MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine , China MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine Manufacturers, Suppliers, Factory

Paglalarawan ng Produkto

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine

Ang kagamitan ay gumagamit ng frame na stainless steel, at ang loob at labas na sheet metal ay mga stainless steel mirror panels. Ang ibaba ng kagamitan ay may universal casters at horizontal adjustment function. May 3-kulay signal tower na may buzzer sa itaas. Ang itaas ng kagamitan ay ang sistema ng kontrol at FFU, ang gitna ay ang proseso unit, at ang ibaba ay ang kemikal pipeline system. Lahat ng bahagi na direkta namang maaaring magkontak sa kemikal ay gawa sa korosyon-resistant materials tulad ng SUS304, PP, PTFE, atbp. Ang pneumatic pipelines ay gawa sa PU pipes, at ang kemikal pipelines ay gawa sa korosyon-resistant PFA pipes. Ang human-machine operation interface ng aparato ay isang 17-inch touch screen, na maaaring magawa ang mga funktion tulad ng pag-operate sa aparato, pagsasaayos ng mga formula, at pagsusuri ng mga log. Ang SPIN unit at iba pang proseso chambers ay may equips.
Dilaw na ilaw para sa madaling pagsasama-sama ng kagamitan. Inilalarawan ang anyo ng kagamitan sa Figure 1.1.1, at ipinapakita ang layout ng kagamitan sa Figure 1.1.2.

