Kakšen je namen sistema hitre toplotne obdelave（RTP） v procesu izdelave rezin? Slovenija

RTP uporablja halogenske infrardeče žarnice kot vir toplote za hitro segrevanje materiala na želeno temperaturo, s čimer izboljša kristalno strukturo in optoelektronske lastnosti materiala.

Njegove lastnosti vključujejo visoko učinkovitost, varčevanje z energijo, visoko stopnjo avtomatizacije in enakomerno ogrevanje.

Poleg tega ima RTP tudi visoko natančnost nadzora temperature in enakomernost temperature, kar lahko zadovolji potrebe različnih kompleksnih procesov.

Poleg tega RTP uporablja napreden mikroračunalniški krmilni sistem in PID tehnologijo zaprtega nadzora temperature, ima visoko natančnost nadzora temperature in enakomernost temperature ter lahko zadovolji potrebe različnih zapletenih procesov.

Z uporabo učinkovitih virov toplote, kot so halogenske infrardeče žarnice za hitro segrevanje rezin na vnaprej določeno temperaturo, je mogoče odpraviti nekatere napake v notranjosti rezine ter izboljšati njeno kristalno strukturo in optoelektronsko delovanje.

Ta visoko natančen nadzor temperature je zelo pomemben za kakovost rezine in lahko učinkovito izboljša delovanje in zanesljivost rezine.

V procesu izdelave rezin uporaba RTP vključuje, vendar ni omejena na naslednje vidike:

1. Optimizacija kristalne strukture:

Visoka temperatura pomaga preurediti kristalno strukturo, odpravi napake kristalne strukture, izboljša urejenost kristala in tako izboljša elektronsko prevodnost polprevodniških materialov.

2. Odstranjevanje nečistoč:

RTP lahko spodbuja difuzijo nečistoč iz polprevodniških kristalov, kar zmanjša koncentracijo nečistoč. To pomaga izboljšati elektronske lastnosti polprevodniških naprav in zmanjšati ravni energije ali sipanje elektronov, ki ga povzročajo nečistoče.

3. V tehnologiji CMOS se lahko RTP uporabi za odstranjevanje substratnih materialov, kot sta silicijev oksid ali silicijev nitrid, za oblikovanje ultratankih naprav SOI (izolator na siliciju).

RTP je ključna oprema v procesu izdelave polprevodnikov, za katero so značilni visoka natančnost, visoka učinkovitost in visoka prilagodljivost. Je velikega pomena za izboljšanje zmogljivosti rezin in spodbujanje razvoja industrije polprevodnikov.