การประยุกต์ใช้เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ประเทศไทย

การประยุกต์ใช้เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มีความกว้างขวางมาก สะท้อนให้เห็นเป็นหลักในประเด็นต่อไปนี้:

▘การทำความสะอาดการกระตุ้นพื้นผิว: สำหรับการทำความสะอาดการกระตุ้นพื้นผิวของเวเฟอร์ ชิป IC เวเฟอร์ซิลิกอนเซมิคอนดักเตอร์ ฯลฯ เทคโนโลยีการทำความสะอาดพลาสม่ามีฟังก์ชั่นในการกำจัดฟิล์มออกไซด์ สารอินทรีย์ มาส์ก ฯลฯ ออกจากพื้นผิวเวเฟอร์ การบำบัดที่บริสุทธิ์และการกระตุ้นพื้นผิว และหลีกเลี่ยงปรากฏการณ์การบัดกรีเสมือนจริง

▘กระบวนการหลังการบรรจุ: หลังจากการบรรจุชิปเสร็จสิ้น วัสดุบรรจุภัณฑ์จะได้รับการทำความสะอาดเพื่อกำจัดคราบเชื่อมและสิ่งปนเปื้อนที่เกิดขึ้นระหว่างกระบวนการบรรจุ ทำให้มั่นใจได้ถึงคุณภาพของผลิตภัณฑ์ เครื่องทำความสะอาดด้วยพลาสม่าสามารถบำบัดโดยปราศจากมลพิษในขณะที่หลีกเลี่ยงการใช้ตัวทำละลายที่เป็นอันตรายซึ่งอาจเป็นอันตรายต่อสุขภาพของมนุษย์

▘การกำจัดคราบโฟโตรีซิสต์: ใช้ในกระบวนการโฟโตลีโทกราฟีของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อกำหนดรูปแบบของอุปกรณ์ หลังจากเสร็จสิ้นการพิมพ์หินแล้ว เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าสามารถกำจัดคราบโฟโตรีซิสต์ได้อย่างรวดเร็วและทั่วถึงเพื่อให้แน่ใจถึงความแม่นยำของรูปแบบและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์

▘การบำบัดเบื้องต้นก่อนการเคลือบฟิล์ม: ในระหว่างกระบวนการเคลือบฟิล์ม พื้นผิวจะต้องสะอาดมากเพื่อให้แน่ใจว่าฟิล์มจะยึดเกาะและสม่ำเสมอ การทำความสะอาดด้วยพลาสม่าสามารถขจัดมลพิษและสารตกค้างก่อนการเคลือบได้อย่างมีประสิทธิภาพ จึงช่วยปรับปรุงคุณภาพของฟิล์มบางได้

▘การปรับเปลี่ยนพื้นผิว: การบำบัดด้วยพลาสม่าไม่เพียงแต่ใช้เพื่อการทำความสะอาดเท่านั้น แต่ยังปรับเปลี่ยนพื้นผิวได้อีกด้วย โดยการปรับองค์ประกอบของก๊าซและพารามิเตอร์การประมวลผล เทคโนโลยีพลาสม่าสามารถปรับปรุงคุณสมบัติการดูดซับน้ำหรือไม่ชอบน้ำของวัสดุ เพิ่มประสิทธิภาพและความเสถียรของอุปกรณ์

▘ ปรับปรุงการยึดเกาะ: เครื่องทำความสะอาดพลาสม่าสามารถใช้ทำความสะอาดวัสดุบรรจุภัณฑ์ เช่น พลาสติก เซรามิก ฯลฯ เพื่อเพิ่มการยึดเกาะและความน่าเชื่อถือของวัสดุบรรจุภัณฑ์ ปรับปรุงประสิทธิภาพการยึดเกาะระหว่างเกรนและกาวนำไฟฟ้าแผ่น ประสิทธิภาพการแทรกซึมของยาประสาน เพิ่มแรงตึงในการยึดติดของตะกั่ว และปรับปรุงความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ที่บรรจุ