Проект
|
Контент
|
Категория
|
6",8",12" пластина, упаковка 2.5D/3D
|
2D осмотр
пункты |
Посторонние предметы, остатки клея, частицы, царапины, трещины, загрязнения, отклонение КП, чрезмерные следы от иглы и т. д.
|
2D метрология
|
Диаметр выступа, координаты следа иглы, метрология RDL и TSV и т. д.
|
Проект 3D-инспекции
|
Высота неровности, копланальность неровности
|
Кассета и метод передачи
|
8"SMIF, 12" FOUP или комбинация
|
Объектив и разрешение
|
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
|
Точность
|
0.55 мкм/пиксель
|
Дополнительно и по индивидуальному заказу
|
Двусторонний OCR, 3D-модуль, поддерживается E84
|
Авторские права © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены.