Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Pahinang Pangunahin
TUNGKOL SA AMIN
MH Equipment
Solusyon
Mga Gumagamit mula sa Kabihasnang Bansa
Video
KONTAKTAN NAMIN
Bahay> MH Equipment> Grinder at Polisher
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP
  • Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP

Awtomatikong Paghuhusay Matapos ang CMP

Paglalarawan ng Produkto

Ekipmento ng Paghuhusay pagkatapos ng Wafer Chemical Mechanical Polishing

CMP Post Chean

Mga Tampok ng Makina

Malakas na kakayahan sa proseso
Dual chamber brushing, may malawak na saklaw ng kahihinatnan ng proseso
Ang ekipmento ay okupado ng maliit na lugar, may sukat na 2200 * 800 * 2200 (mm)

Mga larangan ng aplikasyon

6-8 pulgada CMP pagkatapos ng brushing
Paghuhusay pagkatapos mag-grind ng SIC o iba pang substrate

Mga teknikal na parameter

Paghuhusay pagkatapos ng 4-inch at 6-inch CMP
Doble kamara na disenyo, independiyente na operasyon ng kamara Wet in and dry out o dry in and dry out
Mataas na bilis na spin dry SRD

LoadPort unit, unit ng pagsisingkolo

Ang LoadPort ay ang unit ng pagsisingkolo ng aparato na ito
Paggamit ng Wet Cassette
May kakayanang mag-spray at mag-moisturize

Unit ng brush, unit ng paghuhusay ng Wafer

Unit ng doble kamara, maaaring suportahan ang dalawang iba't ibang solusyon para sa paghuhusay
Ang posisyon ng pag-brush ay maaaring pabahin ayon sa recipeBelt Conveyor

SRD unit, Unidad ng pag-dry ng Wafer

Tipo ng Wafer clamp na spin drying, na may maximum speed na 4000RPM
Maaaring gumawa ng AS cleaning sa ibabaw ng wafer at spray DIW

UNLOAD unit, cutting unit

May independiyenteng FFU ang UnLoad unit upang tiyakin ang kalinisan ng paglabas ng wafer

Conveyor

Ang wet area ay belt conveyor
Dry area para sa Robot teleportation

Deskripsyon ng brush unit

Gaya ng ipinapakita sa kaliwang larawan, binubuo ng dalawang brushing units ang brush unit ng device na ito, na tinatawag na BU1 BU2.
Ang presyon ng brush sa bawat unit ay maaaring ipagpalit nang hiwalay (tulad ng tinukoy sa recipe), at bawat unit ng brush blade ay maaaring malinis ng iba't ibang uri ng kemikal na solusyon nang hiwalay.
Ang brush ng makina ay gumagamit ng PVA brush, na isang karaniwang uri sa market.
Ang transmisyong pagitan ng mga cavity ay conveyor belt. Mayroon ding DIW RINSE sa loob ng cavity.

SRD unit

Ang SRD unit ay may kasamang isang clamping CHUCK at isang AS ARM, na maaaring dagdagan pa ang pisikal na pagsisilip at pag-ikot para sa paghuhuling-daan ng surface ng wafer.
Espesipikasyon
Sukat ng kagamitan:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Mga paraan ng pagloload at unload
hilig-hilig / basang-basa / hilig-hilig
Bilang ng mga unit ng brush
2
Bilang ng mga unit ng SRD
1
Paraan ng transportasyon
Transporte sa wet zone gamit ang belt, transporte sa dry zone gamit ang robot
Ang sukat ng kagamitan na may brushing chamber na 1 ay 1850 * 800 * 2200
Pakete & Paghahatod
Company Profile
Faq
1. Tungkol sa Presyo:
Lahat ng aming presyo ay kompetitibo at nakakausap. Ang presyo ay may babagong depende sa konpigurasyon at kumplikadong customisasyon ng iyong device.

2. Tungkol sa Sample:
Maaari naming ibigay ang serbisyo ng paggawa ng sample para sa iyo, ngunit maaaring ipagbigay mo ang ilang bayad.

3. Tungkol sa Pagbabayad:
Pagkatapos ayusin ang plano, kailangan mong magbayad ng pagsisimula sa amin, at magdadala ang fabrica ng mga produkto. Pagkatapos ay handa na ang
kagamitan at nagbabayad ka ng babalik na pera, ipapadala namin ito.

4. Tungkol sa Pagpapadala:
Pagkatapos matapos ang paggawa ng equipment, ipapadala namin sa iyo ang video ng pag-aasang paunlaran, at maaari mo ring pumunta sa lugar upang inspekshunan ang equipment.

5. Pag-install at Pag-debug:
Pagdating ng equipment sa iyong fabrica, maaaring ipadala namin ang mga engineer upang mag-install at mag-debug ng equipment. Ibibigay namin sa iyo ang iba pang presyo para sa serbisong ito.

6. Tungkol sa Garanty:

Ang aming equipment ay may 12-bulanang guarantee period. Pagkatapos ng guarantee period, kung sinomang parte ay nasira at kinakailanganang palitan, iuuulit namin ang kosilyo lamang.

Pagsusuri

Pagsusuri Email Whatsapp Top
×

Magkaroon ng ugnayan