วิธีการในการลบโฟโตรีซิสต์บนเวเฟอร์กึ่งตัวนำ

ทำไมเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ถึงต้องลบโฟโตรีซิสต์?

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ จะใช้โฟโตรีซิสต์จำนวนมากเพื่อโอนกราฟิกของแผงวงจรผ่านความไวและการพัฒนาของแมสก์และโฟโตรีซิสต์ไปยังโฟโตรีซิสต์บนเวเฟอร์ สร้างกราฟิกโฟโตรีซิสต์เฉพาะบนพื้นผิวของเวเฟอร์ จากนั้นภายใต้การป้องกันของโฟโตรีซิสต์ จะทำการแกะสลักหรือฝังไอออนบนฟิล์มหรือเวเฟอร์เบส และลบโฟโตรีซิสต์เดิมออกอย่างสมบูรณ์

การลบโฟโตรีซิสต์เป็นขั้นตอนสุดท้ายของการทำภาพด้วยเทคนิคโฟโตลิเธอกราฟี เมื่อเสร็จสิ้นกระบวนการเกี่ยวกับกราฟิก เช่น การแกะสลัก/การฝังไอออนแล้ว โฟโตรีซิสต์ที่เหลือบนพื้นผิวของเวเฟอร์จะได้ทำหน้าที่ในการโอนภาพและชั้นป้องกันครบถ้วน และทำการลบออกอย่างสมบูรณ์ผ่านกระบวนการลบโฟโตรีซิสต์

การลบโฟโตรีซิสต์เป็นขั้นตอนที่สำคัญมากในกระบวนการสร้างไมโครเฟเบอร์เรชัน ว่าโฟโตรีซิสต์ถูกลบออกอย่างสมบูรณ์หรือไม่ และมันก่อให้เกิดความเสียหายต่อเวเฟอร์หรือไม่ จะส่งผลกระทบโดยตรงต่อกระบวนการผลิตชิปวงจรรวมในลำดับถัดไป

กระบวนการในการลบโฟโตรีซิสต์ของเซมิคอนดักเตอร์คืออะไร?

นอกจากความแตกต่างของสื่อกลางโฟโตรีซิสต์แล้ว สามารถแบ่งออกได้เป็นสองประเภท: การลบออกโดยการออกซิเดชันและการลบออกโดยตัวทำละลาย

การเปรียบเทียบวิธีการลบกาวต่างๆ:

จากกราฟด้านบน สามารถเห็นได้ว่า การแยกแบบแห้งเหมาะสำหรับกระบวนการแยกส่วนใหญ่ มีการแยกที่สมบูรณ์และรวดเร็ว ซึ่งทำให้มันเป็นวิธีที่ดีที่สุดในกระบวนการแยกที่มีอยู่ในปัจจุบัน เทคโนโลยีการแยก PLASMA โดยคลื่นไมโครเวฟก็เป็นประเภทหนึ่งของการแยกแบบแห้ง

อุปกรณ์ลบกาวโฟโตรีซิสต์ของเราโดยใช้ไมโครเวฟ PLASMA มาพร้อมเทคโนโลยีเครื่องกำเนิดไมโครเวฟเซมิคอนดักเตอร์ภายในประเทศเป็นครั้งแรก รองรับแท่นหมุนแม่เหล็กเพื่อให้พลาสมาไมโครเวฟมีประสิทธิภาพและผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอ อุปกรณ์ซิลิกอนเวเฟอร์และโลหะอื่น ๆ ให้เทคโนโลยีพลังงานคู่ "ไมโครเวฟ+ไบแอส RF" เพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าที่แตกต่างกัน

ไมโครเวฟ PLASMA เครื่องลบโฟโตรีซิสต์

① พลาสมาของโมเลกุลฟรีราดิคอลไม่มีไบแอสและไม่ก่อให้เกิดความเสียหายทางไฟฟ้า;

② สามารถวางผลิตภัณฑ์บนพาเลท ช่องหรือแมกกาซีนแบบปิดได้ โดยมีประสิทธิภาพการประมวลผลสูง;

③ แมกกาซีนสามารถติดตั้งกรอบหมุนได้ และผ่านการออกแบบ ECR ที่เหมาะสมและการควบคุมกระแสแก๊สที่ดี สามารถบรรลุความสม่ำเสมอในระดับสูงได้;

④ ออกแบบระบบควบคุมแบบบูรณาการ ซอฟต์แวร์ควบคุมที่ได้รับสิทธิบัตร การใช้งานที่สะดวกยิ่งขึ้น;