Оборудование для производства пластин полупроводниковых подложек, полностью автоматическая машина для очистки пластин с одним кристаллом, скруббер для пластин, Китай Оборудование для производства пластин полупроводниковых подложек, полностью автоматическая машина для очистки пластин с одним кристаллом, скруббер для пластин Производители, поставщики, фабрика

Описание товара:

Полностью автоматическая машина для очистки однокристальных пластин Скруббер для вафель

Возможности машины

Однополостной, двухполостной и четырехполостной
Широкие возможности процесса, способные поддерживать такие приложения, как Wafer Start и очистка процесса
Хорошая согласованность оборудования и технологии чипов

Области применения

Удаление поверхностных частиц с 4-8-дюймовых пластин на основе кремния и соединений

Технические характеристики

4-дюймовая, 6-дюймовая, 8-дюймовая полость для щетки
Скорость вращения до 4000 об/мин
Двойная щеточная камера, доступна с методами очистки Brush, AS, JET, Megasonics
Может поддерживать функцию очистки жидкости

продукт полупроводниковая подложка пластина оборудование для производства полностью автоматическая однокристальная машина для очистки пластин скруббер для пластин-51

Блок LoadPort, загрузочный блок

LoadPort — загрузочная единица этого устройства

Возможность картирования пластин
Оснащен функцией обнаружения пластинчатых пластин

Блок робота-переносчика

Робот с двумя лезвиями, опционально с вакуумными или лотковыми лезвиями.

Блок выравнивания и переворота

Может выравнивать и находить плоские края
Пластину можно перевернуть, чтобы очистить кристалл.

Щеточный блок

Количество щеток * 2
Вафельная ручка: зажимной патрон или присоска
Режимы очистки Brush, AS, JET, Megasonics, поддержка фармацевтической очистки

1. Поддерживает одновременный ввод и вывод пластины, а также режимы ввода A и вывода B.
2. Может поддерживать чистку передней части камеры A и задней части камеры B.
3. Может поддерживать параллельную очистку в двух камерах.

Описание щеточного блока

Как показано на рисунке
Пластина закреплена на верхней части спиннера

Arm1&Arm2 можно использовать в сочетании с различными методами чистки. описанный ранее способ очистки пластин.

После очистки центрифуга вращается на высокой скорости, чтобы отжать и высушить пластину.

Блок выравнивания и переворота

Пластину можно использовать в жилых и выравнивающих целях.

Вафлю можно переворачивать

Размер оборудования: 160x150x220 (мм)
Методы погрузки и разгрузки: одинаковый вход и выход, А-вход и В-выход
Количество щеток: 2
Режимы чистки: щетка, AS, JET, методы очистки Megasonics, поддержка фармацевтической очистки

Упаковка и доставка

О компании

FAQ

1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и договорные. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности настройки вашего устройства.

2. О образце:
Мы можем предоставить вам услуги по изготовлению образцов, но с вас может взиматься определенная плата.

3. Об оплате：
После того, как план будет утвержден, вам необходимо сначала заплатить нам депозит, и фабрика начнет подготовку товара. После
Оборудование готово, вы оплачиваете остаток, мы его отправляем.

4. О доставке:
После завершения изготовления оборудования мы вышлем Вам видеоприемки, также Вы можете приехать на объект для осмотра оборудования.

5. Установка и отладка:
После того, как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем отправить инженеров для установки и отладки оборудования. Мы предоставим вам отдельную смету на эту услугу.

6. О гарантии:
Наше оборудование имеет 12-месячную гарантию. По истечении гарантийного срока, если какие-либо детали будут повреждены и потребуют замены, мы взимаем только себестоимость.