Item |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Sukat ng Produkto |
≤6 inches |
≤8 inches |
≤8 inches |
||
RF power source |
0-300W/500W/1000W Ayos, awtomatikong pagsasamantala |
||||
Molecular Pump |
-620(L/s)/1300(L/s)/Pasadya |
Antiseptiko620(L/s)/1300(L/s)/Pasadya |
|||
Foreline pamp |
Mekanikal na pamp/dry pamp |
Tuyong Pump |
|||
Prosesong presyon |
Hindi kontroladong presyon/0-1Torr kontroladong presyon |
||||
Uri ng gas |
H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Pasadya (Hanggang 9 channel, walang korosibong at dumi gas) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Hanggang 9 channel) |
|||
hanay ng gas |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/pasadya |
||||
LoadLock |
Oo/Hindi |
Oo |
|||
Mga halaman ng kontrol sa temperatura |
10°C~Temperatura ng kuwarto/-30°C~100°C/Bipinili |
-30°C~100°C/Bipinili |
|||
Paggamit ng helium para sa pag-init |
Oo/Hindi |
Oo |
|||
Paglilinis sa loob ng kavityahe |
Oo/Hindi |
Oo |
|||
Kontrol sa temperatura ng pader ng kavityahe |
Hindi/Kuwarto temperaturang~60/120°C |
Temperatura ng kuwarto-60/120°C |
|||
Control System |
Awtomatiko/bipinili |
||||
Materyales para sa etching |
Silicon-based:Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetikong materyales/alloy materyales Metal na materyales: Ni/Cr/Al/Au. Organikong materyales: PR/PMMA/HDMS/Organic film. |
Silicon-based: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Magnetikong materyales/alloy materyales Metal na materyales: Ni/Cr/A1/Au. Materyales na organiko: PR/PMMA/HDMS /pelikula na organiko. |
Konting para sa microwave devices, power devices, etc.
Ang Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) machine ay isang modernong teknolohiya na maaaring mag-etch at mag-analyze ng iba't ibang uri ng mga materyales na may kamangha-manghang kagalingan. Ipinrogramang ito para gamitin sa iba't ibang industriya kung saan ang mikro-paggawa o etching ay kinakailangan regularyar. Gawa ito mula sa mataas na kalidad ng mga materyales na nagiging sanhi nito upang maging matatag, maikli at makapag-anunsyo ng mahusay na mga resulta.
Pinag-iwasan ito ng may isang RF plasma generator na epektibo. Gumagamit ang RIE system ng isang pagsasama-sama na induktibo upang gumawa ng plasma mula sa feed gasoline. Ang teknikong ito ay naglilikha ng mataas na densidad ng plasma na nagpapataas sa etch rate na nauugnay sa produkto. Ang proseso ng etching ng RIE machine ay epektibo, maayos, at malaki ang kontrol, na nagpapahintulot para sa isang tiyak na depth na maiwasto. Ang katangiang ito ay nagiging isang magandang pilihan para sa pananaliksik o industriyal na trabaho.
Ang makina ay may maraming layunin, kabilang ang paggawa ng microelectronics, MEMS fabrication, at semiconductor fabrication. Naroroon ang mahalagang papel ng makinaryang ito sa etching at micromachining ng mga materyales ng semiconductor tulad ng silikon, gallium arsenide, at germanium sa industriya ng semiconductor. Ang Minder-High-tech RIE device ay pati na rin ay itinatayo sa industriya ng MEMS para sa paggawa ng malambot at mga materyales na maligat tulad ng polyimide, silicon dioxide, at silicon nitride. Pati na rin, magagamit ito para sa pagsusuri ng pagkabigo sa mga industriya na nauugnay sa mga serbisyo at produkto na elektroniko.
Kabilang ang mga tampok na iba't iba na gumagawa ito ng madali panggamit. Ang isang software na user-friendly na nagbibigay sa operator ng punong kontrol sa mga parameter ng pag-eetch na ginagamit sa device. Iinimbak ng machine settings sa loob ng memory na interna nito at maaaring magimbak ng higit sa 100 set ng settings. Mayroon itong touch screen na pinapayagan ang operator na itakda ang mga parameter tulad ng gas movement, power density, at presyon. Mayroon din ang Minder-High-tech RIE machine ang tampok ng temperature control na nagpapatuloy na etched ang mga material sa tamang temperatura at tumutigil sa pinsala sa kanila.
Sugpuhan para sa mga kumpanya na kailangan ng isang reliable at makabuluhan na makakasampa ng tunay at precise na resulta. Ipinrogramang ito kasama ang taas na teknolohiya at antas ay marami. Ang kanyang versatility at user-friendly na tampok ay gumagawa nitong isang napakabuting pilihan para sa research at industriyal na aplikasyon sa iba't ibang sektor.
Mayroon ding maaaring sistema ng pag-aanalisa ng pagkabigo na epektibo na nagbibigay-daan sa makinarya na makahanap at kumorrect ng anumang mga isyu tungkol sa mekaniko sa oras na ito ay mangyayari. Siguradong ito ang sistema na ang makinarya ng RIE ay panatilihing mataas ang kalidad at relihiyon sa buong siklo ng kanyang buhay. Sa anumang industriya na kailangan ng tiyak at epektibong pag-eetch o mikro-paggawa, ang makinarya ng Minder-High-tech RIE ang pinakamahusay na solusyon.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved