Товар |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Размер продукта |
≤6 дюймов |
≤8 дюймов |
≤8 дюймов |
||
Источник РЧ мощности |
0-300Вт/500Вт/1000Вт Настройка, автоматическое согласование |
||||
Молекулярный насос |
-\/620(Л\/с)\/1300(Л\/с)\/На заказ |
Антисептик620(Л\/с)\/1300(Л\/с)\/На заказ |
|||
Вакуумный насос |
Механический насос\/сухой насос |
Сухой насос |
|||
Процессное давление |
Неконтролируемое давление\/0-1Torr контролируемое давление |
||||
Тип газа |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/На заказ (До 9 каналов, без коррозионных и токсичных газов) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(До 9 каналов) |
|||
газовая диапазона |
0~5ccm\/50ccm\/100ccm\/200ccm\/300ccm\/500ccm\/на заказ |
||||
LoadLock |
Да\/Нет |
Да |
|||
Управление температурой образца |
10°C~Температура помещения/-30°C~100°C/По запросу |
-30°C~100°C/По запросу |
|||
Обратное охлаждение гелием |
Да\/Нет |
Да |
|||
Облицовка процессуальной камеры |
Да\/Нет |
Да |
|||
Контроль температуры стенок камеры |
Нет/Температура помещения~60/120°C |
Температура помещения-60/120°C |
|||
Система управления |
Автоматический/По запросу |
||||
Этching материал |
На основе кремния: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Магнитные материалы/сплавы Металлический материал: Ni/Cr/Al/Au. Органический материал: PR/PMMA/HDMS/Органическая пленка. |
На основе кремния: Si/SiO2/SiNx. III-V (прим.3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (прим.3): CdTe. Магнитные материалы/сплавы Металлический материал: Ni/Cr/A1/Au. Органический материал: PR/PMMA/HDMS /органическая пленка. |
Подходит для микроволновых устройств, силовых устройств и т.д.
Установка Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) представляет собой передовое технологическое оборудование, способное выполнять травление и анализ различных типов материалов с невероятной точностью. Эта установка предназначена для использования в различных отраслях промышленности, где регулярно требуется микроизготовление или травление. Она изготовлена из высококачественных материалов, что делает ее прочной, надежной и способной давать отличные результаты.
Оборудованная генератором РЧ плазмы эффективна. Система RIE использует индуктивную связь для создания плазмы из подаваемого топлива. Данная техника создает высокодensную плазму, которая увеличивает скорость травления продукта. Процесс травления на машине RIE эффективен, точен и высокоуправляем, что позволяет достичь определенной глубины. Эта особенность делает ее отличным выбором для исследовательской или промышленной работы.
Машина имеет широкий спектр применения, включая микроэлектронику, производство МЭМС и полупроводников. Данная машина играет важную роль в травлении и микромеханической обработке полупроводниковых материалов, таких как кремний, мышьяк галлия и германий, в полупроводниковой промышленности. Устройство RIE Minder-High-tech также было внедрено в отрасли МЭМС для производства мягких и твердых материалов, таких как полиимид, диоксид кремния и нитрид кремния. Кроме того, оно доступно для анализа неисправностей в отраслях, связанных с электронными товарами和服务.
Включает функции, которые разнообразны и делают его использование простым. Это программное обеспечение дружелюбно к пользователю и предоставляет оператору полный контроль над параметрами травления, используемыми в устройстве. Настройки машины сохраняются в его внутренней памяти, где может храниться более 100 наборов настроек. У него есть сенсорный экран, который позволяет оператору устанавливать параметры, такие как подача газа, мощность плотности и давление. Машина Minder-High-tech RIE также имеет функцию контроля температуры, которая обеспечивает травление материалов при правильной температуре и предотвращает их повреждение.
Идеально подходит для компаний, которым требуется надежная и эффективная машина, способная предоставлять точные и точные результаты. Это устройство было разработано с использованием передовых технологий и находится на высоком уровне. Ее универсальность и дружелюбные к пользователю функции делают ее отличным выбором для исследовательских и промышленных приложений в различных отраслях.
Также имеется эффективная система анализа неисправностей, которая позволяет машине обнаруживать и исправлять любые механические проблемы как можно скорее. Эта система гарантирует, что машина RIE сохраняет высокое качество и надежность на протяжении всего цикла своей жизни. Для любой отрасли, где требуется точная и эффективная гравировка или микрофабрикация, машина RIE Minder-High-tech является идеальным решением.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved