MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine , China MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine Manufacturers, Suppliers, Factory

Paglalarawan ng Produkto

Ginagamit ang kagamitan na ito pangunahin sa pag-unlad at produksyon ng mga maliit at katamtaman na integradong circuit, semiconductor components, at surface acoustic wave devices. Dahil sa napakabago ng leveling mechanism at mababang leveling lakas, ang makina na ito ay hindi lamang kaya para sa pagsisiyasat ng iba't ibang uri ng substrate, kundi pati na rin para sa pagsisiyasat ng madaling sugatan substrate tulad ng potassium arsenide at phosphate steel, pati na rin ang pagsisiyasat ng di-bulat at maliit na substrate.

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine details

Espesipikasyon

Pangunahing mga teknikal na parameter

1. Uri ng pagsisiyasat: kontak tipo, plato alignment, double-sided single exposure
2. Kahilingan ng eksposura: 110X110mm;
3. Katagan ng eksposura: ≥ 97%;
4. Intensidad ng eksposura: 0-30mw/cm2 ay puwede pang adjust;
5. Sukat ng UV beam: ≤ 3 °
6. Sentral na timbang ng ultrapublomikong ilaw: 365nm;
7. Buhay ng UV light source: ≥ 20000 oras;
8. Temperatura ng trabaho: ≤ 30 ℃
9. Gumagamit ng elektronikong shutter;
10. Resolusyon ng pagsisiyasat: 1 μ M (ang kadalasang depth ng pagsisiyasat ay halos 10 beses ang lapad ng linya)
11. Mode ng pagsisiyasat: Pagsisiyasat na kaparisahan mula sa parehong panig
12. Alinment na sakop: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Katumpakan ng alinment ng plato: 2 μ m
14. Sakop ng pag-ikot: Q-direksyon na pag-adjust sa pag-ikot ≤ ± 5 °
15. Sistematikong sistema: dual field of view CCD system, objective lens 1.6X~10X, computer image processing system, 19 "LCD monitor; Kabuuang magnipikasyon 91-570x
16. Sukat ng mask: Kayang i-vacuum at i-absorb ang 5 "square masks, walang espesyal na kinakailangan para sa kapaligiran ng mask (mula 1 hanggang 3mm).
17. Sukat ng substrate: Angkop para sa 4 "substrates, na may kapaligiran ng substrate na mula 0.1 hanggang 2mm.
18. Sa oras ng pag-order, walang espesyal na kinakailangan, at isang 5 "X5 shelf ang standard; maaari mong ipersonalize ang mga shelf baba sa 5" X5:

Pakete & Paghahatod

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine manufacture

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine factory

Company Profile

Mayroon kaming 16 taong karanasan sa pagbebenta ng makinarya. Maaari naming ibigay sa iyo ang One-stop Semiconductor Front-end at Back end Package Line equipments na solusyon mula sa Tsina.