MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine , China MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine Mga Manufacturer, Supplier, Factory

Paglalarawan ng produkto

Ang kagamitang ito ay isang precision lithography machine na ginawa ng aming kumpanya para sa mga katangian ng paggamit ng mga lithography machine sa iba't ibang kolehiyo at institusyong pananaliksik. Pangunahing ginagamit ito para sa pagbuo at paggawa ng maliliit at katamtamang laki ng integrated circuit, mga bahagi ng semiconductor, mga aparatong optoelectronic, at mga aparatong pang-ibabaw na acoustic wave.

Pabrika ng MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine

detalye

Pangunahin teknikal na parameter

1. Maaaring i-vacuum ng device ang isang 5 "X5" square mask, na walang mga espesyal na kinakailangan para sa kapal ng plato (mula sa 1 hanggang 3mm).
2. Maaaring ilapat ang aparato sa ф 100mm circular substrate;
3. Kapal ng substrate ≤ 5mm;
4. Pag-iilaw:
Pinagmulan ng ilaw: GCQ350Z ultra-high pressure mercury direct current mercury lamp ay ginagamit.
Saklaw ng ilaw: ≤ ф 117mm Lugar ng pagkakalantad: ф 100mm
manatili ф Sa loob ng hanay na 100mm, ang hindi pantay ng pagkakalantad ay ≤ ± 3%, at ang intensity ng pagkakalantad ay>6mw/cm2 (ang indicator na ito ay sinusukat gamit ang isang UV light source na I-line na 365nm).
5. Gumagamit ang device na ito ng imported na time relay para kontrolin ang pneumatic shutter, na tinitiyak ang tumpak at maaasahang operasyon.
6. Ang makinang ito ay isang contact exposure machine na maaaring makamit ang:
7. Hard contact exposure: Gumamit ng pipeline vacuum para makakuha ng mataas na vacuum contact, vacuum ≤ -0.05MPa
8. Malambot na pagkakalantad sa contact: Maaaring itaas ng presyon ng contact ang vacuum sa pagitan ng -0.02MPa at -0.05MPa.
9. Micro contact exposure: mas mababa sa soft contact, vacuum ≥ -0.02MPa.
10. Resolusyon sa exposure: Ang resolution ng hard contact exposure ng device na ito ay maaaring umabot sa 1 μ Above m (ang katumpakan ng "plate" at "chip" ng user ay dapat sumunod sa mga pambansang regulasyon, at ang kapaligiran, temperatura, halumigmig, at alikabok ay maaaring Mahigpit na kinokontrol. Ginagamit ang import na positibong photoresist, at ang kapal ng pare-parehong photoresist ay maaaring mahigpit na kontrolin.
11. Alignment: Ang observation system ay binubuo ng dalawang CCD camera na naka-mount sa dalawang single tube microscopes at nakakonekta sa display screen sa pamamagitan ng isang video cable.

Pag-iimpake at Paghahatid

Supplier ng MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine

Mga detalye ng MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine

Profile ng Kompanya

Mayroon kaming 16 na taong karanasan sa pagbebenta ng kagamitan. Maaari kaming magbigay sa iyo ng One-stop Semiconductor Front-end at Back end Package Line equipment na propesyonal na solusyon mula sa China.