Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Kumuha ng Presyo

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

home page
TUNGKOL SA AMIN
MH Equipment
Solusyon
Mga Gumagamit mula sa Kabihasnang Bansa
Video
KONTAKTAN NAMIN
Bahay> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Kagamitan ng industriya ng semiconductor
  • MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Kagamitan ng industriya ng semiconductor
  • MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Kagamitan ng industriya ng semiconductor
  • MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Kagamitan ng industriya ng semiconductor
  • MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Kagamitan ng industriya ng semiconductor
  • MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Kagamitan ng industriya ng semiconductor

MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Kagamitan ng industriya ng semiconductor

Kumuha ng Free Quote
Paglalarawan ng Produkto

MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System

Ginagamit para sa paghahanda ng single/multi-layer functional nanofilms na kabilang ang iba't ibang hard, metallic, semiconductor at dielectric films para sa mga unibersidad at institusyon ng agham.

Kabukiran ng vacuum para sa sputtering, magnetron sputtering target, turntable na may substrate na pagsisimula ng pag-iinit na may tubig, sample injection chamber, sample chamber, annealer, backwash target, mekanismo ng pagpadala ng sample ng magnet, gas circuit, pumping system, sistema ng pag-uukit ng vacuum, elektro pang kontrol na sistema at base ng pagsasaak.
MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Semiconductor industry equipment manufacture
Espesipikasyon
TYPE
MDPS-560 II
Pangunahing Chamber ng Sputtering
pyriform vacuum chamber, sukat:Φ560×350mm
Sample Injection Chamber
tuluyang at horizontal na anyo, sukat: Φ250mm×420mm
Sistema ng pumping
independiyente na kumpundong molecular pump at mechanical pump set para sa pangunahing chamber ng sputtering at sample injection chamber.
Huling Vacuum
Pangunahing Chamber ng Sputtering
≤6.67×10-6Pa(matapos ang baking at degassing)
Sample Injection Chamber
≤6.67×10-4Pa(matapos ang baking at degassing)
Bumalik sa Oras ng Vacuum
Pangunahing Chamber ng Sputtering
6.6×10-4Pa matapos 40 min.(pagpump pagkatapos ma-expose sa hangin sa maikling panahon at napuno ng dry nitrogen)
Sample Injection Chamber
6.6×10-3Pa matapos 40 min.(pagpump pagkatapos ma-expose sa hangin sa maikling panahon at napuno ng dry nitrogen)
Magnetron Target Module
5 permanent magnet targets; lakiΦ60mm(isa sa mga target ay maaaring mag-sputter ng ferromagnetic material). Lahat ng mga target ay maaaring gumawa ng RF sputtering
at DC sputtering na maaaring mag-adjust; at ang layo sa pagitan ng target at sample ay maaaring baguhin mula 40mm hanggang 80mm.
Water-cooling Substrate Heating Revolution Table
Substrate Structure
Anim na estasyon, may heating furnace sa isang estasyon, at ang iba ay water cooling substrate station.
Sukat
Φ30mm, anim na piraso.
Paraan ng paggalaw
0-360°, palitan.
Pag-init
Pinakamataas na Temperatura 600℃±1℃
Negatibong Bias ng Substrate
-200V
Sistema ng gas circuit
2-direksyong Mass Flow Controller (MFC)
Sample Injection Chamber
Kamara ng Mga Halimbawa
Anim na simpleng isang oras
Annealer
Pinakamataas na temperatura sa pagsisigla 800℃±1℃
Modyul ng Resputtering Target
Paghuhusay ng Resputtering
Sistemang Pagpapadala ng Magnet na Sample
Ginagamit sa pagtransport ng sample sa pagitan ng kamera ng sputtering at kamera ng pagsisimula ng sample.
Sistemang Paggawa ng Kompyuter
Pag-ikot ng sample, pagbubukas at pagsasarili ng baffle, at kontrol ng posisyon ng target
Naoponya sa Lupa
Punong Set
2600×900mm2
mga kagamitan sa kuryente
700×700mm2(dalawang set)
Pakete & Paghahatod
MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Semiconductor industry equipment factory
MDPS-560 Pyriform Double Chamber Sputtering System / Semiconductor industry equipment factory
Company Profile
Mayroon kaming 16 taong karanasan sa pagbebenta ng makinarya. Maaari naming ibigay sa iyo ang One-stop Semiconductor Front-end at Back end Package Line equipments na solusyon mula sa Tsina.

Higit pang mga Produkto

pagsusuri

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Patakaran sa Privasi

pagsusuri Email whatsapp Top
×

Magkaroon ng ugnayan