Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Kumuha ng Presyo

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Pahinang Pangunahin
TUNGKOL SA AMIN
MH Equipment
Solusyon
Mga Gumagamit mula sa Kabihasnang Bansa
Video
KONTAKTAN NAMIN
Bahay> Wafer Grinder
  • Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP
  • Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP
  • Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP
  • Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP
  • Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP
  • Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP
  • Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP
  • Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP
  • Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP
  • Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP

Automatikong Platen ng Singlo na Wafer Chemical Mechanical Polisher Planarization CMP

Kumuha ng Free Quote
Paglalarawan ng Produkto
ATOM Single Platen CMP

Mga Tampok ng Makina

Ang kagamitan ay maayos at maaaring suportahan maraming ulo.
Ang kakayahan sa proseso ng kagamitan ay malapit sa antas ng pangunahing modelo ng mga produkto ng parehong laki.
Mabuting konsistensya ng pagitan ng proseso ng kagamitan.

Mga larangan ng aplikasyon

4-8 inch STI, ILD/IMD, TSV, TGV pagpapalang, at ibabaw na pagpapalang ng mga kumpound tulad ng SiC, LT, LN, GaAs, atbp.

Mga teknikal na parameter

4-inch, 6-inch, 8-inch mga ulo, multi zone kontrol
Uri Ng Φ20 inch 508MM Platen
Kontrol sa presyon ng ulo<0.05PSI
Kontrol sa bilis ng pag-ikot ng Ulo at Platen<2RPM

1. LoadPort Unit

Ang port ay maaaring baliktad upang ilagay ang Cassette sa Qtank, maiiwasan ang pormasyon ng mga crystal ng Slurry sa
pinapalang ibabaw ng Wafer. May Cassette Mapping function.

2. Robotmaterial pagkuha unit

May 4-axis robot, maari itong awtomatikong ipasa ang mga wafer mula sa Cassette patungo sa unit ng pagpapalang.