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine details

Espesipikasyon

	proyekto	Mga Spesipikasyon	mga Puna
1	Panimula ng Equipamento	Pangalan ng kagamitan: Fully auto uniform glue developing machine
				Modelo ng kagamitan: MD-2C2D6
				Mga spesipikasyon ng proseso ng wafer: kompyable sa standard na 4/6-inch na mga wafer
				Prosesong pamumuo ng uniform glue: Paggigilid ng basket → pagtutulak sa gitna → uniform glue (dripping → uniform glue → alisin sa tabi, likod huhugasan) → mainit na plato → malamig na plato → itabi ang basket Proseso ng pag-unlad: Paggigilid ng basket → pagtutulak sa gitna → pag-unlad (unlad solusyon → deionized tubig, likod na paghuhugas → pagdadasal ng nitrogen) → mainit na plato → malamig na plato → itabi ang basket
				Buwang sukat (halimbawa): 2100mm (H) * 1800mm (L) * 2100mm (H)
				Sukat ng kemikal na gabinete (halimbawa): 1700(H) * 800(L) * 1600mm (H)
				Kabuuan ng timbang (hal.:): 1000kg
				Taas ng trabaho: 1020 ± 50mm
2	Cassette unit	Bilang: 2
				Kumakatawang laki: 4/6 pulgada
				Pagpapatunay ng cassette: deteksyon ng microswitch
				Pagpapatunay ng paglabas: Oo, refleksibong sensor
3	robot	Damit: 1
				Uri: Robot na doblihang braso sa pandamdam ng vacuum
				Antas ng kalayaan: 4-axis (R1, R2, Z, T)
				Material ng daliri: seramiko
				Para sa pagpapakita ng substrate: pamamaraan ng adsorption ng vacuum
				Fungsiyon ng pagmumapa: Oo
				Katumpakan ng pagsasanay: ± 0.1mm
4	Unit para sa pagsasangguni	Damit: 1 set	Opsyonal na optikal na pagsasanay
					Pamamaraan ng pagsasanay: mekanikal na pagsasanay
					Katumpakan ng pagsasangguni: ± 0.2mm
5	Uniborme na unit ng glue	Damit: 2 set (ang mga sumusunod ay mga konfigurasyon para sa bawat unit)
				Bilis ng pag-ikot ng spindle: -5000rpm~5000rpm	nagdadala idler
				Katumpakan ng pag-ikot ng spindle: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
				Pinakamaliit na pagsasamantala ng bilis ng pag-ikot ng spindle: 1rpm
				Pinakamalaking pagdami ng bilis ng pag-ikot ng spindle: 20000rpm/s	nagdadala idler
				Dripping arm: 1 set
				Landas ng photoresist tube: 2 landas
				Bilis ng photoresist nozzle: 2.5mm
				Photoresist insulation: 23 ± 0.5 ℃	opsyonal
				Moisturizing nozzle: Oo
				RRC: Oo
				Buffer: Oo, 200ml
				Paraan ng pagdudrop ng kalye: opsyonal ang sentro at pagsascan ng dropping
				Bibit ng pagtanggal ng bisig: 1 set
				Diameter ng bibit ng pagtanggal: 0.2mm
				Pagsusuri sa pamumuhunan ng likido para sa pagtanggal ng bahagi: float flowmeter
				Range ng pamumuhunan ng likido para sa pagtanggal ng bahagi: 5-50ml/min
				Pipeline para sa backwash: 2 paraan (4/6 pulgada bawat isa na may 1 channel)
				Pagsusuri sa pamumuhunang backwash: float flowmeter
				Range ng pamumuhunang backwash: 20-200ml/min
				Paraan ng pagpapakita ng chip: maliit na lugar ng vacuum adsorption Chuck
				Alarmang presyon ng vacuum: digital na sensor ng presyon ng vacuum
				Material ng Chuck: PPS
				Material ng Cup: PP
				Pagsusuri sa pagpapalabas ng Cup: digital na sensor ng presyon
6	Unidad ng pagdevelop	Shutter: oo
				Damit: 2 set (ang mga sumusunod ay mga konfigurasyon para sa bawat unit)
				Bilis ng pag-ikot ng spindle: -5000rpm~5000rpm	nagdadala idler
				Katumpakan ng pag-ikot ng spindle: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
				Pinakamaliit na pagsasamantala ng bilis ng pag-ikot ng spindle: 1rpm
				Pinakamalaking pagdami ng bilis ng pag-ikot ng spindle: 20000rpm/s	nagdadala idler
				Braso ng pagdevelop: 1 set
				Dagat ng pagdevelop: 2-direksyon (nozzle na parang pano o tulad ng haligi)
				Pagfilter ng developer: 0.2um
				Kontrol ng temperatura ng developer: 23 ± 0.5 ℃	opsyonal
				Saklaw ng pagpapalo ng solusyon: 100~1000ml/min
				Modo ng paggalaw ng braso ng pagpapalo: tetrapiko o pagsascan
				Braso ng pagpapalo: 1 set
				Kanlub ng tubig na deionized: 1 circuit
				Laki ng bibisgas ng tubig na deionized: 4mm (loob na diyametro)
				Saklaw ng pagpapalo ng tubig na deionized: 100~1000ml/min
				Kanlub ng pagdadasal ng nitroheno: 1 circuit
				Laki ng bibisgas ng nitroheno: 4mm (loob na diyametro)
				Saklaw ng pagdadasal ng nitroheno: 5-50L/min
