Гуанчжоу Миндер-Хайтэк Ко., Лтд.

Главная
О Нас
МХ оборудование
Решение
Зарубежные пользователи
Видео
Свяжитесь с нами
Главная> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов
  • Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов

Система реактивного ионного травления RIE Машина RIE Анализ отказов Россия

Описание товара: 
Система реактивного ионного травления
Система реактивного ионного травления Машина RIE Поставщик анализа отказов RIE
Процесс подачи заявки
Пассивационный слой: SiO2, SiNx
Задний кремний
Клеевой слой: TaN
Сквозное отверстие: W
Особенность
1. Травление пассивационного слоя с отверстиями или без них;  
2. Травление клеевого слоя;  
3. Травление кремния сзади.
Спецификация
Схема конфигурации проекта и структуры машины
Товар
MD150-РИЭ
MD200-РИЭ
MD200C-RIE


Размер продукта
≤6 дюймов
≤8 дюймов
≤8 дюймов


ВЧ источник питания
0–300 Вт/500 Вт/1000 Вт Регулируемая, автоматическое согласование


Молекулярный насос
-/620(л/с)/1300(л/с)/по индивидуальному заказу

Антисептик620(л/с)/1300(л/с)/на заказ

Форвакуумный насос
Механический насос/сухой насос

Сухой насос

Давление процесса
Неконтролируемое давление/контролируемое давление 0-1 Торр


Тип газа
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Пользовательский
(До 9 каналов, отсутствие агрессивных и токсичных газов) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Газовая плита
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


LoadLock
Да нет

Да

Образец контроля температуры
10°C~комнатная температура/-30°C~100°C/по индивидуальному заказу

-30°C~100°C/на заказ

Заднее гелиевое охлаждение
Да нет

Да

Футеровка технологической полости
Да нет

Да

Контроль температуры полых стенок
Нет/комнатная температура~60/120°C

Комнатная температура - 60/120°С

Система контроля
Авто/пользовательский


Травильный материал
На основе кремния: Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: Карбид кремния
Магнитные материалы/сплавы
Металлический материал: Ni/Cr/Al/Au. 
Органический материал: PR/PMMA/HDMS/органическая пленка. 

На основе кремния: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: Карбид кремния
II-VI (注3): CdTe. 
Магнитные материалы/сплавы
Металлический материал: Ni/Cr/A1/Au. 
Органический материал: PR/PMMA/HDMS/органическая пленка. 

1. Предотвратите разлет стружки
2. Минимальный узел, который можно обработать: 14 нм:
3. Скорость травления SiO2/SiNx: 50~150 нм/мин;
4. Шероховатость травленой поверхности:5. Поддержка пассивационного слоя, адгезионного слоя и травления кремния на обратной стороне;
6. Выбор соотношения Cu/Al:>50.
7. Универсальная машина ДxШxВ: 1300x750x950 мм.
8. Поддержка выполнения в один клик.
Результат процесса

Травление материалов на основе кремния

Материалы на основе кремния, наноотпечатки, массив
Травление узоров и линз
Система реактивного ионного травления Машина RIE RIE Завод по анализу отказов

InP травление при нормальной температуре

Травление узоров устройств на основе InP, используемых в оптической связи, включая структуру волновода, структуру резонансного резонатора.
Система реактивного ионного травления Машина RIE Поставщик анализа отказов RIE

Травление материала SiC

Подходит для микроволновых устройств, силовых устройств и т. д.


Система реактивного ионного травления RIE. Машина RIE. Подробности анализа отказов.

Физическое напыление, травление Травка органических материалов

Применяется для травления трудно протравливаемых материалов, таких как некоторые металлы (например, Ni/Cr) и керамика, а также
узорчатое прокалывание.
Используется для травления и удаления органических соединений, таких как фоторезист (PR)/ПММА/HDMS/полимер.
Система реактивного ионного травления Машина RIE RIE Завод по анализу отказов
Отображение результатов анализа отказов
Система реактивного ионного травления RIE. Машина RIE. Производство анализа отказов.
Информация о продукте 
Система реактивного ионного травления RIE. Машина RIE. Подробности анализа отказов.
Система реактивного ионного травления RIE. Машина RIE. Производство анализа отказов.
Система реактивного ионного травления Машина RIE Поставщик анализа отказов RIE
Система реактивного ионного травления Машина RIE RIE Завод по анализу отказов
Система реактивного ионного травления RIE. Машина RIE. Производство анализа отказов.
Система реактивного ионного травления Машина RIE RIE Завод по анализу отказов
Упаковка и доставка 
Система реактивного ионного травления Машина RIE RIE Завод по анализу отказов
Система реактивного ионного травления RIE. Машина RIE. Подробности анализа отказов.
паяльная машина
О компании

Высокотехнологичная машина реактивного ионного травления (RIE) Minder-High-tech представляет собой современную технологию, которая может травить и анализировать различные типы материалов с невероятной точностью. Эта машина предназначена для использования в различных отраслях промышленности, где регулярно требуется микрообработка или травление. Он изготовлен из высококачественных материалов, которые делают его прочным, надежным и способным давать отличные результаты. 

 

Оснащен эффективным RF-генератором плазмы. В системе RIE используется индуктивная связь для получения плазмы из подаваемого бензина. Этот метод создает плазму высокой плотности, которая увеличивает скорость травления продукта. Процесс травления на машине RIE эффективен, точен и легко контролируем, что позволяет добиться определенной глубины. Эта функция уникальна и является отличным выбором для исследовательских или промышленных работ. 

 

Машина имеет широкий спектр применения, включая микроэлектронику, изготовление MEMS и производство полупроводников. Эта машина играет важную роль в травлении и микрообработке полупроводниковых материалов, таких как кремний, арсенид галлия и германий, в полупроводниковой промышленности. Устройство Minder-High-tech RIE также было внедрено в отрасли МЭМС для изготовления мягких и твердых материалов, таких как полиимид, диоксид кремния и нитрид кремния. Кроме того, он доступен для анализа отказов в отраслях, связанных с электронными услугами и продуктами. 

 

Включает в себя различные функции, которые упрощают использование. Это удобное для пользователя программное обеспечение обеспечивает оператору полный контроль над параметрами травления, используемыми в устройстве. Настройки машины сохраняются во внутренней памяти, в которой можно хранить более 100 наборов настроек. Сенсорный экран позволяет оператору устанавливать такие параметры, как движение газа, мощность и давление. Машина Minder-High-tech RIE также имеет функцию контроля температуры, которая обеспечивает травление материалов при правильной температуре и предотвращает их повреждение. 

 

Идеально подходит для компаний, которым требуется надежная и эффективная машина, способная обеспечить точные и точные результаты. Это устройство было разработано с использованием первоклассных технологий и высокого уровня. Его универсальность и удобные для пользователя функции делают его очень хорошим выбором для исследований и промышленного применения в различных секторах. 

 

Он также оснащен эффективной системой анализа неисправностей, которая позволяет машине обнаруживать и устранять любые механические проблемы как можно скорее. Эта система гарантирует, что машина RIE сохраняет высокое качество и надежность на протяжении всего своего жизненного цикла. Для любой отрасли, где требуется точное и эффективное травление или микрообработка, машина Minder-High-tech RIE является идеальным решением.


Написать

Написать Эл. адрес WhatsApp WeChat
Рейтинг
×

Контакты