Ang kagamitan na ito ay isang precison lithography machine na inilimbag ng kompanyang ito eksklusibong para sa mga karakteristikong gamit ng lithography machines sa iba't ibang kolehiyo at institusyong pang-pag-aaral. Gamit ito pangunahing para sa pag-unlad at produksyon ng mga maliit at katamtaman na integradong circuit, semiconductor components, optoelectronic devices, at surface acoustic wave devices. Sa premisa ng pagpapanatili ng mga orihinal na pangunahing teknikong indikador ng kagamitan, inoptimize namin ang ilang estruktura at komponente ng kagamitan, binawasan ang ilang di-kakailangang mekanikal na aksyon, at pinansin na ang mga punto ng pagkabigo ng kagamitan ay pinakamaliit nang posible, pati na rin ang operasyon ng kagamitan ay maaaring maligalig at tiyak.
Espesipikasyon
Pangunahing mga teknikal na parameter
1.Tipi ng eksposura: isang bahagi lamang. 2.Lugar ng eksposura: 110×110mm. 3.Hindi magaan ang ilaw ng eksposura: ≤±3%. 4.Intensidad ng eksposura: 0-30mw/cm2 ay mai-adjust. 5.Anggulo ng liwanag ng UV: ≤3°. 6 SENTRAL na panula ng liwanag ng ultrapugad: 365nm. 7.Buhay na haba ng sanggunian ng UV light: ≥500 oras. 8.Gumagamit ng elektronikong shutter. 9.Resolusyon ng eksposura: 1 μm; 10.Saklaw ng pamamaraan sa ilalim ng mikroskopo: X: ±15mm Y: ±15mm; 11.Saklaw ng pagpapatakbo: pagsasama-samang X,Y ±4mm; pagsasama-samang Q-direksyon ±3°; 12.Katumpakan ng pagpapatanda: 1 μ Ang katumpakan ng 'bersyon' at 'chip' ng gumagamit ay dapat sundin ang pambansang mga regulasyon, at ang kapaligiran, temperatura, kumkpapa, at alikabok ay maaaring maaaring kontrolin nang mabuti. Ginagamit ang inaangkat na positibong photoresist, at ang kapaligiran ng photoresist ay maaaring kontrolin nang mabuti. sa dagdag pa rito, ang unang at huling proseso ay napakahusay; 13.Bilang ng paghiwa; 0~50 μm ay maaaring ipagpalit; 14.Pamamaraan ng pagsisikat: malapit na pagsisikat, na maaaring makamit ang maligpit na pakikipagkuwentuhan, malambot na pakikipagkuwentuhan, at pangunahing pwersa ng pakikipagkuwentuhan; 15.Hanapin ang pormula ng kuwadrado: hangin
Pakete & Paghahatod
Company Profile
Mayroon kaming 16 taong karanasan sa pagbebenta ng makinarya. Maaari naming ibigay sa iyo ang One-stop Semiconductor Front-end at Back end Package Line equipments na solusyon mula sa Tsina.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
