Aligner / Alignment Machine para sa Photolithography , China Aligner / Alignment Machine para sa Photolithography Manufacturers, Suppliers, Factory

Paglalarawan ng Produkto

Mask Aligner Lithography Machine

Mask Aligner ay pangunahing ginagamit sa pag-unlad at produksyon ng mga maliit at katamtaman ang kalakhan na itinatag na circuit, semiconductor components, optoelectronic devices, surface acoustic wave devices, thin film circuits at power electronic devices
Mask Aligner Tinatawag ding: mask alignment exposure machine, exposure system, lithography system, atbp., ay ang pangunahing kagamitan para sa paggawa ng chips. Gumagamit ito ng teknolohiya na katulad ng photo printing upang iprint ang maliit na disenyo sa mask hanggang sa silicon wafer gamit ang ilaw na eksposure
Palaging binubuo ng: mataas na katitikan na align workbench, binocular separated field of view vertical microscope, binocular separated field of view horizontal microscope, digital camera, computer imaging memory system, multi-point light source (fly eye) exposure head, PLC control System, pneumatic system, vacuum system, direct-connected vacuum pump, secondary anti-vibration workbench at accessory box

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Katangian

1. Mataas na uniformity fly-eye exposure head / air flotation leveling mechanism / tiyak na vacuum clamping exposure. mataas na resolusyon.
2. Pagsasanay gamit ang mask upang manatili sa patakaran at substrate feeding, na nagpapakita ng konsistensya ng patnubay at ang lakas.
3. Gamit ang gapless straight guide, mataas na katitikan, mabilis na bilis.
4. Lahat ng modelo ay kumakatawan upang magtrabaho kasama ang lahat ng standard na photoresists tulad ng AZ, Shipley, SU 8.
5. Lahat ng modelo Ang kalidad ng pattern na itinuturo ng sistema sa substrate pagkatapos ng 5 mask applications ay dapat magkapareho ng kalidad ng pattern pagkatapos ng unang paggamit ng mask.
6. Maaring adjust ang exposure time mula sa 1 segundo hanggang 1 oras. Ang alignment accuracy ay 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Espesipikasyon

Modelo	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Exposure type	isang bahagi lamang			Double side alignment at double side exposure
Exposure mode	Kontak hard, soft at non-contact proximity
Bilang ng exposure head	1 Exposure head			2 Exposure head
Uri ng liwanag na pinagmulan	GCQ350 bulong mercury lamp						LED UV exposure head
Paraan ng paglamig	paglalamig ng hangin
Exposure lugar	Φ100mm	110×110mm	Φ100mm		150mm×150mm
Exposure mode	Kumakatawan sa mga kontak na hard, soft
Pangungusot ng pagsisiyasat	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
Resolusyon ng pagsisiyasat	2μm	1 μm
Intensidad ng beam(365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Kawatan ng beam	≤±4%	≤±3%
Pinakamalaking biyak ng UV light	4°	3°
Sakop ng ilaw	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Front at back ≥ Φ115mm
Modong pagpapabuti ng wedge error	Pagsasama-samang panaig na hemispherical			Automatikong pagtanggal		3 punto ng automatikong pagsasamantala
Ang layo ng mga axis ng X at Y	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
Ang layo ng θ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
Resolusyon ng paglilipat ng substrate ng XYZ	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Sistemang mikroskopiko	Dalawang pangitain na mikroskopio/Dalawang kamera na CCD
laki ng display	15 pulgada
Resolusyon ng sistemang pagsasalinang	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Distansya ng pagsukat ng mask at substrate	0.5 µm	0.3 µm
Diagonal na sukat ng CCD target surface	1⁄3, (6mm)						40mm～110mm
Sukat ng setting table	≤ Square 5*5 inch (Maikling mga spesipikasyon)
Sukat ng mga substrate	Φ 100mm o 100*100mm square	60*49.5mm square	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Lakas ng substrate	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
Mga vacuum pump	Walang langis na tahimik (-0.07～－0.08MPα)
Malinis na kompresadong hangin	≥0.4MPα
Supply ng Kuryente	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Klase ng clean room	Klase 100
Temperatura ng clean room	25℃±2℃
Relatibong kaligatan ng clean room	≤60%
Ampilyud ng pagpupulse ng clean room	≤4μm
Ang laki ng kagamitan	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
Timbang ng kagamitan	200kg				280kg

Kailangan ng sistemang pagsasaayos sa paggawa ng mataas na katitikan na may halos pambihirang presisyon na mekanikal na proseso. Ang isa pang teknikal na problema ng sistemang pagsasaayos ay ang microscope para sa pagsasaayos. Upang mapabilis ang sakop ng pamamaraan ng microscope, maraming taas na klase na lithography machine ang gumagamit ng ilaw na LED. Mayroong dalawang set ng sistemang pagsasaayos na may kakayanang mag-focus. Ito ay pangunahin na binubuo ng dalawang mata at dalawang sakop na nag-uulat sa katawan ng microscope, isang paar ng eyepiece at isang paar ng objective lens (karaniwang nagbibigay ng lithography machine ng eyepiece at objective lens na may iba't ibang paglilapad para sa mga gumagamit). Ang puwersya ng CCD alignment system ay palakasin ang mga marka ng pagsasaayos ng mask at sample at ipakita ang mga ito sa monitor.

