Проект |
Контент |
Категория |
6",8",12" пластина, упаковка 2.5D/3D |
2D осмотр пункты |
Посторонние предметы, остатки клея, частицы, царапины, трещины, загрязнения, отклонение КП, чрезмерные следы от иглы и т. д. |
2D метрология |
Диаметр выступа, координаты следа иглы, метрология RDL и TSV и т. д. |
Проект 3D-инспекции |
Высота неровности, копланальность неровности |
Кассета и метод передачи |
8"SMIF, 12" FOUP или комбинация |
Объектив и разрешение |
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um) |
Точность |
0.55 мкм/пиксель |
Дополнительно и по индивидуальному заказу |
Двусторонний OCR, 3D-модуль, поддерживается E84 |
Авторские права © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены.