Awtomatikong Single Platen Wafer Chemical Mechanical Polisher CMP , China Automatic Single Platen Wafer Chemical Mechanical Polisher CMP Mga Manufacturer, Supplier, Pabrika

Paglalarawan ng produkto

ATOM Single Platen CMP

Mga tampok ng machine

Ang aparato ay nababaluktot at maaaring suportahan ang maraming mga ulo.
Ang kakayahan ng proseso ng kagamitan ay malapit sa pangunahing antas ng modelo ng mga produkto na may parehong laki.
Magandang pagkakapare-pareho ng proseso ng inter device.

Mga Patlang ng Application

4-8 pulgadang STI, ILD/IMD, TSV, TGV polishing, at surface polishing ng mga compound gaya ng SiC, LT, LN, GaAs, atbp

Teknikal na parameter

4-inch, 6-inch, 8-inch na ulo, multi zone control
Uri Ng Φ20 pulgada 508MM Platen
Katumpakan ng kontrol sa presyon ng ulo<0.05PSI
Katumpakan ng kontrol ng bilis ng pag-ikot ng ulo at Platen<2RPM

produkto awtomatikong solong platen wafer kemikal mekanikal polisher cmp-53

1. Yunit ng LoadPort

Maaaring i-flip ang port upang isawsaw ang Cassette sa Qtank, upang maiwasan ang pagbuo ng mga Slurry na kristal sa
pinakintab na ibabaw ng Wafer. Nilagyan ng function ng Cassette Mapping.

produkto awtomatikong solong platen wafer kemikal mekanikal polisher cmp-54

2. Robotmaterial retrieval unit

Nilagyan ng 4-axis robot, maaari itong awtomatikong ilipat ang mga wafer mula sa Cassette patungo sa polishing unit.

produkto awtomatikong solong platen wafer kemikal mekanikal polisher cmp-55

3. Unit ng Polisher

Nilagyan ang unit na ito ng Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, at EPD endpoint
pagtuklas. Maaari itong makamit ang awtomatikong paglo-load at pag-unload ng wafer, multi zone head control, Slurry
pagbabago ng landing point gamit ang mga setting ng Recipe, endpoint detection at iba pang mga function.

produkto awtomatikong solong platen wafer kemikal mekanikal polisher cmp-56

CMP Polisher Head

Ang Polisher Heads na na-configure sa device na ito ay independiyenteng binuo, idinisenyo, at ginawa ng aming kumpanya.
Kabilang sa mga ito, ang 4-inch 3-cavity Head ay isang natatanging produkto na nilikha ng aming kumpanya, na pinupunan ang puwang ng walang multi-cavity 4-inch Head sa China. Ang aming kumpanya ay maaaring mabilis na baguhin o i-customize ang Head ayon sa mga katangian ng produkto ng customer. Sa pagbuo ng TGV thin film (200um) na mga produkto, ang panloob na istraktura ng Head ay binago upang matugunan ang mga kinakailangan ng manipis na film buli. Sa panahon ng proseso ng pagbuo ng LN surface OX polishing technology, malalim na na-upgrade ng aming kumpanya ang 6-inch Head at matagumpay na natugunan ang mga kinakailangan ng produkto ng customer.

produkto awtomatikong solong platen wafer kemikal mekanikal polisher cmp-57

aplikasyon

Tradisyunal na IC planarization polishing process；

proseso ng TGV/TSV；

Smart Cut at Pre bonding CMP；

SIC substrate polishing/gallium arsenide polishing.

produkto awtomatikong solong platen wafer kemikal mekanikal polisher cmp-58

detalye

Port	Dami * 1, na may Q-tank
robot	Dami * 1, para sa wafer transfer
HCLU	Dami * 1, para sa awtomatikong pagkarga at pagbabawas ng mga wafer
Pagpapakintab ng ulo	Dami * 13 cavity control, control accuracy ng 0.1PSI, kayang suportahan ang 400-1200 UM wafer operations.
Bilis ng buli ng ulo	5-150RPM
Pag-polish Disc	Dami * 1 Laki ng Polishing Disc 508mm, Bilis ng Polishing Pad 10-150rpm.
Pag-trim ng braso	Dami * 1 polishing pad. Ang polishing pad ay maaaring pulihin online (sabay-sabay) o offline (pagkatapos ng buli). Ang trimming braso ay nilagyan ng trimming shaft, na maaaring paikutin at ilipat pataas at pababa, at ang bilis at downforce ay maaaring kontrolin. Ang trimming tool ay naka-install sa trimming shaft at maaaring mabilis inalis. Ayon sa iba't ibang uri ng polishing pad, iba't ibang uri ng dressing tool ang naka-configure, kabilang ang dressing mga brush, singsing na brilyante, at mga disc ng brilyante.
UPA polishing head air pressure control unit	Dami * 13Zone adjustable para sa mas magandang epekto sa planarization sa ibabaw
Pump ng supply ng likidong buli	Dami * 2. Ang peristaltic pump ay ginagamit para sa supply ng likido, na may 2 peristaltic pump na naka-configure upang maghatid ng iba't ibang polishing mga likido sa buli na disc. Ang bawat bomba ay maaaring gamitin sa anumang hakbang ng proseso.
Slurry Arm	Ang dami * 1 ay maaaring makontrol ang landing point ng slurry at maaaring linisin ang polishing pad.
Ang operating control system ay maaaring makamit ang user level control, tulad ng operator mode, maintenance mode, at technical mode, at var Ang mga mode ay kinokontrol ng mga password. Maaaring i-edit ng software ng system ang mga parameter ng proseso ng bawat hakbang ng proseso at patagin at polish ang manipis na pelikula sa ibabaw ng chip ayon sa programa. Maaari itong subaybayan ang katayuan ng operasyon ng kagamitan, subaybayan proseso ng mga parameter sa realtime, at ang software ay maaaring awtomatikong mag-imbak ng iba't ibang proseso ng data. Nilagyan ng emergency stop button, ginagamit upang agad na ihinto ang operasyon ng kagamitan at putulin ang kapangyarihan ng kontrol.

Pag-iimpake at Paghahatid

produkto awtomatikong solong platen wafer kemikal mekanikal polisher cmp-59

produkto awtomatikong solong platen wafer kemikal mekanikal polisher cmp-60

Profile ng Kompanya

FAQ

1. Tungkol sa Presyo:
Ang lahat ng aming mga presyo ay mapagkumpitensya at mapag-usapan. Nag-iiba-iba ang presyo depende sa pagsasaayos at pagiging kumplikado ng pag-customize ng iyong device.

2. Tungkol sa Sample:
Maaari kaming magbigay ng mga sample na serbisyo sa produksyon para sa iyo, ngunit maaari kang magbigay ng ilang mga bayarin.

3. Tungkol sa Pagbabayad：
Pagkatapos makumpirma ang plano, kailangan mo munang magbayad sa amin ng deposito, at magsisimula ang pabrika sa paghahanda ng mga kalakal. Pagkatapos ng
handa na ang kagamitan at babayaran mo ang balanse, ipapadala namin ito.

4. Tungkol sa Paghahatid:
Pagkatapos makumpleto ang paggawa ng kagamitan, ipapadala namin sa iyo ang video ng pagtanggap, at maaari ka ring pumunta sa site upang siyasatin ang kagamitan.

5. Pag-install at Pag-debug:
Pagkatapos dumating ang kagamitan sa iyong pabrika, maaari kaming magpadala ng mga inhinyero upang i-install at i-debug ang kagamitan. Bibigyan ka namin ng hiwalay na quotation para sa bayad sa serbisyong ito.

6. Tungkol sa Warranty:
Ang aming kagamitan ay may 12-buwang panahon ng warranty. Pagkatapos ng panahon ng warranty, kung ang anumang bahagi ay nasira at kailangang palitan, sisingilin lamang namin ang presyo ng gastos.