Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment , China Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment Manufacturers, Suppliers, Factory

Paglalarawan ng Produkto

Sistemang Pagpapatalsik ng Plasmatrong Pamamagitan ng Induktibong Koneksyon (icp)

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment details

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Resulta ng proseso

Pagpapatalsik ng Quartz / siliko / grating

Gamit ang BR mask upang patalsik ang mga materyales na quartz o siliko, mayroon ang paternong array ng grating ang pinakamahihinang linya hanggang 300nm at ang steepness ng gilid ng paterno ay malapit sa > 89° , na maaaring gamitin para sa 3D display, mikro optical devices, optoelectronic communication, etc

Pagpapatalsik ng Compound / semiconductor

Ang tiyak na kontrol ng temperatura ng ibabaw ng sample ay maaaring mabuti kontrolin ang anyo ng etching ng mga material na batay sa GaN, GaAs, InP at metal. Ang katangian na ito ay maaaring gamitin para sa mga device na blue LED, laser, optikong komunikasyon at iba pang aplikasyon.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment manufacture

Pag-eetch ng materyales na silicon-based

maaring gamitin para sa etching ng mga material na batay sa siliko tulad ng Si, SiO2, at SiNx. Maaari nito realizeng etching ng linya ng siliko na higit sa 50nm at etching ng malalim na butas ng siliko na mas mababa sa 100um

Espesipikasyon

Paggawa ng proyekto at diagram ng estruktura ng makina

Item	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Sukat ng Produkto	≤6 inches	≤8 inches	≤6 inches	≤8 inches	Pasadyang≥12pulgada
SRF Baterya ng kagamitan	0~1000W/2000W/3000W/5000W Aypawat, awtomatikong pagsusulatan\, 13.56MHz/27MHz
BRF Baterya ng kagamitan	0~300W/0~500W/0~1000WAypawat, awtomatikong pagsusulatan, 2MHz/13.56MHz
Molecular Pump	Hindi korosibuhay: 600/1300 (L/s)/Pasadya			Kontra-korosyon: 600/1300 (L/s)/Pasadya		600/1300(L/s)/Pasadya
Foreline pamp	Mekanikal na pampamiglas / yuto pump			Anti-korosyon na yuto pump		Mekanikal na pampamiglas / yuto pump
Unang pampamiglas na pampamiglas	Mekanikal na pampamiglas / yuto pump			Mekanikal na pampamiglas / yuto pump
Prosesong presyon	Hindi kontroladong presyon/0-0.1/1/10Torr kontroladong presyon
Uri ng gas	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Pasadyal (Hanggang sa 12 channel, walang korosyong at toksikong gas)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Pasadyal(Hanggang sa 12 channel)
hanay ng gas	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Pasadyal
LoadLock	Oo/Hindi			Oo
Mga halaman ng kontrol sa temperatura	10°C~Kabahayan~/ -30°C~150°C ~/Pasadya			-30°C~200°C~/Pasadya
Paggamit ng helium para sa pag-init	Oo/Hindi			Oo
Paglilinis sa loob ng kavityahe	Oo/Hindi			Oo
Kontrol sa temperatura ng pader ng kavityahe	Hindi/Kabahayan tem-60/120°C			Kabahayan tem~60/120°C
Control System	Awtomatiko/bipinili
Materyales para sa etching	Base sa siklo: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Materyales na organiko: PR/Organiko pelikula......			Base sa siklo: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Materyales pang-magnet / anyo ng materyales Mga materyales na metaliko: Ni\/Cr\/Al\/Cu\/Au... Mga materyales na organiko: PR\/Pelikula Organiko...... Malalim na etching ng silicon

Pakete & Paghahatod

Company Profile

Mayroon kaming 16 taong karanasan sa pagbebenta ng makinarya. Maaari naming ibigay sa iyo ang One-stop Semiconductor Front-end at Back end Package Line equipments na solusyon mula sa Tsina.

home page

TUNGKOL SA AMIN

MH Equipment

Solusyon

Mga Gumagamit mula sa Kabihasnang Bansa

Video

KONTAKTAN NAMIN

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment

Pagpapatalsik ng Quartz / siliko / grating

Pagpapatalsik ng Compound / semiconductor

Pag-eetch ng materyales na silicon-based

Higit pang mga Produkto

Serye MD-FS na Makinang Paggulugad ng Kapasitor

Serye MD-FDS na Automatikong Makinang Paggulugad ng Kapasitor

Serye MD-EFS na Makinang Paggulugad ng Kapasitor

Serye MD-EDFS Pelikula Kapasitor Winding Machine

pagsusuri

Articles

Products

Get In Touch

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment

Pagpapatalsik ng Quartz / siliko / grating

Pagpapatalsik ng Compound / semiconductor

Pag-eetch ng materyales na silicon-based

Higit pang mga Produkto

pagsusuri

Articles

Products

Get In Touch

Magkaroon ng ugnayan