Ang paliguan ng trabaho ay isang pangunahing bahagi ng makina ng lithograpiya, na binubuo ng mask sample pangkalahatang kilusan ng paliguan (XY), ang mask sample relatibong kilusan ng paliguan (XY), ang paliguan ng pag-ikot, ang mekanismo ng pagpapayapa ng halaman, ang mekanismo ng pagsasalita ng halaman, ang paliguan ng wafer, ang mask clamp at ang mask paliguan na inilabas. Binubuo ng mekanismo ng pagpapayapa ng halaman ang bola upuan at ang hemispherical. Sa proseso ng pagpapayapa, una, pinapatong ang presyo ng hangin sa bola upuan at hemispherical, at pagkatapos ay umuukit ang bola upuan, hemispherical at halaman papunta sa itaas sa pamamagitan ng pokus na kamote, upang maaaring mailap ang halaman laban sa mask, at pagkatapos ay switch ang solenoid valve ng tatlong landas na may dalawang posisyon sa bola upuan at hemispherical sa vacuum para sa pag-lock upang panatilihing payapang estado.

Dala ni Minder-Hightech sa iyo ang isang napakahusay na teknolohiya para sa photolithography sa pamamagitan ng Aligner/Alignment Machine.

Nagdurusa ba kayo ng kulang na katumpakan habang ipiniprint ang mga circuit sa inyong mga elektronikong produkto? Kasama ang Aligner/Alignment Machine mula sa Minder-Hightech, maaari mong matiyak na maiuunlad ang mataas na antas ng katumpakan sa produksyon ng inyong mga ipinrintang circuit.

Sa tulong ng bagong-anyong produktong ito, maaari mong madaloy ang pag-transfer ng isang mataas na resolusyong imahe sa isang produkto gamit ang photolithography. Nag-aangkat ang makina ng katumpakan sa pamamagitan ng isang operasyonal na sistema ng pagsasaayos ng material sa imahe.

Matapos iprint at i-upload ang mga larawan, kumokopya ang makina ng dami ng eksposura na kinakailangan at kung paano nakasusumlang ang anyo ng material kasama ang mga larawan. Ginagawa ang kalkulasyon na ito gamit ang pinakabagong software ng kompyuter na maaaring i-update upang tugunan ang teknolohikal na pag-unlad sa industriya ng produksyon.

Ito ay magbibigay sayo ng kakayanang gumawa ng malawak na hanay, kabilang ang mga mikrosirkito, radiopreko (RF) sirkito, at bulilit na sirkito. Maaaring makamit ng unit ang pinakamahusay na kalaliman ng etch, lapad ng pista, at pagpapatakbo mula layer hanggang layer sa pamamagitan ng pagdaragdag ng iba't ibang patuloy na proseso tulad ng kimikal na etching at elektroplating.

Ang pangunahing benepisyo ng aming produkto ay nasa kakayahan nito na makapag-anak ng mataas na pagpapatakbo, na nagpapatibay na matatagpuan ang mga pattern na may malaking katikasan sa material. Maaari mong madaliang iprint ang maraming komplikadong disenyo nang walang anomang pagkabago.

Ito ay user-friendly, kompak, at epektibo, na nagiging karapat-dapat para sa iba't ibang mga pabrika o laki ng kompanya. Sa dagdag pa, kasama sa aming aparato ang manual na pagsasawi at pagsasanay sa lugar kasama ang aming grupo ng mga opisyal na suporta.

Ang Aligner\/Alignment Machine ng Minder-Hightech ay gumagamit ng teknolohiyang photolithography upang tulungan ka na makamit ang pinakamahusay na resulta habang ipinuprint ang mga circuit mo. Makikita mo ang isang bagong antas ng teknolohiya na nag-ooffer ng mataas na katatagan at kagandahan na hindi maaaring pantayin ng mga tradisyonal na paraan ng pagprint. Ang Aligner\/Alignment Machine ng Minder-Hightech ay kailangan ng iyong kompanya sa paggawa upang manatili ng isang hakbang unang sa mga kakumpetensiya. Mag-ambag sa amin ngayon upang makamit ang mga benepisyo ng pinakamahusay na teknolohiya ng Aligner\/Alignment Machine sa merkado.

home page

TUNGKOL SA AMIN

MH Equipment

Solusyon

Mga Gumagamit mula sa Kabihasnang Bansa

Video

KONTAKTAN NAMIN

Aligner / Alignment Machine para sa Photolithography

Higit pang mga Produkto

Serye MD-FS na Makinang Paggulugad ng Kapasitor

Serye MD-FDS na Automatikong Makinang Paggulugad ng Kapasitor

Serye MD-EFS na Makinang Paggulugad ng Kapasitor

Serye MD-EDFS Pelikula Kapasitor Winding Machine

pagsusuri

Articles

Products

Get In Touch