Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Home
Tungkol sa Amin
Kagamitan ng MH
Solusyon
Mga Gumagamit sa ibang bansa
Video
Makipag-ugnayan sa amin
Tahanan> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis

Paglalarawan ng produkto 
Reactive ion etching system
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
application
Passivation layer: SiO2, SiNx
Backsilicon
Malagkit na layer: TaN
Sa pamamagitan ng butas: W
tampok
1. Pag-ukit ng passivation layer na may mga butas o walang;  
2. Pag-ukit ng malagkit na layer;  
3. Pag-ukit ng silikon sa likod
detalye
Configuration ng proyekto at diagram ng istraktura ng makina
Bagay
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Laki ng Produkto
≤6 pulgada
≤8 pulgada
≤8 pulgada


RF power source
0-300W/500W/1000W Naaayos, awtomatikong pagtutugma


Molecular pump
-/620(L/s)/1300(L/s)/Custom

Antiseptic620(L/s)/1300(L/s)/Custom

Foreline pump
Mechanical pump/dry pump

Tuyong bomba

Proseso ng presyon
Hindi makontrol na presyon/0-1Torr na kinokontrol na presyon


Uri ng gas
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Custom
(Hanggang sa 9 na channel, walang kinakaing unti-unti at nakakalason na gas) 

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) 

Saklaw ng gas
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom


LoadLock
Oo hindi

Oo

Halimbawang kontrol ng tem
10°C~Tem ng kwarto/-30°C~100°C/Custom

-30°C~100°C /Custom

Paglamig ng helium sa likod
Oo hindi

Oo

Proseso ng cavity lining
Oo hindi

Oo

Kontrol ng tem ng dingding ng lukab
Hindi/Roomtem~60/120°C

Room tem-60/120°C

Control System
Auto/custom


Pag-ukit ng materyal
Silicon-based:Si/SiO2/SiNx. 
IV-IV: SiC
Magnetic na materyales/alloy na materyales
Materyal na metal: Ni/Cr/Al/Au. 
Organic na materyal: PR/PMMA/HDMS/Organic na pelikula. 

Silicon-based: Si/SiO2/SiNx. 
III-V(注3): InP/GaAs/GaN. 
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe. 
Magnetic na materyales/alloy na materyales
Materyal na metal: Ni/Cr/A1/Au. 
Organic na materyal: PR/PMMA/HDMS /organic na pelikula. 

1. Pigilan ang paglipad ng mga chips
2. Minimum na node na maaaring iproseso: 14nm:
3. SiO2/SiNx etching rate: 50~150 nm/min;
4. Nakaukit na pagkamagaspang sa ibabaw:5. Suportahan ang passivation layer, adhesion layer at back silicone etching;
6. Selection ratio ng Cu/Al:>50
7. All-in-one na makina LxWxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Suportahan ang one-click execution
Resulta ng proseso

Pag-ukit ng materyal na batay sa silicone

Silicon-based na materyales, nano-imprint pattern, array
pattern at lens pattern etching
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory

InP normal na pag-ukit ng temperatura

Pattern etching ng InP based na mga device na ginagamit sa optical na komunikasyon, kabilang ang waveguide structure, resonant cavity structure.
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier

Pag-ukit ng materyal na SiC

Angkop para sa mga microwave device, power device, atbp.


Reactive ion etching system RIE machine Mga detalye ng pagsusuri ng RIE Failure

Pisikal na sputtering, etching Organic materiale tching

Ito ay inilapat sa pag-ukit ng mahirap na pag-ukit na mga materyales tulad ng ilang mga metal (tulad ng Ni / Cr) at mga keramika, at ang
patternede tching.
Ito ay ginagamit para sa pag-ukit at pagtanggal ng mga organikong compound tulad ng photoresist (PR)/ PMMA / HDMS / polymer
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Pagpapakita ng mga resulta ng pagsusuri ng pagkabigo
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacturing
Produkto detalye 
Reactive ion etching system RIE machine Mga detalye ng pagsusuri ng RIE Failure
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacturing
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacturing
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Pag-iimpake at Paghahatid 
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Reactive ion etching system RIE machine Mga detalye ng pagsusuri ng RIE Failure
paghihinang machine
Profile ng Kompanya