3. Unit ng polisher

Ang yunit na ito ay nilagyan ng Platen * 1, ulo * 1, PC *
ang mga resulta ng pag-aaral ay maaaring maging:
pagtuklas. Ito ay maaaring makamit ang awtomatikong pag-load at pag-load ng wafer, multi zone control head, Slurry
landing point pagbabago sa mga setting ng recipe, endpoint detection at iba pang mga function.
CMP Polisher Head (Puno ng Polisher ng CMP)
Ang mga Polisher Head na naka-configure sa aparatong ito ay lahat ay independiyenteng binuo, dinisenyo, at ginawa ng aming kumpanya.
Kabilang sa mga ito, ang 4-inch 3-cavity Head ay isang natatanging produkto na nilikha ng aming kumpanya, na pinupuno ang puwang ng walang multi-cavity 4-inch Head sa Tsina. Ang aming kumpanya ay maaaring mabilis na baguhin o ipasadya ang ulo ayon sa mga katangian ng produkto ng customer. Sa pag-unlad ng TGV manipis na pelikula (200um) produkto, ang panloob na istraktura ng ulo ay binago upang matugunan ang mga kinakailangan ng manipis na pelikula polishing. Sa panahon ng proseso ng pag-unlad ng LN surface OX polishing technology, ang aming kumpanya ay malalim na pinabuti ang 6-inch Head at matagumpay na nakumpleto ang mga kinakailangan ng produkto ng customer.
Paggamit
Pamamaraan ng pagpolis na planarization IC tradisyonal;
Proseso ng TGV/TSV;
Smart Cut at Pre bonding CMP;
Pagpolis ng substrate SIC/pagpolis ng gallium arsenide.
Espesipikasyon
Daungan
Damit * 1, may Q-tank
Robot
Damit * 1, para sa pagpapalipat ng wafer
HCLU
Damit * 1, para sa awtomatikong pagsasama at unloading ng mga wafer
Polishing head
Damit * 13 cavity kontrol, kontrol na katiyakan ng 0.1PSI, maaaring suportahan ang operasyon ng 400-1200 UM wafer.
Bilis ng polishing head
5-150RPM
Pagpapakintab ng Disc
Damit * 1 Laki ng Polishing Disc 508mm, Bilis ng Polishing Pad 10-150rpm.
Trimming arm
Damit * 1 polishing pad. Maaaring ipolish ng polishing pad sa pamamagitan ng online (maaaring magtrabaho habang nagpolish) o offline (pagkatapos ng pagpolish). Ang trimming
arm ay mayroong trimming shaft, na maaaring lumipat pataas at patayo, at ang bilis at downforce ay maaaring kontrolin. Ang
trimming tool ay inilalagay sa trimming shaft at maaaring madali
naalisin. Ayon sa iba't ibang uri ng polishing pads, iba't ibang klase ng dressing tools ay kinakailangan, kabilang ang dressing
brushes, diamond rings, at diamond discs.
UPA polishing head control unit para sa presyo ng hangin
Damit * 13 Zone ay pinaandarang mabuti ang epekto ng pagiging patag ng ibabaw
Bomba para sa pamamaril na likido
Damit * 2. Ginagamit ang peristaltic pump para sa pamamaril na likido, may dalawang peristaltic pump na nakakonfigura upang magbigay ng iba't ibang pamamaril
likido sa disco ng pamamaril. Ang bawat bomba ay maaaring gamitin sa anumang hakbang ng proseso.
Slurry Arm
Damit * 1 ay makakontrol sa landing point ng slurry at maaaring malinis ang pamamaril na pad.
Ang sistema ng kontrol sa operasyon ay maaaring maabot sa antas ng gumagamit, tulad ng mode ng operator, mode ng pamamahala, at mode ng teknikal, at ang mga iba't ibang mode ay kontrolado ng password. Maaaring i-edit ng software ng sistema ang mga parameter ng proseso sa bawat hakbang ng proseso at mailap at
pamamaril ang maikling pelikula sa ibabaw ng chip ayon sa programa. Maaari itong monitor ang katayuan ng operasyon ng kagamitan, monitor ang mga parameter ng proseso sa real-time, at ang software ay maaaring awtomatikong ilagay sa storage ang iba't ibang datos ng proseso. Nakakamit ng isang emergency stop
polish ang thing film sa ibabaw ng chip surface ayon sa programa. Maaari itong monitor ang katayuan ng operasyon ng equipment, monitor ang mga parameter ng proseso sa real-time, at ang software ay maaaring awtomatikong ilagay sa storage ang iba't ibang datos ng proseso. Nakakamit ng isang emergency stop
process parameters in realtime, at ang software ay maaaring awtomatikong ilagay sa storage ang iba't ibang datos ng proseso. Nakakamit ng isang emergency stop
pindutan, ginagamit upang agadong itigil ang operasyon ng kagamitan at putulin ang kontrol na kuryente.
Pakete & Paghahatod
Company Profile
Faq
1. Tungkol sa Presyo:
Lahat ng aming presyo ay kompetitibo at nakakausap. Ang presyo ay may babagong depende sa konpigurasyon at kumplikadong customisasyon ng iyong device.

2. Tungkol sa Sample:
Maaari naming ibigay ang serbisyo ng paggawa ng sample para sa iyo, ngunit maaaring ipagbigay mo ang ilang bayad.

3. Tungkol sa Pagbabayad:
Pagkatapos ayusin ang plano, kailangan mong magbayad ng pagsisimula sa amin, at magdadala ang fabrica ng mga produkto. Pagkatapos ay handa na ang
kagamitan at nagbabayad ka ng babalik na pera, ipapadala namin ito.

4. Tungkol sa Pagpapadala:
Pagkatapos matapos ang paggawa ng equipment, ipapadala namin sa iyo ang video ng pag-aasang paunlaran, at maaari mo ring pumunta sa lugar upang inspekshunan ang equipment.

5. Pag-install at Pag-debug:
Pagdating ng equipment sa iyong fabrica, maaaring ipadala namin ang mga engineer upang mag-install at mag-debug ng equipment. Ibibigay namin sa iyo ang iba pang presyo para sa serbisong ito.

6. Tungkol sa Garanty:
Ang aming equipment ay may 12-bulanang guarantee period. Pagkatapos ng guarantee period, kung sinomang parte ay nasira at kinakailanganang palitan, iuuulit namin ang kosilyo lamang.

Higit pang mga Produkto

Pagsusuri

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Patakaran sa Privasi

Pagsusuri Email Whatsapp Top
×

Magkaroon ng ugnayan