Быстрая термическая обработка
Оборудование RTP для сложных полупроводников, SlC, LED и MEMS
* Рост оксида, нитрида
* Быстрое сплавление омического контакта
* Отжиг сплава силенида
* Оксидация рефлюкс
* Процесс на основе арсенида галлия
* Другие процессы быстрого термического воздействия
Полностью автоматическая двухкамерная RTP
* Совместима с 6-8 дюймовым СИСТАНОМ
* Максимальная температура может достигать 1250°c
* Устойчивое воспроизведение температуры
* Полностью автоматический двухкамерный дизайн для увеличения производственной мощности
* Единообразие сверхвысокого температурного поля
* Отвечает требованиям массового производства процесса SiC
Полуавтоматическая RTP
* Нагрев с помощью инфракрасной ксеноновой лампы, охлаждение воздухом;
* Управление температурой PlD для мощности лампы, которое может точно контролировать повышение температуры, обеспечивая хорошую воспроизводимость и равномерность температуры;
* Подача материала осуществляется на поверхность WAFER, чтобы избежать образования холодных точек во время отжига и обеспечить хорошую равномерность температуры продукта;
* Можно выбрать как методы обработки в атмосфере, так и в вакууме, с предварительной очисткой и подготовкой тела;
* Два набора процессных газов являются стандартными и могут быть расширены до шести наборов процессных газов;
* Максимальный размер измеряемого образца одно kristallиного кремния составляет 12 дюймов (300x300 мм);
* Три меры безопасности — защита от открытия при безопасной температуре, разрешение на открытие контроллера температуры и аварийная остановка оборудования для обеспечения безопасности прибора — полностью реализованы;
Настольный RTP
* Нагрев с помощью инфракрасной ксеноновой лампы, охлаждение воздухом;
* Управление температурой PlD для мощности лампы, которое может точно контролировать повышение температуры, обеспечивая хорошую воспроизводимость и равномерность температуры;
* Подача материала осуществляется на поверхность WAFER, чтобы избежать образования холодных точек во время отжига и обеспечить хорошую равномерность температуры продукта;
* Можно выбрать как методы обработки в атмосфере, так и в вакууме, с предварительной очисткой и подготовкой тела;
* Два набора процессных газов являются стандартными и могут быть расширены до шести наборов процессных газов;
* Максимальный размер измеряемого образца одно kristallиного кремния составляет 12 дюймов (300x300 мм);
* Три меры безопасности — защита от открытия при безопасной температуре, разрешение на открытие контроллера температуры и аварийная остановка оборудования для обеспечения безопасности прибора — полностью реализованы;
У нас есть 16-летний опыт продаж оборудования, и мы можем предложить вам комплексное решение для линии упаковки ИЧ!
Ищете надежное оборудование RTP для ваших процедур производства соединительных полупроводников SlC LED MEMS? Не ищите дальше, чем Minder-Hightech.
Похвастается исключительными возможностями для быстрой обработки с тепловым созданием, что делает его идеальным для создания первоклассных элементов полупроводников, устройств SlC MEMS и светодиодов. Вместе с технологией Minder-Hightech у вас есть возможность достичь точного уровня температуры, постоянного нагрева и низкой плотности дефектов в ваших продуктах или услугах.
Включает пользовательский интерфейс, который прост в использовании, что делает его доступным для водителей всех уровней квалификации для использования и навигации. Его продвинутые автоматизированные возможности позволяют вам оптимизировать свои производственные процессы, снижая необходимость ручной защиты и работы, экономя ваши деньги и время.
Важность понимается через нашу команду, обеспечивающую надежность оборудования. Именно поэтому наши устройства RTP разрабатываются с учетом высочайших стандартов качества и предназначены для выдерживания интенсивного использования без потери эффективности или функциональности. Наша команда также предоставляет регулярную поддержку и услуги обслуживания, чтобы гарантировать долговечность вашего оборудования.
Независимо от того, связаны ли вы с производством соединительных полупроводников, выпуском светодиодов или разработкой систем MEMS, оборудование RTP компании Minder-Hightech предлагает беспрецедентную эффективность и точность. Так почему же терять время? Обновите свой производственный процесс до нового уровня, приобретя оборудование RTP от Minder-Hightech уже сегодня.
Если вам требуется высококачественное оборудование RTP для повышения эффективности и результативности вашего технологического процесса производства соединительных полупроводников SlC LED MEMS, доверьтесь Minder-Hightech. Наше передовое инновационное решение, надежное оборудование и превосходная поддержка клиентов делают нас ведущим выбором для компаний по всему миру.
Не откладывайте на потом повышение уровня вашего производственного процесса.
Приобретите оборудование RTP у Minder-Hightech уже сегодня.