Ang Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) machine ay isang makabagong piraso ng teknolohiya na maaaring mag-ukit at magsuri ng iba't ibang uri ng mga materyales na may hindi kapani-paniwalang katumpakan. Ang makinang ito ay idinisenyo para gamitin sa iba't ibang industriya kung saan ang microfabrication o pag-ukit ay regular na kinakailangan. Ito ay ginawa mula sa mga de-kalidad na materyales na ginagawa itong matibay, maaasahan at nakakagawa ng mahusay na mga resulta. 

 

Nilagyan ng RF plasma generator ay epektibo. Ang sistema ng RIE ay gumagamit ng isang coupling ay inductive upang makabuo ng plasma mula sa feed na gasolina. Lumilikha ang diskarteng ito ng mataas na density ng plasma na nagpapataas sa rate ng etch na nauugnay sa produkto. Ang proseso ng pag-ukit ng makina ng RIE ay mabisa, tumpak, at lubos na nakokontrol, na nagbibigay-daan para sa isang depth ay tiyak na magagawa. Ang tampok na ito ay natatangi, ito ay isang mahusay na pagpipilian para sa pananaliksik o mga gawain sa industriya. 

 

Ang makina ay may malawak na hanay, kabilang ang microelectronics, MEMS fabrication, at semiconductor fabrication. Ang makinang ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pag-ukit at micromachining ng mga materyal na semiconductor tulad ng silicon, gallium arsenide, at germanium sa industriya ng semiconductor. Ang Minder-High-tech na RIE device ay naitatag din sa industriya ng MEMS para sa paggawa ng malambot at mga materyales na matigas gaya ng polyimide, silicon dioxide, at silicon nitride. Bukod pa rito, naa-access ito para sa pagsusuri ng pagkabigo sa mga industriyang nauugnay sa mga serbisyo at produkto na elektroniko. 

 

May kasamang mga feature na iba't ibang ginagawang madaling gamitin. Ito ay isang software na user-friendly na mga supply na nagbibigay ng kumpletong kontrol sa operator sa mga parameter ng pag-ukit na ginagamit sa device. Ang mga setting ng makina ay nai-save sa memorya nito ay panloob na maaari itong mag-imbak ng higit sa 100 mga hanay ng mga setting. Ang isang touch ay mayroon sa pamamagitan ng screen na nagbibigay-daan sa operator setting parameter tulad ng gas paggalaw, kapangyarihan kapal, at presyon. Ang Minder-High-tech na RIE machine ay mayroon ding feature na temperature control na nagsisiguro na ang mga materyales ay nakaukit sa tamang temperatura at humihinto sa pinsala sa mga ito. 

 

Perpekto para sa mga kumpanyang nangangailangan ng maaasahan at mahusay ang makina ay makakapagbigay ng tumpak at tumpak na mga resulta. Idinisenyo ang device na ito gamit ang top-notch na teknolohiya at marami ang antas. Ang versatility at user-friendly na feature nito ay ginagawa itong isang pagpipilian na napakahusay na pananaliksik at mga application sa industriya sa iba't ibang sektor. 

 

Mayroon din itong mahusay na sistema ng pagsusuri sa pagkabigo na nagbibigay-daan sa makina na makita at maitama ang anumang mga isyu sa makina sa lalong madaling panahon. Tinitiyak ng system na ito na ang makina ng RIE ay nagpapanatili ng mataas na kalidad at pagiging maaasahan sa buong ikot ng buhay nito. Para sa anumang industriya na nangangailangan ng tumpak at mahusay na pag-ukit o microfabrication, ang Minder-High-tech na RIE machine ay ang perpektong solusyon.


Pagtatanong

Pagtatanong Email WhatsApp WeChat
tuktok
×

Kumuha-ugnay