Bagay | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Laki ng Produkto | ≤6 pulgada | ≤8 pulgada | ≤8 pulgada | ||
RF power source | 0-300W/500W/1000W Naaayos, awtomatikong pagtutugma | ||||
Molecular pump | -/620(L/s)/1300(L/s)/Custom | Antiseptic620(L/s)/1300(L/s)/Custom | |||
Foreline pump | Mechanical pump/dry pump | Tuyong bomba | |||
Proseso ng presyon | Hindi makontrol na presyon/0-1Torr na kinokontrol na presyon | ||||
Uri ng gas | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Custom (Hanggang sa 9 na channel, walang kinakaing unti-unti at nakakalason na gas) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Saklaw ng gas | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Oo hindi | Oo | |||
Halimbawang kontrol ng tem | 10°C~Tem ng kwarto/-30°C~100°C/Custom | -30°C~100°C /Custom | |||
Paglamig ng helium sa likod | Oo hindi | Oo | |||
Proseso ng cavity lining | Oo hindi | Oo | |||
Kontrol ng tem ng dingding ng lukab | Hindi/Roomtem~60/120°C | Room tem-60/120°C | |||
Control System | Auto/custom | ||||
Pag-ukit ng materyal | Silicon-based:Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetic na materyales/alloy na materyales Materyal na metal: Ni/Cr/Al/Au. Organic na materyal: PR/PMMA/HDMS/Organic na pelikula. | Silicon-based: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Magnetic na materyales/alloy na materyales Materyal na metal: Ni/Cr/A1/Au. Organic na materyal: PR/PMMA/HDMS /organic na pelikula. |
Angkop para sa mga microwave device, power device, atbp.
Ang Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) machine ay isang makabagong piraso ng teknolohiya na maaaring mag-ukit at magsuri ng iba't ibang uri ng mga materyales na may hindi kapani-paniwalang katumpakan. Ang makinang ito ay idinisenyo para gamitin sa iba't ibang industriya kung saan ang microfabrication o pag-ukit ay regular na kinakailangan. Ito ay ginawa mula sa mga de-kalidad na materyales na ginagawa itong matibay, maaasahan at nakakagawa ng mahusay na mga resulta.
Nilagyan ng RF plasma generator ay epektibo. Ang sistema ng RIE ay gumagamit ng isang coupling ay inductive upang makabuo ng plasma mula sa feed na gasolina. Lumilikha ang diskarteng ito ng mataas na density ng plasma na nagpapataas sa rate ng etch na nauugnay sa produkto. Ang proseso ng pag-ukit ng makina ng RIE ay mabisa, tumpak, at lubos na nakokontrol, na nagbibigay-daan para sa isang depth ay tiyak na magagawa. Ang tampok na ito ay natatangi, ito ay isang mahusay na pagpipilian para sa pananaliksik o mga gawain sa industriya.
Ang makina ay may malawak na hanay, kabilang ang microelectronics, MEMS fabrication, at semiconductor fabrication. Ang makinang ito ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pag-ukit at micromachining ng mga materyal na semiconductor tulad ng silicon, gallium arsenide, at germanium sa industriya ng semiconductor. Ang Minder-High-tech na RIE device ay naitatag din sa industriya ng MEMS para sa paggawa ng malambot at mga materyales na matigas gaya ng polyimide, silicon dioxide, at silicon nitride. Bukod pa rito, naa-access ito para sa pagsusuri ng pagkabigo sa mga industriyang nauugnay sa mga serbisyo at produkto na elektroniko.
May kasamang mga feature na iba't ibang ginagawang madaling gamitin. Ito ay isang software na user-friendly na mga supply na nagbibigay ng kumpletong kontrol sa operator sa mga parameter ng pag-ukit na ginagamit sa device. Ang mga setting ng makina ay nai-save sa memorya nito ay panloob na maaari itong mag-imbak ng higit sa 100 mga hanay ng mga setting. Ang isang touch ay mayroon sa pamamagitan ng screen na nagbibigay-daan sa operator setting parameter tulad ng gas paggalaw, kapangyarihan kapal, at presyon. Ang Minder-High-tech na RIE machine ay mayroon ding feature na temperature control na nagsisiguro na ang mga materyales ay nakaukit sa tamang temperatura at humihinto sa pinsala sa mga ito.
Perpekto para sa mga kumpanyang nangangailangan ng maaasahan at mahusay ang makina ay makakapagbigay ng tumpak at tumpak na mga resulta. Idinisenyo ang device na ito gamit ang top-notch na teknolohiya at marami ang antas. Ang versatility at user-friendly na feature nito ay ginagawa itong isang pagpipilian na napakahusay na pananaliksik at mga application sa industriya sa iba't ibang sektor.
Mayroon din itong mahusay na sistema ng pagsusuri sa pagkabigo na nagbibigay-daan sa makina na makita at maitama ang anumang mga isyu sa makina sa lalong madaling panahon. Tinitiyak ng system na ito na ang makina ng RIE ay nagpapanatili ng mataas na kalidad at pagiging maaasahan sa buong ikot ng buhay nito. Para sa anumang industriya na nangangailangan ng tumpak at mahusay na pag-ukit o microfabrication, ang Minder-High-tech na RIE machine ay ang perpektong solusyon.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Lahat ng Karapatan ay Nakalaan