istraktura |
magbigay ng halimbawa |
Pagsasagawa ng mesa |
Lugar ng eksposur: mesa, lugar ng paglalagay ng substrate |
Optical System |
Laser emission pormasyon lugar |
Sistemang pang-eksbensa |
Kontrol ng temperatura at positibong presyon sa loob ng kagamitan |
Sistemang platform |
Nakikontrol ang paggalaw ng lamesa ng pagsisiyasat upang makumpleto ang operasyon ng landas ng pagsisiyasat |
Control System |
Sistematikong kontrol ng buong kagamitan |
Hindi |
Kapaligiran |
Kailangan |
1 |
Kaligirang pinagmulan ng liwanag |
Dilaw na ilaw |
2 |
Temperatura |
22℃±2℃ |
3 |
Halumigmig |
50%±10% |
4 |
Kalinisan |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, tahimik, malinis na hangin |
6 |
Supply ng Kuryente |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Dapat maground ang talian ng lupa, |
7 |
Tubig para sa Paggamot |
Temperatura:10℃~ 20℃ Presyon:0.3MPa ~ 0.5MPa Rate ng Pagpupunta:20L/min Kulang na Presyon:0.3MPa o higit pa Tumanggap ng kalibre:Rc3/8 |
8 |
Lugar |
antas:±3mm/3000mm pagkakalito:VC-B Bearing:750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Isang network port |
11 |
Sukat ng makina |
1300*1100*2100mm |
12 |
Timbang ng aparato |
1500kg |
Hindi |
Proyekto |
Mga detalye. |
Puna |
1 |
Resolusyon |
0.6um/o iba pang kailangan |
AZ703、AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Lakas ng substrate |
0.2mm~4mm |
|
4 |
Katumpakan ng petsa |
60nm |
|
5 |
Overlay |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Katumpakan ng pag-stitch |
±200nm |
AZ703 |
7 |
PINAKA DAGDAG NA SUKAT NG PAGBABASA |
190X190mm |
|
8 |
Throughput |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm²; |
9 |
pinagmulan ng ilaw |
LD 375nm |
|
10 |
liwanag na kapangyarihan |
6W |
|
11 |
KATUWANG NG ENERHIYA |
≥95% |
|
12 |
buhay ng ilaw |
10000hr |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved