Laki ng Wafer
|
4”~ 8” wafer
|
Laksang wafer
|
100~750 mikron
|
Uri ng wafer
|
Si, SiC, GaN, o iba pang mga materyales
|
Uri ng pelikula
|
Asul na pelikula, UV na pelikula
Lapad: 230 ~ 300 mm Haba: 100 m Labis: 0.05 ~ 0.2 mm |
Wafer carrier ring
|
6”, 8” DISCO
|
Pamamaraan ng pagloload at unload
|
Manual na paglilipat at pag-aalis ng wafer/carrier ring
|
Katumpakan ng posisyon ng pelikula
|
±0.5mm
Pangkaraniwang plato ng wafer na 6” at 8” para sa mga wafer na 6” at 8” |
Mga vacuum pump
|
Minder-Hightech
|
Kontrol ng antistatiko
|
Bantayog ng deyonisasyon
|
Unit ng kontrol
|
Batay sa kontrol ng PLC, may touch screen na 10”
|
Paggamot ng kaligtasan
|
Kinakatawan ng proteksyon ng light curtain at pindutan ng emergency stop
|
Power supply VOLTAGE
|
Isang-fase na AC 220V, 16A
|
Pinindot na Hangin
|
0.45~0.6MPa, bilis ng pamumulaklak 70L/min
|
Kasangga ng makina
|
Metalyikong kasangga na plastik-sprayed na puti
|
Volume
|
850mm (lapad)*1750mm (lalim)*1970mm (taas)
|
Net Weight
|
480kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved