Оборудование для полупроводниковой промышленности MDLB-MC200 Чистильщик фотомасок

Нет.

Проект

Характеристики

Примечания

1

Обзор оборудования

Наименование устройства: Чистильщик фотомасок

Модель оборудования: MDLB-MC200

Общие размеры (примерно): 1300мм (Ш) * 1000мм (Г) * 1950мм (В)

Вес всего аппарата (примерно): 300КГ

Высота рабочей поверхности: 900 ± 50мм

Размеры субстрата: подходят для квадратных масок размером 2/4/5/6/8 дюймов

Технологический процесс: ручная установка пластины → очистка (щетка, моющий раствор → высокое давление вода → мегасоник вода → деионизированная вода → сушка азотом) → ручное удаление пластины

Тип оборудования: полуавтоматический, ручная загрузка и выгрузка

2

Конструкция оборудования

Корпус: нержавеющая сталь, гладкая, устойчивая к коррозии, легко очищается

Камера очистки: ПП, гладкая, устойчивая к коррозии, легко очищается

Трубы: используется трубопровод из ПУ/ПФА

Освещение рабочей зоны: противокоррозийное желтое световое освещение

Способ открытия двери: двойная дверь с функцией сигнализации при открытии двери

Сенсорный экран: 10-дюймовый цветной сенсорный экран * 1

FFU: класс 100

Противотечная подставка: доступна

3

Сервопривод с высокой точностью

Количество: 1

Скорость: -3000~3000 об/мин

Холостая нагрузка

Максимальное ускорение вращения шпинделя: 3000 об/мин

Холостая нагрузка

Точность скорости: ± 1 об/мин (50 об/мин~3000 об/мин)

Шаг скорости: 1 об/мин

4

Автоматический маятниковый рычаг

Количество: 3

Скорость маятникового рычага: 1~30 °/с

5

Очистительный блок

Очистка маятникового рычага: 1 канал деионизированной воды, 1 канал азота

Мегазвуковой рычаг: 1 мегазвуковой, 1 высокое давление воды

Щеточный модуль: 1 щетка, 1 вода, 1 моющее средство

Метод очистки: автоматическая очистка

Функция всасывания дистиллированной воды: доступна

Промывка (дистиллированная вода): 1 маршрут

Метод подачи: Моющее средство: Диафрагменный насос

Дистиллированная вода: поступает напрямую от завода

Напорный бак с детектором уровня жидкости

6

Щеточная очистка

Количество: 1 (с функцией самоочистки)

Скорость: до 1000 об/мин, регулируемая скорость

Высота регулируется вручную

7

Поднос для загрузки

Количество: 5

Материал: ППС+нержавеющая сталь

Размер: Подходит для квадратных масочных пластин размером 2/4/5/6/8 дюймов

Способ фиксации субстрата: Кlaw-метод фиксации

8

Система управления

Система управления: Используется управление на базе ПЛК

Программа: 100 групп, каждая группа состоит из 100 шагов, максимальное время одного шага составляет 3000.0 секунд

Точность: 0.1С

Программа может быть сохранена, вызвана, изменена и удалена

Установите права шифрования: для операторов устройства, техников, администраторов и производителей соответственно

Тип сигнальной башни: красный, желтый, зеленый 3 цвета