Точильно-полировальный станок MDAM-CMP100/150, основной агрегат и все запасные части изготовлены из высокоустойчивых к коррозии материалов. Вся машина устойчива к коррозии, стабильна, износостойка и защищена от ржавчины, подходит для химико-механического шлифования и полирования различных полупроводниковых материалов. Рабочая зона отделена от области дисплея и управления и цифровым образом контролируется с помощью системы управления с сенсорным экраном. Управление осуществляется по программе ЧПУ, имеет функции сохранения и восстановления.
Система устройства имеет функцию таймера, которая может работать непрерывно в течение 10 часов и контролировать скорость полировального диска. Панель управления размещена вне рабочей области, чтобы предотвратить попадание абразивного раствора на панель управления. Все параметры основного блока можно регулировать на сенсорном экране. Процессные параметры основного блока имеют функции хранения и воспроизведения для обеспечения последовательности и повторяемости процесса. Образец пластинки фиксируется на нижней поверхности приспособления путем создания вакуума, оснащен безмасляным вакуумным насосом и имеет независимую функцию защиты от обратного всасывания.
Пример конфигурации фиксатора с горизонтальной системой вращения имеет функцию качания, с диапазоном качания от 0 до 100% настраиваемого значения. Амплитуда и частота качания могут быть точно установлены через панель управления. Фиксатор оснащен независимой системой привода для вращения, со скоростью вращения в диапазоне от 0 до 120 об/мин. Такая функциональная конструкция обеспечивает полное качающееся полирование образца во время процесса шлифовки и полирования, значительно повышая производительность и эффективность оборудования.
Фиксатор оснащен цифровым измерительным столом толщины с точностью измерения 1 мкм. Давление фиксатора на образец пластины непрерывно регулируется, с диапазоном давления от 0 до 3,5 кг и точностью 2 г/см², а также оборудован устройством измерения давления.
Процесс работы шлифовального и полировального диска контролируется главным приводом, а скорость вращения диска может регулироваться от 0 до 120 оборотов в минуту. Этот диапазон изменения скорости эффективно обеспечивает шлифовку и полировку образцов из материалов различной твердости и размера, что позволяет достичь более высоких показателей процесса. Замена шлифовальных и полировальных дисков проста и быстра, с встроенными дисками, которые позволяют оборудованию быстро переходить от процесса шлифовки к процессу полировки, значительно сокращая время обработки. Кроме того, шлифовальный диск оснащен блоком для ремонта диска, чтобы обеспечить хорошую плоскостность шлифовального диска.