Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

home page
TUNGKOL SA AMIN
MH Equipment
Solusyon
Mga Gumagamit mula sa Kabihasnang Bansa
Video
KONTAKTAN NAMIN
Bahay> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo
  • Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo

Reactive ion etching system RIE machine RIE Analysis ng Pagkabigo

Paglalarawan ng Produkto
Reaktib na ion etching sistem
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
Paggamit
Pasivasyon layer: SiO2, SiNx
Likod na silicon
Adhesibong layer: TaN
Butas: W
Tampok
1. Pag-etche ng pasivasyon layer may o walang butas;
2. Pag-eetch ng adhesive layer;
3. Back silicon etching
Espesipikasyon
Paggawa ng proyekto at diagram ng estruktura ng makina
Item
MD150-RIE
MD200-RIE
MD200C-RIE


Sukat ng Produkto
≤6 inches
≤8 inches
≤8 inches


RF power source
0-300W/500W/1000W Ayos, awtomatikong pagsasamantala


Molecular Pump
-620(L/s)/1300(L/s)/Pasadya

Antiseptiko620(L/s)/1300(L/s)/Pasadya

Foreline pamp
Mekanikal na pamp/dry pamp

Tuyong Pump

Prosesong presyon
Hindi kontroladong presyon/0-1Torr kontroladong presyon


Uri ng gas
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/
CHF3/C4F8/NF3/Pasadya
(Hanggang 9 channel, walang korosibong at dumi gas)

H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Hanggang 9 channel)

hanay ng gas
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/pasadya


LoadLock
Oo/Hindi

Oo

Mga halaman ng kontrol sa temperatura
10°C~Temperatura ng kuwarto/-30°C~100°C/Bipinili

-30°C~100°C/Bipinili

Paggamit ng helium para sa pag-init
Oo/Hindi

Oo

Paglilinis sa loob ng kavityahe
Oo/Hindi

Oo

Kontrol sa temperatura ng pader ng kavityahe
Hindi/Kuwarto temperaturang~60/120°C

Temperatura ng kuwarto-60/120°C

Control System
Awtomatiko/bipinili


Materyales para sa etching
Silicon-based:Si/SiO2/SiNx.
IV-IV: SiC
Magnetikong materyales/alloy materyales
Metal na materyales: Ni/Cr/Al/Au.
Organikong materyales: PR/PMMA/HDMS/Organic film.

Silicon-based: Si/SiO2/SiNx.
III-V(注3): InP/GaAs/GaN.
IV-IV: SiC
II-VI (注3): CdTe.
Magnetikong materyales/alloy materyales
Metal na materyales: Ni/Cr/A1/Au.
Materyales na organiko: PR/PMMA/HDMS /pelikula na organiko.

1. Magpigil sa mga chips na umuwiwak.
2. Pinakamaliit na node na maaaring iproseso: 14nm:
3. Rate ng etching ng SiO2/SiNx: 50~150 nm/min;
4. Katigasan ng inetched na ibabaw: 5. Suporta para sa pasibeng layer, adhesion layer at back silicon etching;
6. Proporsyon ng pagpili ng Cu/Al:>50
7. Lahat-sa-isang makina LxWxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Suporta para sa isang-pindot na pagsasagawa
Resulta ng proseso

Pag-eetch ng materyales na silicon-based

Mga materyales na silicon-basado, mga pattern ng nano-imprint, array
mga pattern at lens pattern etching
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory

InP normal temperature etching

Pattern etching ng mga device na InP-basado na ginagamit sa optical communication, kabilang ang waveguide structure, resonant cavity structure.
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier

SiC material etching

Konting para sa microwave devices, power devices, etc.


Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details

Physical sputtering, etching Organic materiale tching

Ito ay inilapat sa etching ng mga mahirap mang-etetch na materyales tulad ng ilang mga metal (tulad ng Ni/Cr) at ceramics, at ang
patternede tching.
Ginagamit ito para sa etching at pag-aalis ng mga organic compounds tulad ng photoresist (PR)/PMMA/HDMS/polymer
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Pamantayan ng mga resulta ng analisis ng pagkabigo
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Detalye ng produkto
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Pakete & Paghahatod
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory
Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details
pag-aayos ng makina
Company Profile

Ang Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) machine ay isang modernong teknolohiya na maaaring mag-etch at mag-analyze ng iba't ibang uri ng mga materyales na may kamangha-manghang kagalingan. Ipinrogramang ito para gamitin sa iba't ibang industriya kung saan ang mikro-paggawa o etching ay kinakailangan regularyar. Gawa ito mula sa mataas na kalidad ng mga materyales na nagiging sanhi nito upang maging matatag, maikli at makapag-anunsyo ng mahusay na mga resulta.

 

Pinag-iwasan ito ng may isang RF plasma generator na epektibo. Gumagamit ang RIE system ng isang pagsasama-sama na induktibo upang gumawa ng plasma mula sa feed gasoline. Ang teknikong ito ay naglilikha ng mataas na densidad ng plasma na nagpapataas sa etch rate na nauugnay sa produkto. Ang proseso ng etching ng RIE machine ay epektibo, maayos, at malaki ang kontrol, na nagpapahintulot para sa isang tiyak na depth na maiwasto. Ang katangiang ito ay nagiging isang magandang pilihan para sa pananaliksik o industriyal na trabaho.

 

Ang makina ay may maraming layunin, kabilang ang paggawa ng microelectronics, MEMS fabrication, at semiconductor fabrication. Naroroon ang mahalagang papel ng makinaryang ito sa etching at micromachining ng mga materyales ng semiconductor tulad ng silikon, gallium arsenide, at germanium sa industriya ng semiconductor. Ang Minder-High-tech RIE device ay pati na rin ay itinatayo sa industriya ng MEMS para sa paggawa ng malambot at mga materyales na maligat tulad ng polyimide, silicon dioxide, at silicon nitride. Pati na rin, magagamit ito para sa pagsusuri ng pagkabigo sa mga industriya na nauugnay sa mga serbisyo at produkto na elektroniko.

 

Kabilang ang mga tampok na iba't iba na gumagawa ito ng madali panggamit. Ang isang software na user-friendly na nagbibigay sa operator ng punong kontrol sa mga parameter ng pag-eetch na ginagamit sa device. Iinimbak ng machine settings sa loob ng memory na interna nito at maaaring magimbak ng higit sa 100 set ng settings. Mayroon itong touch screen na pinapayagan ang operator na itakda ang mga parameter tulad ng gas movement, power density, at presyon. Mayroon din ang Minder-High-tech RIE machine ang tampok ng temperature control na nagpapatuloy na etched ang mga material sa tamang temperatura at tumutigil sa pinsala sa kanila.

 

Sugpuhan para sa mga kumpanya na kailangan ng isang reliable at makabuluhan na makakasampa ng tunay at precise na resulta. Ipinrogramang ito kasama ang taas na teknolohiya at antas ay marami. Ang kanyang versatility at user-friendly na tampok ay gumagawa nitong isang napakabuting pilihan para sa research at industriyal na aplikasyon sa iba't ibang sektor.

 

Mayroon ding maaaring sistema ng pag-aanalisa ng pagkabigo na epektibo na nagbibigay-daan sa makinarya na makahanap at kumorrect ng anumang mga isyu tungkol sa mekaniko sa oras na ito ay mangyayari. Siguradong ito ang sistema na ang makinarya ng RIE ay panatilihing mataas ang kalidad at relihiyon sa buong siklo ng kanyang buhay. Sa anumang industriya na kailangan ng tiyak at epektibong pag-eetch o mikro-paggawa, ang makinarya ng Minder-High-tech RIE ang pinakamahusay na solusyon.


pagsusuri

pagsusuri Email whatsapp Top
×

Magkaroon ng ugnayan