MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine , China MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine Mga Manufacturer, Supplier, Pabrika

Paglalarawan ng produkto

Pangunahing ginagamit ang kagamitang ito para sa pagbuo at paggawa ng maliliit at katamtamang laki ng integrated circuit, mga bahagi ng semiconductor, at mga surface acoustic wave device. Dahil sa advanced na mekanismo ng leveling at mababang leveling force, ang makina na ito ay hindi lamang angkop para sa pagkakalantad ng iba't ibang uri ng mga substrate, kundi pati na rin para sa pagkakalantad ng madaling fragmented substrates tulad ng potassium arsenide at phosphate steel, pati na rin ang pagkakalantad ng hindi pabilog at maliliit na substrate.

detalye

Pangunahin teknikal na parameter

1. Uri ng pagkakalantad: uri ng contact, pagkakahanay ng plato, dalawang panig na solong pagkakalantad
2. Lugar ng pagkakalantad: 110X110mm;
3. Pagkakapareho ng pagkakalantad: ≥ 97%;
4. Exposure intensity: 0-30mw/cm2 adjustable;
5. UV beam anggulo: ≤ 3 °
6. Central wavelength ng ultraviolet light: 365nm;
7. haba ng buhay ng pinagmumulan ng UV light: ≥ 20000 oras;;
8. Paggawa ng temperatura sa ibabaw: ≤ 30 ℃
9. Pag-ampon ng electronic shutter;
10. Resolusyon sa pagkakalantad: 1 μ M (ang lalim ng pagkakalantad ay humigit-kumulang 10 beses sa lapad ng linya)
11. Exposure mode: Dalawang panig na sabay-sabay na pagkakalantad
12. Saklaw ng pagkakahanay: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Katumpakan ng pagkakahanay ng plate: 2 μ m
14. Saklaw ng pag-ikot: Pagsasaayos ng pag-ikot ng Q-direksyon ≤ ± 5 °
15. Microscopic system: dual field of view CCD system, objective lens 1.6X~10X, computer image processing system, 19 "LCD monitor; Total magnification 91-570x
16. Laki ng maskara: May kakayahang mag-vacuum ng 5 "square mask, na walang mga espesyal na kinakailangan para sa kapal ng maskara (mula 1 hanggang 3mm).
17. Laki ng substrate: Angkop para sa 4 na "substrate, na may kapal ng substrate mula 0.1 hanggang 2mm.
18. Kapag nag-order, walang mga espesyal na kinakailangan, at ang isang 5 "X5 na istante ay karaniwan; maaari mong i-customize ang mga istante sa ibaba 5" X5:

Pag-iimpake at Paghahatid

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine na paggawa

Pabrika ng MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine

Profile ng Kompanya

Mayroon kaming 16 na taong karanasan sa pagbebenta ng kagamitan. Maaari kaming magbigay sa iyo ng One-stop Semiconductor Front-end at Back end Package Line equipment na propesyonal na solusyon mula sa China.