				Pagsusuri ng pamumuo, tubig na deionized, at pagdadasal ng nitroheno: float flowmeter
				Pipeline para sa backwash: 2 paraan (4/6 pulgada bawat isa na may 1 channel)
				Pagsusuri sa pamumuhunang backwash: float flowmeter
				Range ng pamumuhunang backwash: 20-200ml/min
				Paraan ng pagpapakita ng chip: maliit na lugar ng vacuum adsorption Chuck
				Alarmang presyon ng vacuum: digital na sensor ng presyon ng vacuum
				Material ng Chuck: PPS
				Material ng Chuck: PPS
				Material ng Cup: PP
				Pagsusuri sa pagpapalabas ng Cup: digital na sensor ng presyon
7	Unit ng pagtatak	Bilang: 2	opsyonal
				Lakas ng temperatura: ordinaryong temperatura~180 ℃
				Kaganapan ng temperatura: Ordinaryong temperatura~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (Alisin ang 10mm mula sa gilid, maliban sa butas ng ejector pin)
				Pinakamaliit na pagsasaayos: 0.1 ° C
				Pamamaraan ng pagkontrol sa temperatura: pagsasaayos ng PID
				Saklaw ng taas ng PIN: 0-20mm
				Materyales ng PIN: katawan SUS304, PI ang kop ng PIN pin
				Hiwalay na espasyo: 0.2mm
				Alarm sa sobrang init: alarm sa positive at negative deviation
				Paraan ng suplay: Bubbling, 10 ± 2ml/min
				Operasyon ng kuwarto sa vacuum: -5-20KPa
8	Unit ng mainit na plato	Bilang: 10
				Range ng temperatura: ordinaryong temperatura~250 ℃
				Kaganapan ng temperatura: Ordinaryong temperatura~120 ℃± 0.75 ℃ 120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Alisin ang 10mm mula sa gilid, maliban sa butas ng ejector pin)
				Pinakamaliit na pagsasadya: 0.1 ℃
				Pamamaraan ng pagkontrol sa temperatura: pagsasaayos ng PID
				Saklaw ng taas ng PIN: 0-20mm
				Materyales ng PIN: katawan SUS304, PI ang kop ng PIN pin
				Hiwalay na espasyo: 0.2mm
				Alarm sa sobrang init: alarm sa positive at negative deviation
9	Unit ng malamig na plato	Bilang: 2
				Range ng temperatura: 15-25 ℃
				Para sa pagkukool: pamamaraan ng pagsasailog na may katatagan na temperatura
10	Pagsubok ng Kimika	Pangangalagang Photoresist: pneumatic glue pump * 4 set (Opsyonal na tangke o elektrikong glue pump)
				Damit ng pandikit: pinakamataas na 12ml kada sesyon, katumpakan ± 0.2ml
				Pagtanggal sa gilid/pag-uulit ng likido/RRC supply: 18L pressure tank * 2 (awtomatikong pagpapalago)
				Pagsusuri ng antas ng likido para sa pagtanggal sa gilid/pag-uulit ng likido/RRC: photoelectric sensor
				Pagsusuri ng antas ng likido ng Photoresist: photoelectric sensor
				Pag-iwan ng regular na likidong basura: 10L waste liquid tank
				Pagsubok ng developer: 18L pressure tank * 4 (Naka-store sa kimikal na kabinet sa labas ng makina)
				Pagsubok ng deionized tubig: direktang suplay mula sa fabrica
				Paggawa ng pag-monitor sa antas ng likido: sensor na photoelectric
				Pag-iwan ng basura ng tagapagbuo: pag-iwan ng basura ng fabrica
				Pagdadala ng tackifier: 10L presyon tank * 1, 2L presyon tank * 1
				Pag-monitor sa antas ng tackifier: sensor na photoelectric
11	control System	Paraan ng kontrol: PLC
				Interhiyong operasyon ng tao at makina: 17 pulgada touch screen
				Wastong Supply ng Kuryente (UPS): Oo
				Itakda ang pribilehiyo ng encrypt para sa tagaoperahin ng kagamitan, mga tekniko, administrador
				Tipo ng signal tower: red, yellow, green 3 kulay
12	Mga indikador ng reliabilidad ng sistema	Uptime: ≥95%
				MTBF: ≥ 500h
				MTTR: ≤ 4h
				MTBA： ≥24h
				Rate ng pagdismisyon: ≤ 1/10000
13	Iba pang mga tungkulin	Dilaw na ilaw: 4 set (posisyon: sa itaas ng yunit ng paghalo at pagsasanay ng pandikit)
				THC: Oo, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%	opsyonal
				FFU: Klase 100, 5 set (prosesong yunit at lugar ng ROBOT)

Pakete & Paghahatod

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine manufacture

Company Profile

Mayroon kaming 16 taong karanasan sa pagbebenta ng makinarya. Maaari naming ibigay sa iyo ang One-stop Semiconductor Front-end at Back end Package Line equipments na solusyon mula sa Tsina.

Pahinang Pangunahin

TUNGKOL SA AMIN

MH Equipment

Solusyon

Mga Gumagamit mula sa Kabihasnang Bansa

Video

KONTAKTAN NAMIN

MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine