MDLB-MC200 Photomask cleaner

Hindi

Proyekto

Mga Spesipikasyon

Mga Puna

1

Panimula ng Equipamento

Pangalan ng Dispositibo: Photomask Cleaner

Modelo ng Ekipamento: MDLB-MC200

Mga sukat nang buo (hal.): 1300mm (H) * 1000mm (L) * 1950mm (T)

Kabuoang timbang (hal.): 300KG

Taas ng operating table: 900 ± 50mm

Mga spesipiko ng laki ng substrate: kumakatawan para sa 2/4/5/6/8 pulgada na parisukat na maskeng plato

Proseso ng pamumuhunan: manual na paglalagay ng wafer → pagsisilay (brush, cleaning solution → mataas na presyon na tubig → megasonik na tubig → deionized water → nitrogen gas drying) → manual na pagkuha ng wafer

Uri ng kagamitan: semi-automatiko, manual na pagsisiyasat at pagbaba

2

Konsentrasyon ng kagamitan

Kabayo: rustigong bakal, maliwanag, resistente sa korosyon, madaling linisuhin

Kwarto para sa pagsusulit: PP, maliwanag, resistente sa korosyon, madaling linisuhin

Dagat-dagatan: ginagamit ang dagat-dagatan ng PU/PFA

Ilaw para sa trabaho: anti-korosyon na dilaw na ilaw

Estilo ng pagbubukas ng pinto: Duplo pinto na may alarmang pagbubukas ng pinto

Touch screen: 10 pulgada na buong kulay na touch screen * 1

FFU: Klase 100

Leak proof bottom support: magagamit

3

Mataas na katumpakan na motor ng servo

Damit: 1

Bilis: -3000~3000rpm

Walang load

Pinakamataas na pagdami ng bilis ng pag-ikot ng spindle: 3000rpm/S

Walang load

Katiyakan ng bilis: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)

Resolusyon ng bilis: 1rpm

4

Automatikong swing arm

Bilang: 3

Bilis ng swing arm: 1~30 °/S

5

Unit ng pagsisiyasat

Swing arm para sa pagsisiyasat: 1 channel ng deionized water, 1 channel ng nitrogen gas

Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 Mataas na Presyon na Tubig

Sibat ng Brush: 1 sibat, 1 tubig, 1 solusyon para sa pagsisilpa

Paraan ng Pagsisilpa: awtomatikong pagsisilpa

Kaarawan ng Deionized Water: magagamit

Backwash (deionized water): 1 ruta

Paraan ng Pagbibigay: Solusyon para sa Pagsisilpa: Diaphragm pump

Deionized water: binibigay nang direkta ng pabrika

Presyo ng tangke na may deteksyon ng antas ng likido

6

Sibat ng brush

Bilang: 1 (may kasamang funksyon ng pagsisilpa)

Bilis: hanggang 1000rpm, ayusin ang bilis

Taas manual na ayusin

7

Load tray

Damihana: 5

Material: PPS+stainless steel

Laki: Kaya ng 2/4/5/6/8 pulgada square mask plates

Paraan ng pagtitiyak ng substrate: Claw fixing method

8

Control System

Sistemang pamamahala: gamit ang PLC control

Program: 100 grupo, bawat grupo ay binubuo ng 100 hakbang, may pinakamalaking oras ng isang hakbang na 3000.0 segundo

Resolusyon: 0.1S

Ang programa ay maaaring itago, tawagin, baguhin, at burahin

Itakda ang mga pahintulot sa encrypt: para sa operador ng kagamitan, tegniko, tagapamahala, at mga gumawa ng produktong ito sa kanilang respetibong anyo

Tipo ng signal tower: red, yellow, green 3 kulay