Вакуумный микроволновый плазменный очиститель Машина для плазменной обработки поверхности Решение для упаковки полупроводников IC TO package , China Вакуумный микроволновый плазменный очиститель Машина для плазменной обработки поверхности Решение для упаковки полупроводников IC TO package Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание продуктов

Упаковочные решения для полупроводников Микроволновый плазменный очиститель

SPV-100MWR является системой низковольтной микроволновой плазменной очистки для полупроводников. Применяя микроволны с частотой 2,45 ГГц к окну на стенке вакуумной камеры, создается большое количество непрерывной плазмы, и чип очищается при входе в камеру.

Vacuum microwave plasma cleaning machine Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO package supplier

Технические параметры

Вакуумный плазменный блок
Размер оборудования	1230X1800X1100мм (ширина x высота x глубина)
Вес	450Кг
Спрос на электроэнергию	AC380V, 50/60Hz, 5-провод, 30A
Характеристики плазменного генератора
Источник питания микроволн	Мощность	0~1250Вт
		Частота	2.45ГГц
Вакуумная система
Материал	Алюминиевый сплав (настраиваемая камера из нержавеющей стали)
Толщина	25 мм
Внутренние размеры полости	480ммX470ммX480мм
Рабочие пространства	6 секций журнала
ECR	Журнал с прорезями обеспечивает улучшенный эффект обработки ECR
Способность к плазме
Обрабатывающая способность	шаг 35 мкм выступ 40 мкм максимальный размер кристалла 15x15 мм