MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine , China MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine Manufacturers, Suppliers, Factory

Paglalarawan ng Produkto

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine

1. Mode ng trabaho: Ang robot na nagloload ay aoutomatikong naghahala ng mga wafer mula sa A-B (recyclable) wafer box patungo sa pre positioning

trabahong-bakal, at sa pamamagitan ng pagsasadya ng kamera na posisyon ng wafer at ang sistemang awtomatikong pag-ikot, natutugunan ang mga pre-posisyon ng wafer; Pagkatapos ay nagloload ang robot ng loader ng mga pre-posisyong wafers sa trabahong-bakal na alinsunod. Sa pamamagitan ng kompyuter na pagkilala sa imahe at pagsasadya ng sistemang awtomatikong alinsunod, maaaring matugunan ang awtomatikong alinsunod ng mga graphics sa mask at sa wafers. Maaari din niyang tapusin ang isang eksposura nang hindi kinakailangang alinsunodin ang mga graphics. Pagkatapos ng awtomatikong eksposura sa pamamagitan ng sistemang sobra-exposure, ipinapasok ng awtomatiko ang robot ng unloading ang mga wafers sa C-D (maii.recycle) na kahon ng wafer.
2. Sirkumtansyang eksposura: 160 × 160mm;
3. Hindi magaan ang ilaw ng eksposura: ≤ 3%;
4. Intensidad ng eksposura: 0~≥ 40mw/cm2 ay mai-adjust (beam angle 2 °);
5. Ugat ng liwanag ng UV: ≤ 3 °;
6. Sentro ng balanse ng ultrapubo: 365nm;
7. Buhay ng liwanag ng UV: ≥ 20000 oras;
8. Kapasidad ng paghihiwalay: 0~≥ 1000um ay mai-adjust;
9. Katumpakan ng alinsunod: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Katumpakan ng pagsisiyasat: Pagsisiasat sa pakikipagkuha ± 1 μ m. Malapit na paghiwalay ng pagsisiasat na 20 μ M ang sulok ng beam 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Mga paraan ng pagsisiasat: hard contact, soft contact, at malapit na pagsisiasat;
12. Mode ng pagsisiasat: Maaari mong pumili sa pagpapatunay ng isang beses o offset exposure
13. Pre positioning na pagkilala ng imahe at awtomatikong sistemang pag-rotate (kabilang ang pre positioning workbench): rotate angle Q ≥ ± 180 °, katumpakan ng pag-rotate Q ≤ 0.01 °;
14. Pagkilala ng imahe at awtomatikong sistema ng pag-align (kabilang ang UVW alignment workbench): range ng pag-align X Y ≥ ± 5mm, rotate angle Q ≥ ± 3 °, at ang dalawang lensa ng mikroskopio ay kinontrol ng dalawang XYZ elektrikong platform.
15. Sukat ng mask: 5 " × 5 "at 7" × 7 ";
16. Sukat ng wafer: 4 "at 6";
17. Itaas at ibabang film box workstations: dual workstations;
18. Foot cushion airbag
19. Dual arm robotic arm para sa pagloload at unload: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Bilang ng wafers sa wafer box: tinukoy batay sa bilang ng wafers sa wafer box ng customer;
21. Pagtaas ng positioning table: Z ≥ ± 25mm;
22. Timing ng pagsisiyasat: ayos mula 0 hanggang 999.9 segundo;
23. Ritmo ng produksyon: >120 piraso bawat oras;
24. Supply ng kuryente: isang-fase AC220V 50Hz, paggamit ng enerhiya ≤ 3KW;
25. Presyon ng linis na hangin: ≥ 0.4MPa;
26. Antas ng vacuum: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Sukat: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Timbang: Halos 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Binubuo ito ng isang LED ultrapugad na ulo, isang sistema ng pagkilala sa larawan at awtomatikong pag-rotate, isang pre-positioned workbench, at isang picture tulad ng pagkilala at awtomatikong pag-align systems, alignment workbenches, loading robots, unloading robots, racks, at elektrikal na kontrol na binubuo ng mga aparato, reserve accessories, atbp.

Espesipikasyon

1. Punlaan ng liwanag: Isang LED ultrapunlad na punlaan (365nm);
2. Bangko para sa pagkilala ng imahe at pagsasaayos bago magtrabaho:
1) 1 kamera (1.3 milyong pixel)
2) Fixtures para sa sentro ng posisyon
3) 1 set ng lumilipad na platforma (gamit ang servo motor)
4) 1 set ng sistema ng pagsasaayos
3. Sistema ng pagkilala ng imahe at awtomatikong pagsasaayos:
1) 2 kamera (5 milyong pixel na mataas na frame rate)
2) 2 lente (4x mataas na klaridad na lente)
3) Isang industriyal na computer
4) Isang controller (kinontrol ng PLC)
5) Isang set ng alignment platform (gamit ang 5-phase stepper motor)
6) Isang set ng sports system
7) Ang device sa itaas na plato ay gumagamit ng motor para sa pagtaas at pagbaba
7) Ang software ay gumagamit ng pinakabagong bersyon ng LabVIEW Professional Edition
4. Pagloload at unload ng mekanikal na braso:
1) X Y. Isang set ng Z awtomatikong mekanismo ng paggalaw
2) Dual arm robotic arm (loading at unloading arms)
5. Mehkanismo ng pagsasaalang-alang sa wafer box:
1) AB ay ang tetimang posisyon ng feeding film box
2) CD ay ang itinakda na posisyon ng kahon ng cutting film
3) G ay ang itinakda na posisyon ng kahon ng film sa posisyong NG
6. Itinakda na platform para sa kamera:
7. Dalawang set ng mga mekanismo ng pag-adjust sa Y.Z (kinontrol ng servo motors)
8. Rack at konsol ng elektikal na kontrol:
1) 1 industriyal na computer
2) Isang set ng PLC;
3) Isang set ng electromagnetikong mga valve at sistema ng kontrol
4) Isang set ng digital na pambagong instrumento
5) Isang set ng konsol ng kontrol
8. Mga Reserve na Attachment:
1) Tracheal: 15 metro
2) 2 solenoid valves
3) Vacuum pump: 1 unit
9. Teknikong Impormasyon:
1) Isang user manual
2) Isang sertipiko ng pagsasanay
10. Adisyonal
Kailangan ang software ng equipamento nang may SECS communication protocol, at ang buyer ang magbibigay ng dynamic library na may kakayanang mag-dock sa MES system ng buyer, awtomatikong nagrerekord ng produkto batch number, trabaho number, at operasyon status at nag-upload nila. Sa parehong panahon, ito ay may kakayanang mag-identify ng QR code ng mask plate, pagsasalungat nito sa QR code ng mask plate ng MES system, at pagpapigil sa mali nga mask plate na maabot.

Pakete & Paghahatod