Sistem reaktivnega ionskega jedkanja
Profesionalno zagotavljanje prilagojenih rešitev za stranke
Dvokomorna prilagoditev RIE (Cl₂).
Februarja 2024 smo od stranke prejeli povpraševanje za 100-milimetrski klorov postopek rezin.
To je za nas zanimiva aplikacija, ker zahtevani procesni plin vsebuje strupena plina Cl2 in BCl3. Izboljšati moramo vse konfiguracije stroja, da se izognemo varnostnim težavam, in posebej zasnovano dvokomorno strukturo procesne komore in komore za prenos, da popolnoma zaščitimo upravljavca ob izpolnjevanju zahtev procesa.
Po približno 5 mesecih načrtovanja in proizvodnje smo izvedli več vzorčnih testov in proizvodnih simulacij v notranjem laboratoriju podjetja ter hitro dostavili opremo, potem ko je prestala sprejem s strani stranke.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NE
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
