Магнитные материалы/сплавы Металлический материал: Ni/Cr/Al/Au..... Органический материал: PR/PMMA/HDMS/Органика пленка...... |
На основе кремния: Si/SiO2/SiNx...... III-V (прим.3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (прим.3): CdTe...... Магнитные материалы/сплавы Металлический материал: Ni/Cr/A1/Au...... Органический материал: PR/PMMA/HDMS /органическая пленка... |
|||
Применяется для травления труднообрабатываемых материалов, таких как некоторые металлы (например, Ni/Cr) и керамика, а также для реализуется паттернированное травление материалов за счет физического облучения. |
Используется для травления и удаления органических соединений, таких как фоторезист (PR)/PMMA/HDMS/полимер |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
