Товар | MD150-РИЭ | MD200-РИЭ | MD200C-RIE | ||
Размер продукта | ≤6 дюймов | ≤8 дюймов | ≤8 дюймов | ||
ВЧ источник питания | 0–300 Вт/500 Вт/1000 Вт Регулируемая, автоматическое согласование | ||||
Молекулярный насос | -/620(л/с)/1300(л/с)/по индивидуальному заказу | Антисептик620(л/с)/1300(л/с)/на заказ | |||
Форвакуумный насос | Механический насос/сухой насос | Сухой насос | |||
Давление процесса | Неконтролируемое давление/контролируемое давление 0-1 Торр | ||||
Тип газа | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Пользовательский (До 9 каналов, отсутствие агрессивных и токсичных газов) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Газовая плита | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Да нет | Да | |||
Образец контроля температуры | 10°C~комнатная температура/-30°C~100°C/по индивидуальному заказу | -30°C~100°C/на заказ | |||
Заднее гелиевое охлаждение | Да нет | Да | |||
Футеровка технологической полости | Да нет | Да | |||
Контроль температуры полых стенок | Нет/комнатная температура~60/120°C | Комнатная температура - 60/120°С | |||
Система контроля | Авто/пользовательский | ||||
Травильный материал | На основе кремния: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: Карбид кремния Магнитные материалы/сплавы Металлический материал: Ni/Cr/Al/Au. Органический материал: PR/PMMA/HDMS/органическая пленка. | На основе кремния: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: Карбид кремния II-VI (注3): CdTe. Магнитные материалы/сплавы Металлический материал: Ni/Cr/A1/Au. Органический материал: PR/PMMA/HDMS/органическая пленка. |
Подходит для микроволновых устройств, силовых устройств и т. д.
Высокотехнологичная машина реактивного ионного травления (RIE) Minder-High-tech представляет собой современную технологию, которая может травить и анализировать различные типы материалов с невероятной точностью. Эта машина предназначена для использования в различных отраслях промышленности, где регулярно требуется микрообработка или травление. Он изготовлен из высококачественных материалов, которые делают его прочным, надежным и способным давать отличные результаты.
Оснащен эффективным RF-генератором плазмы. В системе RIE используется индуктивная связь для получения плазмы из подаваемого бензина. Этот метод создает плазму высокой плотности, которая увеличивает скорость травления продукта. Процесс травления на машине RIE эффективен, точен и легко контролируем, что позволяет добиться определенной глубины. Эта функция уникальна и является отличным выбором для исследовательских или промышленных работ.
Машина имеет широкий спектр применения, включая микроэлектронику, изготовление MEMS и производство полупроводников. Эта машина играет важную роль в травлении и микрообработке полупроводниковых материалов, таких как кремний, арсенид галлия и германий, в полупроводниковой промышленности. Устройство Minder-High-tech RIE также было внедрено в отрасли МЭМС для изготовления мягких и твердых материалов, таких как полиимид, диоксид кремния и нитрид кремния. Кроме того, он доступен для анализа отказов в отраслях, связанных с электронными услугами и продуктами.
Включает в себя различные функции, которые упрощают использование. Это удобное для пользователя программное обеспечение обеспечивает оператору полный контроль над параметрами травления, используемыми в устройстве. Настройки машины сохраняются во внутренней памяти, в которой можно хранить более 100 наборов настроек. Сенсорный экран позволяет оператору устанавливать такие параметры, как движение газа, мощность и давление. Машина Minder-High-tech RIE также имеет функцию контроля температуры, которая обеспечивает травление материалов при правильной температуре и предотвращает их повреждение.
Идеально подходит для компаний, которым требуется надежная и эффективная машина, способная обеспечить точные и точные результаты. Это устройство было разработано с использованием первоклассных технологий и высокого уровня. Его универсальность и удобные для пользователя функции делают его очень хорошим выбором для исследований и промышленного применения в различных секторах.
Он также оснащен эффективной системой анализа неисправностей, которая позволяет машине обнаруживать и устранять любые механические проблемы как можно скорее. Эта система гарантирует, что машина RIE сохраняет высокое качество и надежность на протяжении всего своего жизненного цикла. Для любой отрасли, где требуется точное и эффективное травление или микрообработка, машина Minder-High-tech RIE является идеальным решением.
Авторские права © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены.