Оборудование для полупроводниковой промышленности MDLB-MC200 Очиститель фотошаблонов Россия

Нет.

Проект

Характеристики

Замечания

1

Обзор оборудования

Название устройства: Очиститель фотошаблонов

Модель оборудования: MDLB-MC200

Габаритные размеры (приблизительно): 1300 мм (Ш) * 1000 мм (Г) * 1950 мм (В)

Вес всей машины (приблизительно): 300 кг

Высота операционного стола: 900 ± 50 мм

Характеристики размера подложки: подходит для квадратных масок размером 2/4/5/6/8 дюймов

Последовательность процесса: ручная установка пластины → очистка (щетка, чистящий раствор → вода под высоким давлением → мегазвуковая вода → деионизированная вода → сушка газообразным азотом) → ручное извлечение пластины

Тип оборудования: полуавтоматическое, ручная загрузка и выгрузка

2

Строительство оборудования

Корпус: нержавеющая сталь, гладкий, устойчивый к коррозии, легко чистится

Камера очистки: ПП, гладкая, устойчивая к коррозии, легко чистится

Трубопровод: используется соответствующий трубопровод PU/PFA

Рабочее освещение: антикоррозионное желтое освещение

Тип открывания двери: Двойная дверь с функцией сигнализации открывания двери

Сенсорный экран: 10-дюймовый полноцветный сенсорный экран * 1

ФФУ: Класс 100

Герметичная нижняя опора: имеется

3

Высокоточный серводвигатель

Количество: 1

Скорость: -3000~3000 об/мин

Пустой груз

Максимальное ускорение вращения шпинделя: 3000 об/мин/с

Пустой груз

Точность скорости: ± 1 об/мин (50 об/мин~3000 об/мин)

Разрешение скорости: 1 об / мин

4

Автоматический поворотный рычаг

Количество: 3

Скорость поворотного рычага: 1~30 °/с

5

Блок очистки

Очищающий поворотный рычаг: 1 канал деионизированной воды, 1 канал азота

Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 Вода высокого давления

Щеточный рычаг: 1 щетка, 1 вода, 1 чистящий раствор

Метод очистки: автоматическая очистка

Функция всасывания деионизированной воды: доступна

Обратная промывка (деионизированная вода): 1 маршрут

Метод подачи: Чистящий раствор: Мембранный насос

Деионизированная вода: поставляется напрямую с завода

Напорный бак с датчиком уровня жидкости

6

Кисть кисть

Количество: 1 (с функцией самоочистки)

Скорость: до 1000 об/мин, регулируемая скорость

Высота регулируется вручную

7

Загрузочный лоток

Количество: 5

Материал: PPS+нержавеющая сталь

Размер: подходит для квадратных масок размером 2/4/5/6/8 дюймов

Метод крепления к основанию: Метод крепления когтями

8

Система контроля

Система управления: с использованием ПЛК

Программа: 100 групп, каждая группа состоит из 100 шагов, максимальное время одного шага 3000.0 секунд.

Разрешение: 0.1с

Программу можно сохранять, вызывать, изменять и удалять.

Установите разрешения на шифрование: для операторов устройств, технических специалистов, администраторов и производителей соответственно.

Тип сигнальной башни: красный, желтый, зеленый 3 цвета.