Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment , China Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment Mga Manufacturer, Supplier, Factory

Paglalarawan ng produkto

Inductive coupling plasma etching (icp) system

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Mga detalye ng kagamitan sa Semiconductor

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment supplier

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Semiconductor equipment factory

Resulta ng Proseso

Quartz / silicon / grating etching

Gamit ang BR mask para mag-etch ng mga materyales na quartz o silicon, ang grating array pattern ay may pinakamanipis na linya hanggang 300nm at ang sidewall steepness ng pattern ay malapit sa > 89° , na maaaring ilapat sa 3D display, micro optical device, optoelectronic na komunikasyon, atbp

Compound / semiconductor etching

Ang tumpak na kontrol ng sample na temperatura sa ibabaw ay mahusay na makokontrol ang etching morphology ng GaN based, GaAs, InP at mga metal na materyales. Ito ay angkop para sa mga asul na lED na aparato, laser, optical na komunikasyon at iba pang mga aplikasyon.

Inductive Coupling Plasma Etching System ( ICP ) Paggawa ng kagamitang semiconductor

Pag-ukit ng materyal na batay sa silicone

ito ay angkop para sa pag-ukit ng mga materyales na batay sa silikon tulad ng Si, SiO2, at SiNx. Maaari kong mapagtanto ang pag-ukit ng linya ng silikon sa itaas ng 50nm at pag-ukit ng malalim na butas ng silikon sa ibaba 100um

detalye

Configuration ng proyekto at diagram ng istraktura ng makina

Bagay	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Laki ng Produkto	≤6 pulgada	≤8 pulgada	≤6 pulgada	≤8 pulgada	Custom≥12inches
SRF Power source	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
Pinagmulan ng BRF Power	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Molecular pump	Hindi kinakaing unti-unti : 600 /1300 (L/s)/Custom			Anti-corrosion:600 /1300 (L./s)/Custom		600/1300(L/s) /Custom
Foreline pump	Mechanical pump / dry pump			Anti corrosion dry pump		Mechanical pump / dry pump
Pre pumping pump	Mechanical pump / dry pump			Mechanical pump / dry pump
Proseso ng presyon	Hindi nakokontrol na presyon/0-0.1/1/10Torr na kinokontrol na presyon
Uri ng gas	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (Hanggang sa 12 na channel, walang kinakaing unti-unti at nakakalason na gas)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Custom(Hanggang 12 channel)
Saklaw ng gas	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	Oo hindi			Oo
Halimbawang kontrol ng tem	10°C~Roomtem/ -30°C~150°C /Custom			-30°C~200°C/Custom
Paglamig ng helium sa likod	Oo hindi			Oo
Proseso ng cavity lining	Oo hindi			Oo
Kontrol ng tem ng dingding ng lukab	Hindi/Room tem-60/120°C			Tem ng kwarto~60/120°C
Control System	Auto/custom
Pag-ukit ng materyal	Silicon-base: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Mga organikong materyales:PR/Organic pelikula......			Silicon-base: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magnetic na materyal / haluang metal na materyal Mga metal na materyales: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Mga organikong materyales: PR/Organic na pelikula...... Silicon deep etching

Pag-iimpake at Paghahatid

Profile ng Kompanya

Mayroon kaming 16 na taong karanasan sa pagbebenta ng kagamitan. Maaari kaming magbigay sa iyo ng One-stop Semiconductor Front-end at Back end Package Line equipment na propesyonal na solusyon mula sa China.