MDICP-5000F Ganap na Awtomatikong ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma , China MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma Manufacturers, Supplier, Factory

Paglalarawan ng produkto

MDICP-5000F Ganap na awtomatikong ICP etching machine

Executive buod

Ang kagamitan ay isang dalawang silid na vacuum system. Ang isang silid ay ang silid ng sampling ng iniksyon at ang isa ay ang silid ng pag-ukit. Naka-install ang vacuum lock sa pagitan ng injection sampling chamber at ng etching chamber, at ang injection sampling ay dinadala ng manipulator.
Ang kagamitan ay pangunahing binubuo ng vacuum system, gas circuit system, electrical system, control system, cooling system, film feeding at taking mechanism, alarm system, atbp.

Sistema ng vacuum

Ang sistema ay binubuo ng isang molecular pump na may pumping speed na 600 L / S + isang imported na vacuum dry pump na may pumping speed na L / s upang pumping ang etching chamber sa mataas na vacuum. Naka-install ang electric dynamic pressure regulating valve sa pagitan ng molecular pump at ng etching chamber. Ang imported na dry pump ay ang pre pumping pump ng etching chamber at ang front stage pump ng molecular pump. Gumamit ng isa pang mekanikal na bomba na may bilis ng pumping na L / s upang i-vacuum ang sample chamber. Ang mga hindi kinakalawang na asero na bellow ay ginagamit para sa koneksyon sa pagitan ng mechanical pump at vacuum chamber at molecular pump, at naka-install ang electromagnetic pneumatic block valve.

Patuloy na sistema ng kontrol ng presyon

Ang kagamitan ay nilagyan ng downstream constant pressure control system, at isang electric adjustable valve ay naka-install sa air extraction pipeline. Sa pamamagitan ng pagsukat ng film gauge (na-import na mga bahagi), ang adjustable valve ay kinokontrol upang ang vacuum chamber ay maabot ang pare-parehong presyon, upang mapabuti ang proseso ng katatagan.

Patuloy na sistema ng kontrol ng presyon

Sistema ng circuit ng gas

Dalawang set ng RF power supply na may awtomatikong pagtutugma.

Sistemang pang-alarma

Mga kinakailangan sa kaligtasan para sa kagamitan.

detalye

Pangalan	Spc	Tatak	Hindi./Itakda	nota
Etching chamber, air extraction pipeline, observation window, nakalaan na interface, atbp	pamantayan	JSWN	1	Anticorrosive
Frame, electric cabinet, mga seal, karaniwang bahagi, atbp	pamantayan	JSWN	1
Etching chamber cover lifting system	pamantayan	JSWN	1	Anticorrosive
Etching electrode at cooling system	pamantayan	JSWN	1	Anticorrosive
Molecular pump (bilis ng pumping 600 L / s)	Final Fantasy 620/150	KYKY	1	Anticorrosive
Inlet dry pump (bilis ng pumping 9 L / s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Anticorrosive
Mechanical pump (bilis ng pumping 9 L / s)	TRP-36	BWVAC	1
Electric regulating gate valve	DCQ-150	JSWN	1	Anticorrosive
Ang mga pneumatic bellow ay huminto sa balbula	KF40	JSWN	3	Anticorrosive
Sukatan ng pelikula	KF16	INFICON	1	Anticorrosive
Controller ng daloy ng masa	D07	Sevenstar	4	Anticorrosive
Pneumatic diaphragm valve	1/4″VCR	-	4	Anticorrosive
Hindi kinakalawang na asero pipe, pipe joint, atbp	1/4″VCR	-	4	Anticorrosive
RF power supply / awtomatikong matcher	-	China(OpsyonalCROWN1310)	1
RF power supply / awtomatikong matcher	-	China(OpsyonalCROWN1310)	1
Composite vacuum gauge	ZDF	RB	1
IPC	2U	Tsina	1
LCD touch screen	17inch	Tsina	1
Sistema ng kontrol sa PLC	S7-200	Siemens	1
Sistema ng kontrol sa electric drive	pamantayan	JSWN	1
Pag-detect ng cooling water at pipeline system	pamantayan	JSWN	1
Compressed air detection at pipeline system	pamantayan	JSWN	1
Pagpapalamig ng nagpapalipat-lipat na makina ng tubig	HX	Tsina	1
Pag-ukit ng silid ng iniksyon	pamantayan	JSWN	1
Vacuum lock	SMC	SMC	1
Sistema ng kontrol ng manipulator	SMC	SMC	1

Teknikal na parameter ng mail

1. Limitahan ang vacuum: Etching chamber 9.0×10-5Pa (Humidity sa loob≤55%)
Injection sampling chamber 6.0×10-1Pa
2. Etching material: Ⅲ、ⅤMaterial、Si 、SiO2, atbp
3. Rate ng pag-ukit: ~ 1μ/min
4. Pagkakapareho ng pag-ukit: ≤±5％(φ125mm range)
6. Laki ng electrode: φ200mm

Pag-iimpake at Paghahatid

Upang mas mahusay na matiyak ang kaligtasan ng iyong mga kalakal, bibigyan ng propesyonal, friendly na kapaligiran, maginhawa at mahusay na mga serbisyo ng packaging.

Profile ng Kompanya

Mayroon kaming 16 na taong karanasan sa pagbebenta ng kagamitan. Maaari kaming magbigay sa iyo ng One-stop Semiconductor Front-end at Back end Package Line equipment na propesyonal na solusyon mula sa China.