Технический параметр |
Режим измерения |
ПСИ/ВСИ/сверхглубина резкости/яркое поле |
Единичное поле измерения (объектив 20×) |
500*350μm (автоматическая склейка) |
|
Настройка угла |
±12° вручную |
|
Настройка по оси Z |
20мм электрическая + 50мм вручную (механизм грубой и точной настройки) |
|
Диапазон продольного сканирования |
0-10 мм |
|
Продольное разрешение |
<0.2нм |
|
Повторяемость измерения продольной шероховатости |
0.01нм (режим PSI) |
|
погрешность индикации высоты ступеньки измерение |
<0.75% (режим VSI) |
|
Поперечное разрешение: @550нм |
0.69мкм (объектив 20×) |
|
Измеряемая отражательная способность образца |
0.1%-100% |
|
Время измерения |
<5с (режим PSI) |
|
Функция анализа |
Функция анализа |
измерение высоты в 3D, анализ шероховатости в 3D, измерение размеров в 2D |
выходные данные в 3D |
данные облака точек в 3D, данные изображения в градациях серого, настраиваемый отчет |
Увеличение объектива |
2.5x |
5x |
10X |
20x |
50x |
100x |
Численная диафрагма |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Оптическое разрешение при 550нм (мкм) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Глубина резкости (мкм) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Рабочее расстояние (мм) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved