Nakakagiling na ostiya |
laki |
taas |
4,5,6,8 |
Wafer cassette |
Numero |
- |
2 |
Paraan ng pagkuskos |
- |
Vertical plunge grinding method |
|
Nakakagiling na spindle ng gulong |
Uri |
- |
Mga air bearings |
dami |
- |
2 |
|
bilis |
rpm |
0 ~ 5000 |
|
Output Power |
Kw |
5.5/7.5 |
|
atake serebral |
mm |
150 |
|
Bilis ng Feed |
um/s |
0.01 ~ 100 |
|
Mabilis na pasulong |
mm / min |
300 |
|
paglutas |
um |
0.1 |
|
axis ng workpiece |
uri |
- |
Ball bearings |
dami |
- |
3 |
|
Uri ng suction cup |
- |
Microporous na keramika |
|
Paraan ng pagsipsip ng wafer |
- |
Vacuum adsorption |
|
bilis |
rpm |
0 ~ 300 |
|
Paglipat ng wafer |
- |
Robot braso |
|
- |
Umiikot na disk |
||
Iba pang mga function |
Pagsentro ng ostiya |
- |
Pag-align ng mobile pin |
Paglilinis ng ostiya |
- |
Paglilinis ng tubig at hangin, pagpapatuyo ng spin |
|
Paglilinis ng suction cup |
- |
Paglilinis ng oilstone |
|
Gumagiling gulong |
mm |
Φ200 |
|
online pagsukat |
Hanay ng pagsukat |
um |
0 ~ 1800 |
paglutas |
um |
0.1 |
|
Ulitin katumpakan |
um |
± 0.5 |
|
machining katumpakan |
Intra-wafer accuracy (TTV) |
um |
≤2 |
Inter-wafer accuracy (WTW) |
um |
± 3 |
|
Pagkagaspang ng ibabaw (Ry) |
um |
0.13(2000#finish) |
|
Hitsura |
Pangkulay ng hitsura |
um |
Orange Pattern |
Mga Dimensyon(W×D×H) |
mm |
1200 2750 × × 1950 |
|
timbang |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Lahat ng Karapatan ay Nakalaan